天井搬送機のメーカー3社比較【2026年】

ダイフク、村田機械、椿本チエインの公式資料に、4製品とも価格の記載はありません。工場の条件を伝えて各社の見積もりで確かめます。

半導体工場でFOUPを運ぶOHTと、ケースや部品を工程の間で運ぶ工場向けの天井搬送システムの2つに分けています。表ではクリーンウェイとOHT SRC-350Xが前者、SKY RAVとオートランバンガード MarkⅡが後者です。

Overhead Hoist Transportの略で、天井の軌道を走り、ホイストで上下して荷を受け渡す自動搬送装置です。村田機械は、300mm半導体工場以降の主力搬送システムと説明しています。

OHTは天井の軌道を走り、ホイストで製造装置のロードポートへ届けます。AGVは床を走り、ロボットアームで装置へ届けます。床を製造装置に使うならOHTが向きます。

公式に数字があるのは2製品です。クリーンウェイの機種CLW-08v2は300m/分、オートランバンガード MarkⅡは70kgの電車で最高220m/分です。SKY RAVはコンベヤの約10倍と案内しています。

数字を公式に書いているのはオートランバンガード MarkⅡで、非接触給電のときClass100〜1000/0.3μです。クリーンウェイとSKY RAVは非接触給電で発塵を抑えると案内していますが、クラスの数字は書かれていません。

クリーンウェイとSRC-350XはウエハのFOUPを運びます。オートランバンガード MarkⅡは搬送質量70kg・100kg・200kgから選び、ケース用のグリッパや旋回タイプのハンガを付けます。

ダイフクは液晶ガラス基板向けの搬送・保管システムを、第4世代から第10世代のカセットサイズで案内しています。椿本チエインはオートランバンガードの業界に液晶と半導体を挙げています。

村田機械はパネルレベルパッケージ搬送台車 SRC600を案内し、300mmFOUP用と同じ軌道を走れます。ダイフクは600mm角基板のPLP用FOUPの搬送技術を確立したと公表しています。

村田機械はMCSが工場内の搬送を各搬送装置へ指示します。オートランバンガード MarkⅡは自己走行制御方式で、通信は無線LANです。クリーンウェイはレールの合流も無線でやりとりします。

クリーンウェイは給電とコントローラー、サーバーを二重にし、片方が止まっても動かし続けます。オートランバンガード MarkⅡはドロップリフタを付ければ、保守点検を地上で行えます。