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リフロー炉真空・ギ酸還元

フラックスレスリフロー装置 RF-310

アユミ工業株式会社

ギ酸や水素で還元し、真空でボイドを抜く、アユミ工業の1チャンバーのフラックスレスリフロー装置です。

価格
公開価格なし（見積もり）
方式
真空・ギ酸還元
向いている所
バンプ形成の試作・少量生産
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比較表での位置

フラックスレスリフロー装置 RF-310は、リフロー炉のメーカー7社比較⁠の方式「真空・ギ酸還元」の4製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 4製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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フラックスレスリフロー装置 RF-310​の強みと方式

1つの真空チャンバーで、真空引き・還元・加熱・冷却を続けて済ませる、フラックスレスのリフロー装置です。還元はギ酸のほか、濃度100%の水素も使えます。フラックスを使わないので、塗布と洗浄の装置がいりません。

向いている所バンプ形成の試作・少量生産

方式：真空・ギ酸還元

はんだが溶けているあいだに炉の中を減圧して、はんだの中の気泡（ボイド）を抜く型です。ギ酸や水素で酸化膜を取れば、フラックスなしではんだ付けできます。パワーモジュールや半導体のバンプに使います。

フラックスレスリフロー装置 RF-310​の仕様

方式
真空・ギ酸還元
雰囲気
ギ酸、水素
加熱のしかた
—公式資料で確認できず
ゾーン・室
1チャンバー
基板・ワークの大きさ
12インチウエハ、A4サイズの基板
最高温度
—公式資料で確認できず
到達真空度
—公式資料で確認できず
電源
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
外形寸法
—公式資料で確認できず
質量
—公式資料で確認できず
搬送速度
—公式資料で確認できず

RFシリーズのベーシックモデル。2チャンバーのRF-400、量産用のRF-500・RF-510もある。12インチウエハ・A4の対応はシリーズの記載。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

フラックスレスリフロー装置 RF-310アユミ工業株式会社ギ酸還元真空リフロー炉 MPX1株式会社オリジン真空リフロー炉 TVF200株式会社シンアペックス
方式真空・ギ酸還元真空・ギ酸還元真空・ギ酸還元
雰囲気ギ酸、水素ギ酸還元、⁠⁠⁠⁠⁠⁠真空窒素、ギ酸混合ガス、フォーミングガス、Heガスなど
加熱のしかた—公式資料で確認できずIRヒーター、水冷プレート上下加熱
ゾーン・室1チャンバー1チャンバー（加熱・冷却）—公式資料で確認できず
基板・ワークの大きさ12インチウエハ、A4サイズの基板W440×D300×H100mm200×200×高さ50mm
最高温度—公式資料で確認できず400℃最大450℃
到達真空度—公式資料で確認できず20Pa以下10Pa
電源—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず三相200V、8kW
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法—公式資料で確認できず約W1000×D750×H1300mmW622×D597×H775mm
質量—公式資料で確認できず約450kg約65kg
搬送速度—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず

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フラックスレスリフロー装置 RF-310​のよくある質問

Q.フラックスレスリフロー装置 RF-310はどんな人に向いている？
フラックスレスリフロー装置 RF-310は、バンプ形成の試作・少量生産に使う人向けです。フラックスレスリフロー装置 RF-310は、1つの真空チャンバーで、真空引き・還元・加熱・冷却を続けて済ませる、フラックスレスのリフロー装置です。
Q.フラックスレスリフロー装置 RF-310の強みは？
フラックスレスリフロー装置 RF-310の還元はギ酸のほか、濃度100%の水素も使えます。フラックスを使わないので、塗布と洗浄の装置がいりません。
Q.フラックスレスリフロー装置 RF-310はどんな方式？
フラックスレスリフロー装置 RF-310の方式は真空・ギ酸還元です。はんだが溶けているあいだに炉の中を減圧して、はんだの中の気泡（ボイド）を抜く型です。
Q.フラックスレスリフロー装置 RF-310の主な仕様は？
フラックスレスリフロー装置 RF-310の雰囲気はギ酸、水素、ゾーン・室は1チャンバーです。基板・ワークの大きさは12インチウエハ、A4サイズの基板です。
Q.フラックスレスリフロー装置 RF-310とギ酸還元真空リフロー炉 MPX1はどっちがいい？
バンプ形成の試作・少量生産ならフラックスレスリフロー装置 RF-310、パワーモジュールの試作・少量生産ならオリジンのギ酸還元真空リフロー炉 MPX1です。フラックスレスリフロー装置 RF-310の雰囲気はギ酸、水素、ゾーン・室は1チャンバーです。オリジンのギ酸還元真空リフロー炉 MPX1の雰囲気はギ酸還元、真空、加熱のしかたはIRヒーター、水冷プレートです。
Q.フラックスレスリフロー装置 RF-310と真空リフロー炉 TVF200はどっちがいい？
バンプ形成の試作・少量生産ならフラックスレスリフロー装置 RF-310、ボイドを減らす試作・工程開発ならシンアペックスの真空リフロー炉 TVF200です。フラックスレスリフロー装置 RF-310の雰囲気はギ酸、水素、ゾーン・室は1チャンバーです。シンアペックスの真空リフロー炉 TVF200の雰囲気は窒素、ギ酸混合ガス、フォーミングガス、Heガスなど、加熱のしかたは上下加熱です。
Q.フラックスレスリフロー装置 RF-310はどこのメーカー？
フラックスレスリフロー装置 RF-310はアユミ工業株式会社の製品です。アユミ工業の主な製品分野はリフロー炉です。

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    リフロー炉

    真空リフロー炉 TVF200

    株式会社シンアペックス

    机に置ける真空リフロー炉で、炉内を大気圧から10Paまで引いて、はんだの中のボイドを抜きます。

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    出典
    1. アユミ工業株式会社 公式
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