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アングルバルブのメーカー7社比較【2026年】

アングルバルブは、入口と出口が直角に並び、
流れを曲げながら開け閉めするバルブです。

ABOUT

アングルバルブとは

アングルバルブとは、入口と出口が直角に並んだバルブです。
真空装置では、チャンバーと粗引きポンプの間に付けて
排気ラインを仕切ります。
工場の配管では、蒸気・水・空気を空圧で開け閉めする
アングルシートバルブを使います。
真空用はL型バルブとも呼びます。

製品の特長

  • 流れを直角に曲げて仕切る(チャンバーと粗引きポンプの間)
  • 駆動を選べる(空圧の単動・複動、手動、電気)
  • シールを選べる(Oリング、ベローズ、メタル、ポリイミド)

使うメリット

  • 配管の曲がり角に付けられる(入口と出口が直角)
  • 排気を自動で切り替えられる(空圧・電気の駆動)
  • ベーキングして超高真空で使える(メタル・ポリイミドのシール)

選ぶときに注意すること

  1. ベーキング中は開け閉めしない
  2. Oリングの型はベーキングの温度に上限がある(アルバックのSUS製は本体150℃まで)
  3. 指定が無ければ、圧力の変動が大きい側に弁板を向けて付ける
  4. 空圧式は、圧空の配管と電磁弁を別に用意する
  5. 弁板には、決められた差圧(アルバックは0.10MPa)よ⁠り大きな圧力をかけない

※仕様は各メーカーの公式の製品ページ・データシートによる(価格はビュルケルトの日本のサイトの表示)。L型バルブの使い方は入江工研、駆動とシールの分け方はアルバックの解説による。

LIST

アングルバルブの比較表

アングルバルブの価格・相場公開価格(税区分の記載なし)

※公開価格の無い製品(10製品・各社 要見積)は入れていません

アングルバルブ11製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み価格

真空用・空圧(エア駆動)

4製品
株式会社アルバック真空アングルバルブ VLP-SA040KF向いている所:排気ラインを空圧で開け閉めしたい製品の詳細を見るメーカー公式サイトshowcase.ulvac.co.jp—公式資料で確認できず

本体を150℃までベーキングでき、フランジはJIS-VF・ISO-KF・ISO-K・ISO-CFの4つから選べます。弁板と軸の両方をOリングで封じる複動シリンダの型で、保証動作回数は100,000回です。使用圧力は大気圧から1.0E-5Paまでです。

要見積
SMC株式会社高真空L型バルブ XLA-2向いている所:軽いアルミボディで排気ラインを組む製品の詳細を見るメーカー公式サイトsmcworld.com—公式資料で確認できず

ボディをアルミにした高真空L型バルブで、軽く小さく、ガスの放出も少なく抑えています。単動(N.C.)のエアオペレートで、軸はベローズで封じ、ベローズは交換できます。フランジサイズは16〜80です。

要見積
株式会社キッツエスシーティーL型真空ベローズバルブ IVB40CA-NWF-(RS)向いている所:半導体装置の排気ラインを自動で仕切る製品の詳細を見るメーカー公式サイトkitzsct.com—公式資料で確認できず

半導体プロセス用のバルブを作る会社のL型ベローズバルブで、軸をSUS316Lのベローズで封じています。使用圧力は1×10^-6Paから2×10^5Paまでで、流体温度は-15〜100℃です。駆動はNCのほか、NOと複動の型番もあります。

要見積
VAT Japan Ltd.高真空アングルバルブ SERIES 26.4向いている所:大きな口径までそろえて排気する製品の詳細を見るメーカー公式サイトvatvalve.com—公式資料で確認できず

同じボディに手動・圧空・電磁・電動の駆動を選べる高真空用のアングルバルブです。手動と圧空はDN10〜DN160まであり、圧空のNC・NOはDN10〜80で初回サービスまで300万回動きます。漏れ率は本体・シートとも1×10-9mbar l/s未満です。

要見積

真空用・手動

2製品
株式会社アルバック真空アングルバルブ VLH-SB040KF向いている所:手で回して排気ラインを仕切る製品の詳細を見るメーカー公式サイトshowcase.ulvac.co.jp—公式資料で確認できず

軸をベローズで封じた手動の型で、使用圧力は1.0E-6Paまで下げられます。空圧の配管が無い装置や、開け閉めの少ない排気ラインに付けます。保証動作回数は10,000回です。

