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ワイヤーボンダバンプボンダ(スタッドバンプ)

バンプボンダ SBB-5200

ヤマハロボティクス株式会社

UTC-5000をもとにしたウェーハ用の高速バンプボンダ。

価格
公開価格なし(見積もり)
方式
バンプボンダ(スタッドバンプ)
向いている所
SAWフィルタのウェーハのバンプ形成

比較表での位置

バンプボンダ SBB-5200は、ワイヤーボンダのメーカー4社比較の方式がバンプボンダ(スタッドバンプ)の2製品の1つとして載っています。

  • 4社掲載社数
  • 8製品比較表の製品
  • 2製品同じ方式
  • 0製品公開価格あり
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バンプボンダ SBB-5200​の強みと方式

ウェーハ回転ステージで6インチまでのウェーハに打てるバンプボンダです。2ウェーハステージと昇降温制御で、SAW FILTERのウェーハ交換の時間を縮めます。金線の太さは15〜32μmです。

向いている所SAWフィルタのウェーハのバンプ形成

方式:バンプボンダ(スタッドバンプ)

ダイシングの前のウェハの電極に、ボールだけを打って線を切り、突起を作る型です。配線はせず、あとでチップをフリップチップでつなぎます。

バンプボンダ SBB-5200​の仕様

方式
バンプボンダ(スタッドバンプ)
接合方式
ウェーハへのバンプボンディング
線の材質
金線
線の太さ
15〜32μm
接合速度
バンプあたり30ms
位置精度
±2.5μm(3σ)
接合範囲
最大直径150mm(6インチウェーハ)
価格
—公式資料で確認できず
超音波の周波数
—公式資料で確認できず
外形寸法
1,000W×1,084D×2,092H mm
質量
約500kg
電源
単相AC100V±5%、約1.1kVA
特長
2ウェーハステージ、昇降温制御

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

バンプボンダ SBB-5200ヤマハロボティクス株式会社バンプボンダ FB-x26BUMP1株式会社カイジョーワイヤボンダ FB-e20N株式会社カイジョー
方式バンプボンダ(スタッドバンプ)バンプボンダ(スタッドバンプ)ボールボンダ(超音波熱圧着)
接合方式ウェーハへのバンプボンディングウェハレベルのバンプボンディング超音波熱圧着ボール
線の材質金線—公式資料で確認できずAu、Cu、⁠⁠⁠⁠⁠⁠Ag
線の太さ15〜32μm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
接合速度バンプあたり30msバンプあたり30ms(Pill-cut mode)、40ms(Fix-cut mode)ワイヤあたり43ms
位置精度±2.5μm(3σ)3σ≦3.0μm3σ≦2.0μm
接合範囲最大直径150mm(6インチウェーハ)6インチウェハは直径145mm56mm×80mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
超音波の周波数—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
外形寸法1,000W×1,084D×2,092H mmW1,292×D1,240×H1,728mmW1,065×D1,186×H1,727mm
質量約500kg550kg560kg
電源単相AC100V±5%、約1.1kVA—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
特長2ウェーハステージ、昇降温制御マガジンからウェハを自動供給SECS/GEM標準搭載、ステップボンドシーケンス

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バンプボンダ SBB-5200​のよくある質問

Q.バンプボンダ SBB-5200はどんな人に向いている?
バンプボンダ SBB-5200は、SAWフィルタのウェーハのバンプ形成に使う人向けです。バンプボンダ SBB-5200は、ウェーハ回転ステージで6インチまでのウェーハに打てるバンプボンダです。
Q.バンプボンダ SBB-5200の強みは?
バンプボンダ SBB-5200は、2ウェーハステージと昇降温制御で、SAW FILTERのウェーハ交換の時間を縮めます。金線の太さは15〜32μmです。
Q.バンプボンダ SBB-5200はどんな方式?
バンプボンダ SBB-5200の方式はバンプボンダ(スタッドバンプ)⁠で⁠す⁠。ダイシングの前のウェハの電極に、ボールだけを打って線を切り、突起を作る型です。
Q.バンプボンダ SBB-5200の主な仕様は?
バンプボンダ SBB-5200の接合方式はウェーハへのバンプボンディング、線の材質は金線です。線の太さは15〜32μm、接合速度はバンプあたり30msです。
Q.バンプボンダ SBB-5200とバンプボンダ FB-x26BUMP1はどっちがいい?
SAWフィルタのウェーハのバンプ形成ならバンプボンダ SBB-5200、6インチまでのウェハのバンプ形成ならカイジョーのバンプボンダ FB-x26BUMP1です。バンプボンダ SBB-5200の接合方式はウェーハへのバンプボンディング、線の材質は金線です。カイジョーのバンプボンダ FB-x26BUMP1の接合方式はウェハレベルのバンプボンディング、接合速度はバンプあたり30ms(Pill-cut mode)、40ms(Fix-cut mode)で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.バンプボンダ SBB-5200の質量は?
バンプボンダ SBB-5200の質量は約500kgです。カイジョーのバンプボンダ FB-x26BUMP1の質量は550kgです。
Q.バンプボンダ SBB-5200の位置精度は?
バンプボンダ SBB-5200の位置精度は±2.5μm(3σ)⁠で⁠す⁠。カイジョーのバンプボンダ FB-x26BUMP1の位置精度は3σ≦3.0μmです。
Q.バンプボンダ SBB-5200とワイヤボンダ FB-e20Nはどっちがいい?
SAWフィルタのウェーハのバンプ形成ならバンプボンダ SBB-5200、LEDやディスクリートの量産ならカイジョーのワイヤボンダ FB-e20Nです。バンプボンダ SBB-5200の接合方式はウェーハへのバンプボンディング、線の材質は金線です。カイジョーのワイヤボンダ FB-e20Nの接合方式は超音波熱圧着ボール、線の材質はAu、Cu、Agです。
Q.バンプボンダ SBB-5200のほかにヤマハロボティクスのワイヤーボンダはある?
あります。ヤマハロボティクスのワイヤーボンダには、バンプボンダ SBB-5200のほかにワイヤボンダ UTC-RZ1(接合方式はキャピラリとワイヤで接合)があります。
Q.バンプボンダ SBB-5200はどこのメーカー?
バンプボンダ SBB-5200はヤマハロボティクス株式会社の製品です。ヤマハロボティクスの主な製品分野はワイヤーボンダです。

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