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PROPYLENE / MZ-37401

半導体材料ガス プロピレン日本酸素株式会社

日本酸素の半導体材料ガスのプロピレン(純度99.99%超)⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

2026年10月29日確認

仕様

向いている所:CVD向けの半導体材料ガス

ガスの種類
半導体用(電子材料ガス)
ガス組成
プロピレン(C3H6)
純度
99.99%⁠⁠⁠超
不純物
—公式資料で確認できず
充塡圧力
—公式資料で確認できず
容器・⁠⁠⁠荷姿
47L、44L
ガス充塡量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
グレード・⁠⁠⁠分類
半導体材料ガス(CVD)
容器弁
—公式資料で確認できず
用途
シリコン半導体・液晶のCVD
生産拠点・⁠⁠⁠能力
—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

混合製品の製造可能濃度は1ppm〜50%、Airベースは1.2%以下(公式ページ)。不純物の値はカタログで確かめる。

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出典(2026年10月29日確認)

  1. 日本酸素株式会社 ⁠⁠⁠公式
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