要見積
株式会社キッツエスシーティーL型真空ベローズバルブ IVB40MA-NWF-(RS)向いている所:手動でNWフランジの排気ラインを仕切る製品の詳細を見るメーカー公式サイトkitzsct.com—公式資料で確認できず

空圧式のIVB40CAと同じつくりで、手で開け閉めする型です。使用圧力は1×10^-6Paから2×10^5Paまでで、軸はSUS316Lのベローズで封じています。空圧の配管を引かずに付けられます。

要見積

超高真空用(ベーキング型)

2製品
キヤノンアネルバ株式会社超高真空L型ポリイミドバルブ 951-7120向いている所:ベーキングする超高真空の装置製品の詳細を見るメーカー公式サイトanelva.canon—公式資料で確認できず

弁のシールにポリイミド樹脂を使い、開閉どちらでも300℃までのベーキングを繰り返せます。ふっ素ゴムよりガスの放出が少なく、10-8Pa程度の超高真空まで使えます。メタルシールほど強く締めなくて済みます。

要見積
VAT Japan Ltd.オールメタルアングルバルブ SERIES 54.1向いている所:ベーキングする超高真空の装置製品の詳細を見るメーカー公式サイトvatvalve.com—公式資料で確認できず

シールまで金属にしたアングルバルブで、開いても閉じても300℃まで耐えます。金属のシール(FLEX VATRING)は横から替えられます。六角レンチで締め、トルクレンチは使いません。

要見積

配管用アングルシートバルブ

3製品
SMC株式会社アングルシートバルブ JSB向いている所:蒸気・水・空気の配管を開け閉めする製品の詳細を見るメーカー公式サイトsmcworld.com—公式資料で確認できず

アングルシートの流路で圧力の損失を抑え、流路の形を見直して流量を大きくしたバルブです。寿命は空気・水で1000万回、蒸気で300万回です。ねじのほか、突合せ溶接とヘルールの接続もあります。

要見積
ビュルケルトジャパン株式会社アングルシートバルブ タイプ2000(20148767)向いている所:蒸気ラインやCIPの開け閉め製品の詳細を見るメーカー公式サイトburkert.jp—公式資料で確認できず

日本のサイトで型番ごとの値段を出しているアングルシートバルブで、Rc3/4のこの型は32,100円です。蒸気ライン・熱交換器・SIP/CIPユニットのように開け閉めが多く、熱い・冷たいを繰り返す所に向けた型です。リミットスイッチや手動ハンドルなどの付属品がそろいます。

32,100円通販税区分の記載なし
フエスト株式会社アングルシートバルブ VZXF(1002559)向いている所:蒸気・高温の流体を空気圧で開け閉めする製品の詳細を見るメーカー公式サイトftp.festo.com—公式資料で確認できず

ステンレスのボディにPTFEのシートを組んだ空気圧式のアングルシートバルブで、流体温度は-40〜200℃まで使えます。流体圧力は0〜1.6MPaで、蒸気と不活性ガスに使えます。空気が抜けるとばねで閉じるノーマルクローズです。

要見積
Q&A

アングルバルブ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問アングルバルブの価格は、いくら?

値段を公式に出しているのは、配管用のアングルシートバルブのビュルケルトです。タイプ2000のRc3/4の型(識別番号20148767)は32,100円で、税込か税抜かは書かれていません。真空用のアングルバルブは、このページの会社はどこも値段を出していません。

設備担当の疑問アングルバルブとは?L型バルブとの違いは?

入口と出口が直角に並んだバルブで、真空の分野ではL型バルブとも呼ぶ同じものです。入江工研の解説では、主にチャンバーと粗引きポンプの間に付けて、排気系の仕切りに使います。

設備担当の疑問アングルバルブの種類は?

このページでは4つに分けました。真空用で空圧で動かす型、手で回す型、ベーキングする超高真空用の型と、工場の配管に付けるアングルシートバルブです。アルバックは駆動を複動シリンダ・単動シリンダ・手動の3つから選べます。

設備担当の疑問空圧の単動と複動の違いは?

単動(NC)は空気を送ると開き、空気が切れるとばねで閉じます。圧空ラインは1本で済みます。アルバックはVLP(複動)とVLB(単動)、SMCはXLA-2(単動)とXLC-2(複動)に分けています。

設備担当の疑問OリングシールとベローズシールのL型バルブの違いは?

