GUIDE / ANGLE-VALVEアングルバルブ
アングルバルブとは？真空用のL型バルブ（空圧・手動・超高真空）と配管用のアングルシートバルブ の種類と、フランジ・リーク量・ベーキング温度・価格の選び方
半導体・真空
この
アングルバルブは、
アングルバルブとは
アングルバルブは、
比較ページには、
4つの種類
- 真空用・
空圧の型は、 圧縮空気で シリンダを 動かして 開け閉めします。例は アルバックの VLP-SA040KF、 キッツエスシー ティー のIVB40CA、 SMCの XLA-2、 VATの SERIES 26.4です - 真空用・
手動の型は、 ハンドルを 回して 開け閉めします。例は アルバックの VLH-SB040KFと、 キッツエスシー ティー のIVB40MAです - 超高
真空用 （ベーキング型）は、 シールに メタルや ポリイミド 樹脂を 使います。例は キヤノンアネルバ の951-7120と、 VATの SERIES 54.1です - 配管用の
アングルシート バルブは、 蒸気・ 水・ 空気を 空圧で 開け閉めします。例は SMCの JSB、 フエストの VZXF、 ビュルケルトのタイプ 2000です
駆動の選び方
- 単動
（NC）は、 空気を 送ると開き、 空気が 切れると 閉じます。 アルバックの 単動式は、 圧空ラインが 1つで 済みます - アルバックは、
駆動を 複動シリンダ・ 単動シリンダ・ 手動の 3つから 選べます。 シリンダは 全機種で 許容逆差圧 0.10MPaです - VATの
SERIES 26.4は、 手動・圧空・電磁・ 電動から 選べます。 手動と 圧空は DN10〜 DN160まであります - 空圧の
配管が 無い装置や、 開け閉めの 少ない ラインには 手動の 型を付けます
シールと真空の度合い
- アルバックは、
軸のシールを Oリング式と ベローズ式から 選べます - アルバックの
VLP-SA040KF （Oリング）の 使用圧力は、 大気圧から 1.0 E-5Pa までです - アルバックの
VLH-SB040KF （ベローズ）の 使用圧力は、 大気圧から 1.0 E-6Pa までです - キヤノンアネルバ
の951-7120は、 ポリイミド 樹脂の シールで 10-8Pa程度まで 使えます - VATの
SERIES 54.1は、 シールまで 金属の オールメタルの型です
ベーキングの温度
- アルバックの
SUS製は、本体 150℃まで です。 メタルシール のVLP-MBは、 開けた 状態で 200℃です - キヤノンアネルバ
の951-7120は、 開閉どちらでも最高 300℃です。 連続して 加熱する ときは 260℃です - VATの
SERIES 54.1は、 開位置・閉位置とも 300℃以下です - ベーキング
中は、 バルブを 開け閉めしません
フランジとリーク量
- アルバックは、
JIS-VF・ ISO-KF・ ISO-K・ ISO-CF の4つから 選べます。 ISO-KFは NWフランジとも 呼びます - キッツエスシー
ティー のIVBは NWフランジ、 キヤノンアネルバ の951-7120は ICF70、 VATの SERIES 54.1は CF-Rです - アルバックの
VLP-SA040KFの リーク量は、 外部・内部とも 1.0 E-10Pa・ m3/s以下です - キヤノンアネルバ
の951-7120の リーク量は、 6.7×10-11Pa・ m3/s以下です - VATは
mbar l/sで 出していて、 SERIES 26.4は 1×10-9未満、 SERIES 54.1は 1×10-10未満です
配管用のアングルシートバルブ
- SMCの
JSBは、 寿命が 空気・水で 1000万回、 蒸気で 300万回です - フエストの
VZXF （1002559）は、 流体温度が -40〜200℃、 流体圧力が 0〜1.6MPaです - ビュルケルトのタイプ
2000は、 蒸気・水・ 洗剤（CIP）などに 使えます。 Rc3/4の型は 32,100円です （税区分の記載なし）
付けるときの注意
- 入江工研の
解説では、 取付けの 向きは 自由です。 指定が 無ければ、 圧力の 変動が 大きい方に 弁板を 向けます - 弁板には、
決められた 差圧より 大きな 圧力を かけません - 空圧式は、
圧空の 配管と 電磁弁を 別に用意します
COMPAREアングルバルブの
