KC-⁠24リオン株式会社

仕様

向いている所：半導体のスーパークリーンの評価

種類

リモート型（常時監視）

最小可測粒径

0.1 μm

粒径区分

0.1・0.15・0.2・0.3・0.5 μm（5段階）

流量

28.3 L/min

最大濃度

2,000,000個/m³（計数損失10%⁠⁠⁠以内）

光源

半導体レーザ励起固体レーザ（1064 nm）

規格

ISO 21501-4（JIS B 9921）

データ

CFカード

通信

多点モニタリングシステムに組み込める

電源

AC100〜240 V

大きさ

約280×320×450 mm（H×W×D）

質量

約19.4 kg

価格

—公式資料で確認できず

特長

スーパークリーンの評価、フィルタのリーク試験

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

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