アルバックは軸のシールをOリング式とベローズ式から選べます。VLP-SA040KF(Oリング)の使用圧力は1.0E-5Paまで、VLH-SB040KF(ベローズ)は1.0E-6Paまでです。SMCはベローズシールのXLA-2をダストフリー・クリーン化、OリングシールのXLF-2を高速作動・高作動回数の型にしています。

工場長の疑問アングルバルブは何℃までベーキングできる?

Oリングの型は低めです。アルバックのSUS製は本体150℃までで、メタルシールのVLP-MBは開けた状態で200℃です。キヤノンアネルバの951-7120は最高300℃、VATのSERIES 54.1は開閉位置とも300℃以下です。どの会社も、ベーキング中は開け閉めしないで使います。

設備担当の疑問フランジの規格は?KF(NW)とICF・CFの違いは?

ISO-KFは、クイックカップリング・NWフランジとも呼びます。キッツエスシーティーのIVBはNWフランジ、VATのSERIES 26.4はISO-KFとISO-Kです。超高真空用では、キヤノンアネルバの951-7120はICF70、VATのSERIES 54.1はCF-Rです。アルバックはJIS-VF・ISO-KF・ISO-K・ISO-CFの4つから選べます。

施設管理の疑問アングルバルブのリーク量(漏れ率)は?

アルバックのVLP-SA040KFは外部・内部とも1.0E-10Pa・m3/s以下、キヤノンアネルバの951-7120は6.7×10-11Pa・m3/s以下です。VATはmbar l/sで出していて、SERIES 26.4は1×10-9未満、オールメタルのSERIES 54.1は1×10-10未満です。単位が違うので、比べるときはそろえてから見ます。

施設管理の疑問アングルバルブを付ける向きは?

入江工研の解説では、取付けの向きは自由で、指定が無ければ圧力の変動が大きい方に弁板が向くように付けます。アルバックのVLP-SA040KFとVLH-SB040KFも、運転姿勢は自由です。

工場長の疑問アングルバルブの寿命・作動回数は?

アルバックの保証動作回数は、空圧のVLP-SA040KFが100,000回、手動のVLH-SB040KFが10,000回です。VATのSERIES 26.4は圧空のNC・NOで初回サービスまで300万回、オールメタルのSERIES 54.1は1,000サイクル以上です。SMCのJSBは空気・水で1000万回です。

総務の疑問アングルシートバルブとは?真空用と同じもの?

工場の配管で蒸気・水・空気などを空圧で開け閉めするバルブで、真空用のL型バルブとは別の製品です。フエストのVZXF(1002559)は流体温度-40〜200℃、流体圧力0〜1.6MPaで、ビュルケルトのタイプ2000は蒸気・水・洗剤(CIP)⁠な⁠ど⁠に使えます。

TYPES

アングルバルブの種類の違い

真空用・空圧(エア駆動)

圧縮空気でシリンダを動かして開け閉めする真空アングルバルブです。装置の制御から自動で開け閉めできます。単動(NC)⁠な⁠ら圧空ラインは1本で済み、空気が切れると閉じます。

向いている使い方

  • 装置の制御で自動に開け閉めする
  • 粗引きの排気を何度も切り替える
  • 圧空が切れたら閉じておきたい

根拠:駆動方式は複動式、単動式をご用意しております。単動式の場合には圧空ラインが1つで済みます。(出典3)

この種類の4製品を表で見る

真空用・手動

ハンドルを回して開け閉めする真空アングルバルブです。空圧の配管も電気も使いません。開け閉めの少ない所や、試験用の装置に付けます。

向いている使い方

  • 開け閉めの少ない排気ライン
  • 空圧の配管が無い装置
  • 試験・研究用の小さな装置

根拠:駆動方式は、 「複動シリンダ」「単動シリンダ」「手動」 3タイプから選択でき(出典2)

この種類の2製品を表で見る

超高真空用(ベーキング型)

シールにメタルやポリイミド樹脂を使い、200〜300℃のベーキングに耐える型です。ガスの放出が少なく、10-8Pa程度の超高真空の装置に付けます。

向いている使い方

  • ベーキングする超高真空の装置
  • 表面分析・加速器などの研究装置
  • Oリングのガス放出を避けたい

根拠:150 ℃以上のベーキングを伴なう超高真空装置用バルブとして適しています。(出典10)

