鋼材やめっきなど金属材料の中の水素を、昇温しながら測る水素脱離分析装置（TDS）を選ぶ、研究開発・品質管理・分析室・購買の担当の方へ

水素脱離分析装置のメーカー4社比較【2026年】

水素脱離分析装置は、金属の試料を昇温し、
出てくる水素を温度ごとに測る装置です。

ABOUT

水素脱離分析装置とは

比較表を見る ↓

水素脱離分析装置とは、鋼材やめっきなど金属の試料を昇温し、出てくる水素の量を温度ごとに測る装置です。
昇温脱離分析装置（TDS）⁠と⁠も呼びます。
水素が出る温度の違いから、遅れ破壊に関わる拡散性水素と、ほかの水素を分けて見られます。

製品の特長

温度ごとに水素を測れる（水素の総量だけでなく出る温度もわかる）
微量の水素を測れる（0.01wt.ppm・10vol.ppbからの型がある）
測る環境で選べる（超高真空・大気圧）

使うメリット

遅れ破壊の原因を調べられる（超高強度鋼の拡散性水素）
処理の良否を比べられる（めっき後の脱水素処理）
腐食で入った水素を見られる（サイクル腐食試験後の鋼）

選ぶときに注意すること

拡散性水素は室温で逃げる。試料は冷やすなどして早く測る
低温から測る型は液体窒素を用意する
霜が付くと水素の信号に影響する。冷却した試料は霜に気をつける
ガスクロマトグラフ型はアルゴンなどのガスを用意する
定量には水素の感度校正を定期的に行う

