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PARTICLE-COUNTER / MZ-13561

KS-42Bリオン株式会社

液中の0.2 μm粒子を測るパーティクルセンサ。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所:半導体の薬液の粒子管理

種類
液中パーティクルカウンター
最小可測粒径
0.2 μm
粒径区分
0.2〜2 μmで10段階(出荷時は0.2・0.3・0.5・1・2 μm)
流量
10 mL/min
最大濃度
1,200個/mL(計数損失5%⁠⁠⁠以内)
光源
半導体レーザ(780 nm)
規格
—公式資料で確認できず
データ
—公式資料で確認できず
通信
—公式資料で確認できず
電源
DC12 V(KE-40B1から供給)
大きさ
約125×240×151 mm(H×W×D)
質量
約3.2 kg
価格
—公式資料で確認できず
特長
接液部は合成石英・PFA・PTFE

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

本体の電源と制御は別のKE-40B1から(公式)。バッチ測定とインライン測定の両方に使える。

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出典(2026年10月14日確認)

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