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バンプボンダ(スタッドバンプ)のメーカー2社比較【2026年】

バンプボンダは、
ダイシング前のウェハの電極にボールだけを打って線を切り、
フリップチップでつなぐための突起を作る装置です。

ABOUT

バンプボンダとは

バンプボンダとは、ダイシング前のウェハの電極に、ボールだけを打って線を切り、突起を作る装置です。
スタッドバンプボンダとも呼び、配線はしません。

バンプボンダは、ウェハの大きさと送り方、接合速度・位置精度・線の太さ・電源の違いで比べて選びます。

特に、マガジンからウェハを自動で送るのはカイジョー、2ウェーハステージと昇降温制御でウェーハ交換の時間を縮めるのはヤマハロボティクスです。

※仕様は各メーカーの公式の製品ページによる。仕組みはヤマハロボティクスの用語集とK&Sの技術解説による。

LIST

バンプボンダの比較表

バンプボンダの価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
バンプボンダ(スタッドバンプ)2製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
株式会社カイジョーバンプボンダ FB-x26BUMP1製品の詳細を見るメーカー公式サイトkaijo.co.jp

ダイシング前のウェハの電極にボールボンディングだけを行い、突起電極を作るバンプボンダです。位置精度は3σ≦3.0μmです。

マガジンのウェハを自動でステージへ送る、ウェハレベルのバンプボンダです。最大6インチのウェハを扱い、バンプあたり30msで打てます。この速さはPill-cut modeのときの数字です。

ダイシング前のウェハのバンプ形成

要見積
ヤマハロボティクス株式会社バンプボンダ SBB-5200製品の詳細を見るメーカー公式サイトyamaha-robotics.com

ウェーハの電極にボールだけを打ち、突起を作るバンプボンダです。位置精度は±2.5μm(3σ)、バンプあたり30msです。

ウェーハ回転ステージで6インチまでのウェーハに打てるバンプボンダです。2ウェーハステージと昇降温制御で、SAW FILTERのウェーハ交換の時間を縮めます。金線の太さは15〜32μmです。

SAW FILTERのウェーハのバンプ形成

要見積
FEATURES

バンプボンダの使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    フリップチップの前に、ウェハの電極へ突起(バンプ)を作る工程に。

  • 何のために使うか

    ダイシング前のウェハの電極に、ボールだけを打って線を切り、突起を作るためです。

特徴

  • どんなものか

    ウェハの電極にボールだけを打ち、線を切って突起を作る型です。

  • 強み

    ヤマハロボティクスのSBB-5200とカイジョーのFB-x26BUMP1は、バンプあたり30msです。

メリット

  • 使うメリット

    ウェハのまま、電極に突起を自動で作れます。

  • ワイヤボンダに比べたメリット

    線でつながず、突起だけを作るので、そのあとフリップチップでつなげます。

ワイヤーボンダを入れる根本の理由は、チップと基板の細かい電極の間を、決まった形と強さの金属線で自動でつなぎ、同じ品質の配線を量産することです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. 価格は問い合わせて確かめる

    載せた8製品に、公開価格はありません。

    よくある失敗予算を決めないまま、仕様だけで機種を絞る。

  2. 速さの数字は測る条件まで見る

    FB-x26BUMP1はPill-cut modeで30ms、Fix-cut modeで40msです。

    よくある失敗条件の違う数字をそのまま並べて比べる。

  3. 扱えるウェハの大きさを確かめる

    SBB-5200とFB-x26BUMP1は、6インチまでのウェハです。

    よくある失敗8インチのウェハに打とうとして、ステージに載らない。

  4. 床の耐荷重と搬入の経路を見る

    SBB-5200は約500kg、FB-x26BUMP1は550kgあります。

    よくある失敗床の耐荷重を見ずに置き場所を決める。

Q&A

バンプボンダ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問バンプボンダの価格はいくら?

載せた2製品に、公開価格はありません。カイジョーとヤマハロボティクスへ問い合わせます。ウェハの大きさ、電極の数とピッチ、線の太さ、ウェハの送り方を伝えると、見積もりが早く返ってきます。中古品はこの表に入れていないので、別に探してください。納期と、立ち上げの支援の範囲もあわせて聞いてください。

設備担当の疑問2製品の違いは?

カイジョーのFB-x26BUMP1は、マガジンのウェハを自動でステージへ送ります。ヤマハロボティクスのSBB-5200は、2ウェーハステージと昇降温制御で、SAW FILTERのウェーハ交換の時間を縮めます。ウェハの送り方と、交換の待ち時間のどちらを減らしたいかで選んでください。

工場長の疑問1つのバンプを打つ速さは?