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。値段はどのメーカーも公開していない。

LIST

水素脱離分析装置の比較表

水素脱離分析装置7製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
超高真空型 4製品
株式会社アールデック鋼材中水素量分析装置 HTDS-003HS大きめの鋼材試料の微量水素定量口コミを書く	要見積	物質・材料研究機構（NIMS）と共同で開発した高感度の水素昇温脱離分析装置です。水素のバックグランドを5.0E-9Pa以下まで下げ、5gの鋼材試料で0.01wt.ppmまで定量します。試料は最大で直径20mm×50mmまで入ります。	方式超高真空型検出 Q-massのデータを使う測る環境到達真空度5.0E-8Pa以下昇温範囲室温〜1000℃ 昇温速度 50℃/hr〜600℃/hr 感度・検出下限 0.01wt.ppm（5g鋼材試料）試料の大きさ最大直径20mm×50mm 加熱外熱式加熱炉、石英製炉心管炉心管外径38mm×750mm 記載なし冷却・測定の間隔・電源	公式ページへ詳細・仕様
株式会社アールデック鋼材中水素量分析装置 HTDS-004小さな試料片の水素を手軽に測る口コミを書く	要見積	小型の試料片に絞ったコンパクトな設計で、均熱長は30mmです。排気やベント、加熱の設定をソフトで操作でき、水素量は自社開発のソフトでwt.ppmに計算します。分析室と炉心管を大気にさらさず試料を替えられます。	方式超高真空型測る環境超高真空、水素バックグランド5.0E-9Pa以下感度・検出下限 0.01wt.ppm 試料の大きさ最大直径10mm×30mm以下加熱外熱式加熱炉、石英炉心管記載なし検出・昇温範囲・昇温速度・冷却・測定の間隔・炉心管・電源	公式ページへ詳細・仕様
電子科学株式会社昇温脱離水素分析装置 ESCO-TDS600 IR H2製造現場の拡散性水素の良否判定口コミを書く	要見積	質量分析計を積みながら、試料をステージに直接置いてふたを閉め、スタートボタンを押すだけで測れる超高真空型です。1秒に1回検出するので、昇温速度を上げても水素のピークを追えます。温度の上限は600℃で、鋼材やめっきの拡散性水素を現場で見る用途に絞った型です。	方式超高真空型検出質量分析計（2〜4Da）測る環境超高真空、到達真空度1×10⁻⁶Pa以下昇温範囲室温〜600℃ 昇温速度 0.5℃/分〜180℃/分感度・検出下限 ng/g（ppb）試料の大きさ最大30×30×30mm 加熱 1kWハロゲンランプ測定の間隔 1秒に1回記載なし冷却・炉心管・電源	公式ページへ詳細・仕様
電子科学株式会社高周波加熱型昇温脱離分析装置 ESCO-TDS1700 IH高温域と低温TDSの両方を測る口コミを書く	要見積	金属を電磁誘導で直接温めるので、1700℃を超える高温まで測れます。冷却した鋼の試験片も測れるため、逃げやすい拡散性水素を低温側から追えます。ロードロックチャンバーを備え、試料を替えても分析チャンバーを大気に開けません。	方式超高真空型検出四重極質量分析計測る環境超高真空、10の-7乗Pa以下昇温範囲 1700℃を超える測定も可能加熱電磁誘導加熱冷却冷却した試験片を測れる記載なし昇温速度・感度・検出下限・試料の大きさ・測定の間隔・炉心管・電源	公式ページへ詳細・仕様
ガスセンサー型（大気圧） 2製品
NISSHAエフアイエス株式会社昇温脱離型水素分析装置 PDHA-3000真空なしで高温まで水素を測る口コミを書く	要見積	真空チャンバーを使わず、大気圧のまま室温〜1000℃の水素を測ります。検知器に半導体式ガスセンサーを使う自社のガスクロマトグラフで、10vol.ppbからの微量水素を拾います。アルゴンのほか窒素やボンベ空気でも計測でき、これはカスタマイズで対応します。	方式ガスセンサー型（大気圧）検出半導体式ガスセンサーのガスクロマトグラフ測る環境大気圧昇温範囲室温〜1000℃ 昇温速度 1〜1200℃/hour 感度・検出下限 10〜10,000vol.ppb 試料の大きさ直径11mm×20mm 測定の間隔最短2分電源 AC100V 50/60Hz 記載なし加熱・冷却・炉心管	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
NISSHAエフアイエス株式会社昇温脱離型水素分析装置 PDHA-4000-100℃からの低温側の水素を測る口コミを書く	要見積	液体窒素で冷やし、-100℃から昇温して水素を測る低温対応の型です。大気圧のまま測れるので、真空チャンバーの排気がいりません。専用ラックに安全装置が付きます。	方式ガスセンサー型（大気圧）検出半導体式ガスセンサーのガスクロマトグラフ測る環境大気圧昇温範囲 -100〜800℃ 昇温速度 1〜1200℃/hour（冷却制御時1〜600℃/hour）感度・検出下限 10〜10,000vol.ppb 試料の大きさ直径11mm×20mm 加熱電気炉、加熱ヒーター冷却液体窒素測定の間隔最短2分電源 AC100V 50/60Hz 記載なし炉心管	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
TCD型（ガスクロマトグラフ） 1製品
株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ鋼材中水素測定システム JTF-20A遅れ破壊を調べる鋼材の水素測定口コミを書く	要見積	ガスクロマトグラフと開閉式の管状炉を組み合わせた鋼材専用のシステムです。熱伝導度検出器で水素を測り、昇温速度と温度範囲を決められます。オプションで水素以外の成分も測れます。	方式 TCD型（ガスクロマトグラフ）検出熱伝導度検出器（TCD）昇温範囲最高1000℃ 昇温速度 50〜300℃/hr 感度・検出下限検出下限0.5v/vppm 加熱開閉式の管状炉炉心管外径25mm×長さ500mm 電源管状炉AC100V 50/60Hz 1kVA 記載なし測る環境・試料の大きさ・冷却・測定の間隔	公式ページへ詳細・仕様

超高真空型4製品

株式会社アールデック

鋼材中水素量分析装置 HTDS-003HS

大きめの鋼材試料の微量水素定量

物質・材料研究機構（NIMS）と共同で開発した高感度の水素昇温脱離分析装置です。水素のバックグランドを5.0E-9Pa以下まで下げ、5gの鋼材試料で0.01wt.ppmまで定量します。試料は最大で直径20mm×50mmまで入ります。

コスト要見積

方式: 超高真空型
検出: Q-massのデータを使う
測る環境: 到達真空度5.0E-8Pa以下
昇温範囲: 室温〜1000℃
昇温速度: 50℃/hr〜600℃/hr
感度・検出下限: 0.01wt.ppm（5g鋼材試料）
試料の大きさ: 最大直径20mm×50mm
加熱: 外熱式加熱炉、石英製炉心管
炉心管: 外径38mm×750mm
記載なし: 冷却・測定の間隔・電源

