真空フランジとは？ICF（コンフラット）⁠・KF（NW）⁠・ISO（LF）の規格の違いと、材質・寸法・耐熱温度の選び方

真空フランジとは

真空フランジは、真空容器・ポンプ・バルブ・配管を、空気が漏れないようにつなぐ継ぎ手の板です。分析装置や研究装置の超高真空から、ポンプまわりの配管まで使います。

比較ページには、日本の会社が自社で作る真空フランジを、品番の単位で載せています。配管用のJISフランジ、真空容器そのもの、クランプやガスケットだけの品は載せていません。

3つの規格

• ICF（コンフラット）は、ナイフエッジで金属のガスケットを押しつぶし、ボルトで締めます。超高真空の容器や継ぎ手に使います。例は北野精機のICF-70FH、テクノフレックスのCF70-H、コスモ・テックのICF70Fです
• KF（NW）は、Oリング付きのセンターリングをはさみ、クランプで留めます。入江工研の継手は、蝶ネジを回すだけで着脱できます。例は入江工研のVP3040、テクノフレックスのBFP-40、コスモ・テックのNW40BKです
• ISO（LF）は、KFより大きな口径をOリングとクロークランプで留めます。オス・メスを考えずにつなげます。例は北野精機のNW100LF-Bです

形の違い

• ブランクは穴の無いフランジで、ポートをふさぐか、穴をあけて部品を付ける素材にします
• 溶接用は、管に溶接して継手にします
• 回転は、ボルト穴の向きを合わせやすい型です
• 変換は、規格や口径の違う配管をつなぎます。北野精機は、変換フランジでICFフランジ・JISフランジとつなげるとしています

耐熱とベーキング

• 北野精機のICFフランジは、許容温度範囲が-190℃から450℃です。真空炉で450℃・48時間のベーキング処理も受けます
• 入江工研のNW-KF継手は、加熱温度150℃までです
• 北野精機のISO（LF）フランジは、140℃の真空ベーキングまでです
• コスモ・テックのBeCu製品は、ベーキング耐熱が300℃です

寸法と材質

• ICF70は、北野精機のICF-70FHが外径70mm・厚さ13mm・PCD 58.7mm、テクノフレックスのCF70-Hとコスモ・テックのICF70Fが厚さ12.7mm・ボルト穴6穴です
• NW40のブランクは、テクノフレックスのBFP-40もコスモ・テックのNW40BKも外径55mmです
• 材質は、北野精機のICFがSUS304L、ISO（LF）がSUS316Lです。テクノフレックスは304SSと316L SSから選べます

在庫と値段

• 北野精機は、ICF-34からICF-306までを標準在庫し、最大ICF-406まで作れます
• コスモ・テックは、ICFブランクをICF34からICF356まで、NW/KFブランクのSUS304をNW10からNW200までそろえています
• 値段を公式に出している社はありません。コスモ・テックの通販は、会員登録してログインすると価格と在庫が見られます