ヤマハロボティクスのSBB-5200とカイジョーのFB-x26BUMP1は、どちらもバンプあたり30msです。FB-x26BUMP1は、Pill-cut modeで30ms、Fix-cut modeで40msです。線の切り方で速さが変わるので、使う切り方の条件で比べてください。速さは、ウェハ1枚の時間を見積もる元になります。

設備担当の疑問位置精度はどれくらい?

ヤマハロボティクスのSBB-5200は±2.5μm(3σ)、カイジョーのFB-x26BUMP1は3σ≦3.0μmです。電極が小さくピッチが狭いほど、精度の差が効いてきます。電極の大きさとピッチを伝えて、打てるかをメーカーに確かめてください。数字はどちらも3σで書かれているので、そのまま比べられます。

設備担当の疑問扱えるウェハの大きさは?

ヤマハロボティクスのSBB-5200は最大直径150mmで、6インチのウェーハまでです。カイジョーのFB-x26BUMP1も6インチのウェハを扱い、直径145mmです。もっと大きなウェハに打つなら、扱える型があるかをメーカーに問い合わせてください。ウェハの厚みも、あわせて伝えてください。

設備担当の疑問使う線の太さは?

ヤマハロボティクスのSBB-5200は、金線の15〜32μmです。カイジョーのFB-x26BUMP1は、線の材質と太さを公式の製品ページに書いていません。作りたいバンプの大きさから線の太さが決まるので、バンプの径と高さを伝えて相談してください。試し打ちを頼むと、条件を早く決められます。

設備担当の疑問SAWフィルタのウェハに使える?

使えます。ヤマハロボティクスのSBB-5200は、2ウェーハステージと昇降温制御で、SAW FILTERのウェーハ交換の時間を縮めます。ウェーハ回転ステージで、6インチまでのウェーハに打てます。ウェハの材質と、温めてよい温度を伝えて条件を確かめてください。試し打ちを頼むと、条件を早く決められます。

設備担当の疑問ウェハを自動で送れる?

送れます。カイジョーのFB-x26BUMP1は、マガジンのウェハを自動でステージへ送るウェハレベルのバンプボンダです。人が1枚ずつ載せる手間を減らせます。今のウェハの入れ物と、マガジンの形が合うかを先に確かめてください。夜間に人が付かずに流したいときにも、自動の送りが効きます。マガジンの段数も確かめてください。

施設管理の疑問置く場所と電源は?

ヤマハロボティクスのSBB-5200は1,000W×1,084D×2,092H mmで約500kg、電源は単相AC100V±5%・約1.1kVAです。カイジョーのFB-x26BUMP1はW1,292×D1,240×H1,728mmで550kgです。床の耐荷重と搬入の経路を先に確かめてください。

工場長の疑問ワイヤボンダとどう違う?

ワイヤボンダは、電極の間を線でつなぎます。バンプボンダは、ウェハの電極にボールだけを打って線を切り、突起を作ります。チップを基板へ線でつなぐなら、ボールボンダのページを見てください。突起を作ったあとは、フリップチップでつなぎます。ウェハのまま電極に突起を作るなら、このバンプボンダから見てください。

MAKERS

バンプボンダの主なメーカー2社

株式会社カイジョー

特徴
東京都羽村市に本社、長野県松本市に生産本部の松本事業所を置く。 創立は1948年で、親会社は澁谷工業。
強み
  • 1957年に超音波洗浄機
  • 受託開発・受託生産も

東京都

ヤマハロボティクス株式会社

特徴
半導体後工程と電子部品実装の装置を開発・製造・販売しています。 株主はヤマハ発動機です。

東京都

出典
  1. ヤマハロボティクス 用語集 ボールボンディング
  2. K&S ウェッジボンディング技術
  3. ヤマハロボティクス 用語集 バンプボンディング
  4. ヤマハロボティクス 用語集 ワイヤボンディング
  5. カイジョー ボンダー製品一覧
  6. 超音波工業 ロータリーヘッドタイプ
  7. ヤマハロボティクス UTC-RZ1
  8. K&S RAPID Pro
掲載基準

ワイヤーボンダのうち、ウェハの電極にボールだけを打って突起を作るバンプの型で、自社で作る会社が公式の製品ページで今案内している型式に絞りました。

バンプボンダ(スタッドバンプ)を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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