小さな試料片の水素を手軽に測る

小型の試料片に絞ったコンパクトな設計で、均熱長は30mmです。排気やベント、加熱の設定をソフトで操作でき、水素量は自社開発のソフトでwt.ppmに計算します。分析室と炉心管を大気にさらさず試料を替えられます。

コスト要見積

方式: 超高真空型
測る環境: 超高真空、水素バックグランド5.0E-9Pa以下
感度・検出下限: 0.01wt.ppm
試料の大きさ: 最大直径10mm×30mm以下
加熱: 外熱式加熱炉、石英炉心管
記載なし: 検出・昇温範囲・昇温速度・冷却・測定の間隔・炉心管・電源

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電子科学株式会社

昇温脱離水素分析装置 ESCO-TDS600 IR H2

製造現場の拡散性水素の良否判定

質量分析計を積みながら、試料をステージに直接置いてふたを閉め、スタートボタンを押すだけで測れる超高真空型です。1秒に1回検出するので、昇温速度を上げても水素のピークを追えます。温度の上限は600℃で、鋼材やめっきの拡散性水素を現場で見る用途に絞った型です。

コスト要見積

方式: 超高真空型
検出: 質量分析計（2〜4Da）
測る環境: 超高真空、到達真空度1×10⁻⁶Pa以下
昇温範囲: 室温〜600℃
昇温速度: 0.5℃/分〜180℃/分
感度・検出下限: ng/g（ppb）
試料の大きさ: 最大30×30×30mm
加熱: 1kWハロゲンランプ
測定の間隔: 1秒に1回
記載なし: 冷却・炉心管・電源

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電子科学株式会社

高周波加熱型昇温脱離分析装置 ESCO-TDS1700 IH

高温域と低温TDSの両方を測る

金属を電磁誘導で直接温めるので、1700℃を超える高温まで測れます。冷却した鋼の試験片も測れるため、逃げやすい拡散性水素を低温側から追えます。ロードロックチャンバーを備え、試料を替えても分析チャンバーを大気に開けません。

コスト要見積

方式: 超高真空型
検出: 四重極質量分析計
測る環境: 超高真空、10の-7乗Pa以下
昇温範囲: 1700℃を超える測定も可能
加熱: 電磁誘導加熱
冷却: 冷却した試験片を測れる
記載なし: 昇温速度・感度・検出下限・試料の大きさ・測定の間隔・炉心管・電源

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ガスセンサー型（大気圧）2製品

NISSHAエフアイエス株式会社

昇温脱離型水素分析装置 PDHA-3000

真空なしで高温まで水素を測る

真空チャンバーを使わず、大気圧のまま室温〜1000℃の水素を測ります。検知器に半導体式ガスセンサーを使う自社のガスクロマトグラフで、10vol.ppbからの微量水素を拾います。アルゴンのほか窒素やボンベ空気でも計測でき、これはカスタマイズで対応します。

コスト要見積

方式: ガスセンサー型（大気圧）
検出: 半導体式ガスセンサーのガスクロマトグラフ
測る環境: 大気圧
昇温範囲: 室温〜1000℃
昇温速度: 1〜1200℃/hour
感度・検出下限: 10〜10,000vol.ppb
試料の大きさ: 直径11mm×20mm
測定の間隔: 最短2分
電源: AC100V 50/60Hz
記載なし: 加熱・冷却・炉心管

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NISSHAエフアイエス株式会社

昇温脱離型水素分析装置 PDHA-4000

-100℃からの低温側の水素を測る

液体窒素で冷やし、-100℃から昇温して水素を測る低温対応の型です。大気圧のまま測れるので、真空チャンバーの排気がいりません。専用ラックに安全装置が付きます。

コスト要見積

方式: ガスセンサー型（大気圧）
検出: 半導体式ガスセンサーのガスクロマトグラフ
測る環境: 大気圧
昇温範囲: -100〜800℃
昇温速度: 1〜1200℃/hour（冷却制御時1〜600℃/hour）
感度・検出下限: 10〜10,000vol.ppb
試料の大きさ: 直径11mm×20mm
加熱: 電気炉、加熱ヒーター
冷却: 液体窒素
測定の間隔: 最短2分
電源: AC100V 50/60Hz
記載なし: 炉心管

