天井搬送機とは？OHTと工場向け天井搬送システムの種類と、走行速度・クリーン度・価格の見方

天井搬送機とは

天井搬送機は、天井に張ったレールを台車が走り、荷を運ぶ機械です。半導体工場ではOHT（Overhead Hoist Transport・天井走行式無人搬送車）と呼び、ベルト駆動のホイストで上下して製造装置のロードポートへ届けます。

比較ページには、日本の会社が自社で作り、公式の製品情報で確かめられた天井搬送機を載せています。天井クレーン、床を走る搬送ロボット、チェーンで流す天井走行コンベヤは別です。

2つの種類

• 半導体工場向けOHT：FOUPを製造装置や保管設備へ直接届けます。例はダイフクのクリーンウェイと村田機械のSRC-350Xです
• 工場向け天井搬送システム：ケースや部品を工程の間で運びます。例は村田機械のSKY RAVと椿本チエインのオートランバンガード MarkⅡです

走行速度

• クリーンウェイの機種CLW-08v2は、300m/分です
• オートランバンガード MarkⅡは、70kgの電車で最高220m/分です
• SKY RAVは、コンベヤの約10倍の速さと案内しています
• SRC-350Xは、公式ページに数字がありません

クリーン度と給電

• オートランバンガード MarkⅡは、非接触給電のときClass100〜1000/0.3μです
• クリーンウェイとSKY RAVは、非接触給電で発塵を抑えると案内しています
• SRC-350Xのクリーン度の数字は、公式ページにありません

運ぶもの

• クリーンウェイとSRC-350Xは、ウエハのFOUPを運びます
• オートランバンガード MarkⅡは、搬送質量70kg・100kg・200kgから選び、ケース用のグリッパなどのハンガを付けます
• パネルレベルパッケージには、村田機械のSRC600があり、300mmFOUP用と同じ軌道を走れます

選ぶときの順番

選ぶときは「運ぶ容器と重さ」「走行速度」「クリーン度」の3つを先に決めます。

• 容器がFOUPならOHT、ケースや部品なら工場向けの天井搬送システムから見ます
• クリーン度の数字が必要な現場は、メーカーに給電方式とあわせて確かめます
• 価格は公式に書かれていません。工場の条件を伝えて見積もりを取ります

比較表は天井搬送機の比較⁠にあります。