真空フランジのメーカー4社比較【2026年】

今回の4社は、どこも値段を公式に出していません。コスモ・テックは真空部品の通販サイトで売っていますが、価格と在庫は会員登録してログインすると見られます。北野精機は製品ページから見積もりを頼めます。

ICFは金属のガスケットをナイフエッジで押しつぶし、ボルトで締めます。KFはOリング付きのセンターリングをはさみ、クランプで留めます。ICFは超高真空とベーキング向き、KFは工具なしで何度もつなぎ直せるのが違いです。

つなぎ方の規格で、ICF（コンフラット）⁠・KF（NW）⁠・ISO（LF）の3つに分かれます。形では、ふたをするブランク、管に溶接する溶接用、ボルト穴の向きを合わせやすい回転、規格や口径を変える変換があります。

北野精機は、ICFフランジの許容温度範囲を-190℃から450℃としています。真空炉で450℃・48時間のベーキング処理も受けます。コスモ・テックのBeCu製品のベーキング耐熱は300℃です。

入江工研のNW-KF継手は加熱温度150℃まで、北野精機のISO（LF）フランジは140℃の真空ベーキングまでです。どちらもOリングでシールするので、金属ガスケットのICFより低い温度までです。

北野精機のICF-70FHは外径70mm・厚さ13mm・PCD 58.7mmです。テクノフレックスのCF70-Hとコスモ・テックのICF70Fは、外径70mm・厚さ12.7mm・PCD 58.7mm・ボルト穴6穴です。

北野精機のICFはSUS304L、ISO（LF）はSUS316Lです。テクノフレックスは304SSと316L SSから選べます。コスモ・テックはSUS304・SUS316L・SUS316LN・BeCuのICFと、SUS304・SUS316L・アルミのNW/KFブランクをそろえています。

穴の無いフランジで、ポートをふさいだり、穴をあけて部品を付ける素材にしたりします。テクノフレックスのBFP-40とコスモ・テックのNW40BKは、どちらもNW40で外径55mmです。

入江工研のNW-KF継手は、Heリーク量を1×10-9 Pa・m3/s以下としています。ほかの社は、今回の品番ではリーク量を公式に書いていません。

変換フランジを使います。北野精機は、変換フランジでICFフランジ・JISフランジとつなげるとしています。テクノフレックスのカタログにもCFの変換フランジがあります。

北野精機はICF-34からICF-306までを標準在庫し、最大ICF-406まで作れます。コスモ・テックのICFブランクはICF34からICF356まで、NW/KFブランクのSUS304はNW10からNW200までです。