クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイ

クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイは、半導体工場のFOUP搬送に使う人向けです。クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイは、レールを天井に張り、装置の間のFOUP搬送をすべて自動で行う半導体工場向けのシステムです。

クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイは、レール総延長200km、ビークル1万台を超える規模の工場にも使われています。CLW-08v2の走行は300m/分で、給電は摩耗の粉塵を抑える非接触式です。

クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイの搬送するものはFOUP（ウエハの密閉容器）、走行速度は300m/分です。給電は非接触給電（HID）、制御はコントローラー・サーバーを各2台で並列処理です。

半導体工場のFOUP搬送ならクリーンルーム用搬送システム クリーンウェイ、300mm工場の工程内・工程間搬送なら村田機械のOHT SRC-350Xです。クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイの搬送するものはFOUP（ウエハの密閉容器）、走行速度は300m/分です。村田機械のOHT SRC-350Xの搬送するものは300mmFOUP、制御はMCSで各種搬送装置へ指示です。

クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイの機種はCLW-08v2です。村田機械のOHT SRC-350Xの機種はSRC-350Xです。

クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイの特長はレール総延長200km、ビークル1万台超の工場でも使う。村田機械のOHT SRC-350Xの特長は軌道沿いのサイドバッファでストッカーなしの運用ができる。

半導体工場のFOUP搬送ならクリーンルーム用搬送システム クリーンウェイ、液晶・半導体・食品工場の工程間搬送なら椿本チエインの天井搬送システム オートランバンガード MarkⅡです。クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイの搬送するものはFOUP（ウエハの密閉容器）、走行速度は300m/分です。椿本チエインの天井搬送システム オートランバンガード MarkⅡの搬送するものはケース、ベルトコンベヤ搭載など（ハンガを選ぶ）、走行速度は最高220m/分（搬送質量70kg）⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

クリーンルーム用搬送システム クリーンウェイは株式会社ダイフクの製品です。ダイフクの主な製品分野は洗車機・天井搬送機・仕分けシステム・自動倉庫です。