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TCD型（ガスクロマトグラフ）1製品

株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ

鋼材中水素測定システム JTF-20A

遅れ破壊を調べる鋼材の水素測定

ガスクロマトグラフと開閉式の管状炉を組み合わせた鋼材専用のシステムです。熱伝導度検出器で水素を測り、昇温速度と温度範囲を決められます。オプションで水素以外の成分も測れます。

コスト要見積

方式: TCD型（ガスクロマトグラフ）
検出: 熱伝導度検出器（TCD）
昇温範囲: 最高1000℃
昇温速度: 50〜300℃/hr
感度・検出下限: 検出下限0.5v/vppm
加熱: 開閉式の管状炉
炉心管: 外径25mm×長さ500mm
電源: 管状炉AC100V 50/60Hz 1kVA
記載なし: 測る環境・試料の大きさ・冷却・測定の間隔

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出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/hydrogen-tds-analyzer/／各社の公式資料（2026年11月7日確認）

Q&A

水素脱離分析装置選びで、よくある疑問

購買担当の疑問水素脱離分析装置の価格は、いくら？

この表の7製品で、公式に値段を出している製品はありません。価格は見積もりです。超高真空の型と大気圧の型では構成が違うので、同じ試料と測定条件を伝えて見積もりを取ると比べられます。

設備担当の疑問水素脱離分析装置の種類と違いは？

超高真空型、ガスセンサー型、TCD型の3つに分かれます。ESCO-TDS600 IR H2やHTDS-003HSは超高真空で測り、PDHA-3000は大気圧のまま半導体式ガスセンサーで測ります。JTF-20Aは熱伝導度検出器で測ります。

設備担当の疑問質量分析方式とガスクロ方式の違いは？

測る間隔が大きく違います。ESCO-TDS600 IR H2は1秒に1回、PDHA-3000は最短2分です。電子科学はガスクロ方式の標準的な昇温速度を100℃/h程度と説明していますが、PDHA-3000の設定範囲は1〜1200℃/hourです。測る間隔の短さなら質量分析方式、真空の設備を持たずに測るならガスクロ方式が合います。

設備担当の疑問燃焼融解式の水素分析と昇温脱離の違いは？

金属を融かす方式は水素の総量を出します。昇温脱離は水素が出る温度ごとの量を出すので、遅れ破壊に関わる拡散性水素を分けて見られます。総量だけを測るなら、元素分析装置の比較も見てください。

設備担当の疑問拡散性水素の測定に低温は必要？

水素の拡散係数が大きい鋼では、室温で水素が逃げるので低温から測る方法があります。PDHA-4000は液体窒素で冷やして-100℃から測れます。ESCO-TDS1700 IHは冷却した鋼の試験片も測れます。

設備担当の疑問昇温範囲はどれを選ぶ？

拡散性水素が主ならESCO-TDS600 IR H2の室温〜600℃で足ります。鋼の中に強く捕まった水素まで見るなら、HTDS-003HSやPDHA-3000の1000℃までの型、より高温まで見るならESCO-TDS1700 IHです。

設備担当の疑問昇温速度はどのくらい変えられる？

ESCO-TDS600 IR H2は0.5℃/分〜180℃/分、HTDS-003HSは50℃/hr〜600℃/hr、PDHA-3000は1〜1200℃/hour、JTF-20Aは50〜300℃/hrです。単位が違うので、そろえて比べてください。

設備担当の疑問感度や検出下限はどう比べる？

公式の書き方がそろっていません。HTDS-003HSは5gの鋼材試料で0.01wt.ppm、PDHA-3000は10〜10,000vol.ppb、JTF-20Aは検出下限0.5v/vppmです。濃度の単位が違うので、同じ試料の重さとガス流量でメーカーに確かめてください。

設備担当の疑問試料の大きさはどこまで入る？

ESCO-TDS600 IR H2は最大30×30×30mm、HTDS-003HSは最大直径20mm×50mmです。HTDS-004は最大直径10mm×30mm以下、PDHA-3000は直径11mm×20mmです。製品から切り出す大きさを先に決めてください。