この種類の2製品を表で見る

配管用アングルシートバルブ

工場の配管で、蒸気・水・空気などを空圧で開け閉めするバルブです。開け閉めが多く、熱い・冷たいを繰り返す蒸気ラインや熱交換器、CIPの配管に使います。ねじ・溶接・ヘルールでつなぎます。

向いている使い方

  • 蒸気ラインの開け閉め
  • 熱交換器・CIPの配管
  • 食品・医薬の衛生配管

根拠:アングルシートバルブは、蒸気ライン、熱交換器、SIP/CIPユニット等のバルブ開閉頻度が高く(出典13)

この種類の3製品を表で見る
MAKERS

アングルバルブの主なメーカー7社

株式会社アルバック

特徴
真空の技術を軸に、真空ポンプ・計測器・成膜装置などを手がける会社で、本社・工場は神奈川県茅ヶ崎市にあります。
強み
  • 先進パッケージ向けの成膜技術
  • 連結5,613名

神奈川県

SMC株式会社

特徴
1959年設立。 自動制御機器製品の製造加工・販売と、焼結濾過体・各種濾過装置の製造・販売を行う。
強み
  • 約80の国と地域に約500の営業拠点
  • 国内6地区の工場で作る

東京都

株式会社キッツエスシーティー

特徴
半導体製造装置と周辺機器用の配管部材、ガスパネル、ユニットを開発・製造・販売する会社。
強み
  • 開発からサービスまで一貫
  • 供給系から真空排気まで

東京都

キヤノンアネルバ株式会社

特徴
スパッタリング装置などの製造装置と、真空計・リークディテクタ・質量分析計などの真空の部品を手がける会社です。
強み
  • 10⁻¹²Pa・m³/sの高感度
  • ボタン1つで立ち上げから測定

神奈川県

VAT Japan Ltd.

特徴
スイスに本社を置く真空バルブのVATグループの日本拠点で、東京都大田区で販売とサービスを受け持つ。

東京都

ビュルケルトジャパン株式会社

特徴
ドイツの流体制御機器メーカー、ビュルケルトの日本法人です。 東京都文京区にオフィスを置き、アングルシートバルブなどのプロセスバルブを売っています。

東京都

フエスト株式会社

特徴
ドイツのFesto SE & Co. KGのグループ会社で、日本で空気圧・電動の自動化機器を販売している。
出典
  1. 入江工研 真空バルブとは
  2. アルバック 真空アングルバルブ(L型バルブ)の構造と特徴
  3. アルバック 真空アングルバルブ VLP-SA040KF
  4. アルバック 真空アングルバルブ VLH-SB040KF
  5. キッツエスシーティー IVB L型真空ベローズバルブ ⁠自動
  6. キッツエスシーティー IVB L型真空ベローズバルブ ⁠手動
  7. VAT 高真空アングルバルブ SERIES 26.4
  8. VAT オールメタルアングルバルブ SERIES 54.1
  9. SMC 高真空L型バルブ XLA/C/F/G
  10. キヤノンアネルバ 超高真空L型ポリイミドバルブ
  11. SMC アングルシートバルブ JSB
  12. フエスト アングルシートバルブ VZXF データシート
  13. ビュルケルト タイプ2000 アングルシートバルブ
掲載基準

半導体・真空装置・分析機器の排気ラインと、工場の蒸気・水・空気の配管に業務で使うアングルバルブ(真空用のL型バルブと配管用のアングルシートバルブ)で、日本法人のある会社が自社かグループで作り、公式サイトで今案内していて、仕様を公式の日本語の資料で確かめられた製品。1社1〜2製品、代表の型番かシリーズの単位で載せています。弁板が直線に動いて開口をふさぐ真空ゲートバルブはゲートバルブ、膜で流路をふさぐ弁はダイヤフラムバルブ、ハンドルで回す玉形のストップ弁(アングル形を含む)はストップ弁の比較に分け、住宅設備のアングル形止水栓、真空フランジやベローズだけの部品、中古品、代理店が売る他社製品は除いています。入江工研は公式サイトにL型バルブの型番の一覧だけがあり仕様を確かめられず、ブイテックスは公式サイトの製品にアングルバルブが無く、ゲミュージャパンは公式サイトが取得を拒み、ファイファーバキュームとエドワーズは日本語の公式ページで型番ごとの仕様を見つけられなかったので、今回は載せていません。

アングルバルブを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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