施設管理の疑問置く場所や用意するものは？

PDHA-3000はAC100Vで動き、アルゴンのボンベをつなぎます。PDHA-4000はさらに液体窒素を使います。JTF-20Aは高純度アルゴンをパージガスに使い、管状炉の電源はAC100V 1kVAです。

工場長の疑問校正や手入れはどうする？

定量には水素の感度校正が欠かせません。HTDS-003HSとHTDS-004は水素標準リークシステムを内蔵しています。ESCO-TDS600 IR H2は標準リークで校正された水素標準試料で校正します。

TYPES

水素脱離分析装置の方式の違い

超高真空型

超高真空の中で試料を昇温し、出てきた水素を測る型です。雰囲気のガスと試料が反応する影響を抑えられます。電子科学のESCO-TDS600 IR H2は1秒に1回検出します。

向いている使い方

ppbレベルの微量水素を測る
昇温速度を上げてピークを追う
めっき皮膜の水素を調べる

根拠：本装置は超高真空下で測定を行うため、これらの副次反応を根本から排除し、真の水素放出量のみを正確に捉えることができます。（出典1）

この方式の4製品を表で見る

ガスセンサー型（大気圧）

大気圧のまま試料を昇温し、出てきた水素を半導体式ガスセンサーのガスクロマトグラフで測る型です。真空チャンバーがいりません。計測は1回最短2分です。

向いている使い方

真空の設備を持ちたくない
遅い昇温で鋼材の水素を測る
液体窒素で冷やして低温側から測る

根拠：大気圧下での分析が可能（真空チャンバーによる減圧不要）（出典3）

この方式の2製品を表で見る

TCD型（ガスクロマトグラフ）

管状炉で試料を昇温し、出てきた水素を熱伝導度検出器のガスクロマトグラフで測る型です。自動ガスサンプラーで炉のガスを取り込みます。オプションで水素以外の成分も測れます。

向いている使い方

鋼材の遅れ破壊を調べる
環境から入った水素の量を比べる
水素以外の成分も測りたい

根拠：ガスクロマトグラフ法を用いたTDA法により微量水素の測定が可能です。（出典5）

この方式の1製品を表で見る

MAKERS

水素脱離分析装置の主なメーカー4社

株式会社アールデック

物質・材料研究機構（NIMS）と共同で開発した高感度の水素昇温脱離分析装置です。

茨城県

株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ

ガスクロマトグラフと開閉式の管状炉を組み合わせた鋼材専用のシステムです。

京都府

鋼材中水素測定システム JTF-20A

電子科学株式会社

質量分析計を積みながら、試料をステージに直接置いてふたを閉め、スタートボタンを押すだけで測れる超高真空型です。

東京都

NISSHAエフアイエス株式会社

真空チャンバーを使わず、大気圧のまま室温〜1000℃の水素を測ります。

大阪府

出典

掲載基準

鋼材・金属材料・めっき皮膜の中の水素を、試料を昇温しながら測る業務用の水素脱離分析装置（昇温脱離分析装置・TDS）のうち、自社で作る会社の製品で、公式サイトで今案内していて、検出や昇温範囲などを公式の文字で確かめられたものを型番単位で載せています。金属を融かして水素の総量を出す燃焼融解式の元素分析装置（genso-bunseki-souchi）、質量分析計だけの製品（shitsuryou-bunsekikei⁠）⁠、受託分析のサービスは対象外です。電子科学のESCO-TDS-100 Cryo H2は公式で開発中のため載せていません。アルバックのTDSは日本語の公式の製品ページを確かめられず、ELTRAのELEMENTRAC H-rは日本法人を確かめられず、ブルカーのG4 PHOENIXは日本語の公式ページを確かめられなかったため載せていません。アールデックのHTDS-004は公式の文字に昇温範囲と検出の記載がなく、仕様表が図のため記載なしとしています。値段はどのメーカーも公開していないため、価格の列は設けていません。海外ブランドの輸入販売元・総代理店が売る品、中古、販売終了品は除いています。

水素脱離分析装置を作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

水素脱離分析装置のメーカー4社比較【2026年】

水素脱離分析装置とは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること