車や産業機器、医療機器に組み込むMEMSセンサーを型番で選ぶ、設計・開発・購買の担当の方へ

MEMSセンサーのメーカー7社比較【2026年】

MEMSセンサーは、半導体の微細加工で作った構造で、
動きや圧力、流れを電気の信号に変える部品です。

ABOUT

MEMSセンサーとは

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MEMSセンサーとは、半導体の微細加工で作った小さな構造で、
動き・圧力・流れを電気の信号に変える部品です。
MEMSはマイクロ電気機械システムの略で、メムスセンサとも呼びます。

製品の特長

小さい（DPS368は2.0×2.5×1.1mm）
デジタルで読める（SPI・I2Cで値を出す型番が多い）
測る量が広い（加速度・角速度・圧力・流量）

使うメリット

機器を小さくできる（基板に載せて組み込める）
消費電力が小さい型がある（DPS368は平均1.7µA）
回路の設計が減る（校正済みの値をデジタルで出す型がある）

選ぶときに注意すること

同じシリーズでも、測定範囲の違いで型番が分かれる
精度の書き方は会社ごとに違う。%FSとmgを同じ物差しで比べない
防水と書いてあっても、測れる媒体と圧力の範囲を確かめる
最終販売の型番がある。新しい設計では供給状況を先に確かめる

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとデータシートによる。値段は公式に公開されていない。

LIST

MEMSセンサーの比較表

MEMSセンサー9製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU） 3製品
多摩川精機株式会社MEMS IMU TAG320N2000建設機械・農業機械の姿勢制御口コミを書く	要見積	防水ケースに入り、CANで加速度・角速度・姿勢角を出すMEMS IMUです。角速度バイアスは0.1°/s rms（室温）で、シリーズの中で精度を上げた高精度モデルです。基板に載せる部品ではなく、機械に取り付ける形で使います。	検出する量慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）検出する量加速度、角速度、姿勢角測定範囲角速度±200°/s、加速度±6G 精度角速度バイアス0.1°/s rms（室温）出力 CAN標準+⁠⁠⁠拡張外形寸法 83×47.9×20mm 電源電圧 8〜32V 使用温度範囲 -40〜85℃ 検出の仕組み MEMSジャイロセンサを搭載消費電流・電力消費電力1W以下	公式ページへ詳細・仕様
株式会社村田製作所3軸加速度センサ SCA3300-D01産業機器の傾斜補正・姿勢の計測口コミを書く	要見積	測定レンジを±1.5g・±3g・±6gから選べる、SPI出力の3軸加速度センサです。使用温度範囲は-40〜125℃で、過酷な環境で使う慣性計測装置や傾斜補正機に向きます。評価ボードの品番も村田製作所が公式に案内しています。	検出する量慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）検出する量 3軸の加速度測定範囲 ±1.5g・±3g・±6g 精度オフセット温度特性±15mg 出力 SPI（デジタル）外形寸法 7.6×8.6×3.3mm 電源電圧 3.0〜3.6V 使用温度範囲 -40〜125℃ 検出の仕組み静電容量式の3D-MEMS 消費電流・電力 1mA	公式ページへ詳細・仕様
株式会社村田製作所6軸コンボセンサ SCH1633-D01ADAS・自動運転の車両IMU口コミを書く	要見積	角速度と加速度を1つのパッケージで測る、自動車用途向けの6軸センサです。ジャイロのバイアス不安定性は0.5°/h未満で、GNSSやカメラ、レーダーとのデータ融合に使います。自己診断の機能を多く積み、機能安全を求める用途に向きます。	検出する量慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）検出する量角速度、加速度測定範囲角速度±300°/s、加速度±8g 精度ジャイロバイアス不安定性0.5°/h未満出力 SafeSPI v2.0 外形寸法 11.8×13.4×2.9mm、SOIC 24pin 電源電圧 3.0〜3.6V、I/O電源1.7〜3.6V 使用温度範囲 -40〜110℃ 検出の仕組み静電容量式の3D-MEMS 記載なし消費電流・電力	公式ページへ詳細・仕様
圧力センサ（圧力・気圧） 3製品
アルプスアルパイン株式会社防水気圧センサ HSPPAD143C防水機器の気圧・水深の検出口コミを書く	要見積	防水構造のピエゾ抵抗式で、大気圧と水深を測れるMEMS気圧センサーです。出力範囲は300〜2000hPaで、気圧と温度の値をI²Cで読み出します。電源電圧と精度は公式の一覧に載っていないので、PDFカタログで確かめます。	検出する量圧力センサ（圧力・気圧）検出する量大気圧、水深（絶対圧）測定範囲 300〜2000hPa 出力 I²C（気圧17bit、温度16bit）外形寸法 3.1×3.1×2.6mm 検出の仕組みピエゾ抵抗式のMEMS 記載なし精度・電源電圧・使用温度範囲・消費電流・電力	公式ページへ詳細・仕様
インフィニオンテクノロジーズジャパン株式会社気圧センサ DPS368IoT機器の低消費電力の気圧測定口コミを書く	要見積	静電容量式の素子を使い、水・ほこり・湿気に強い気圧センサです。相対精度は±0.06hPaで、平均の消費電流は1.7µAです。インフィニオンの日本法人は東京都渋谷区に本社を置いています。	検出する量圧力センサ（圧力・気圧）検出する量気圧測定範囲 300〜1200hPa 精度相対±0.06hPa、絶対±1hPa 出力 I2C、SPI 外形寸法 2.0×2.5×1.1mm 電源電圧 1.7〜3.6V 使用温度範囲 -40〜85℃ 検出の仕組み静電容量式消費電流・電力平均1.7µA	公式ページへ詳細・仕様
ミネベアミツミ株式会社圧力センサ MMR920C04A呼気や内圧の微小な圧力の測定口コミを書く	要見積	感度を高めるMEMS構造で、±3.92kPaの微小な圧力をデジタルで読むセンサーです。精度は±1%FSで、パッケージは7.0×7.0×7.2mmの表面実装です。Arduino用の評価キットも用意されています。	検出する量圧力センサ（圧力・気圧）検出する量ゲージ圧（空気）測定範囲 ±40cmH2O（±3.92kPa）精度 ±1%FS 出力 SPI、I2C 外形寸法 7.0×7.0×7.2mm 電源電圧 3.0〜3.6V 使用温度範囲 -40〜85℃ 検出の仕組みピエゾ抵抗式のMEMS 消費電流・電力 0.8mA	公式ページへ詳細・仕様
フローセンサ（流量・風速） 3製品
センシリオン株式会社マスフローメータ SFM5500-10slm複数のガスを1台で測る分析装置口コミを書く	要見積	複数のガスに校正済みのマスフローメーターです。CMOSens MEMSフローセンサーの広い測定範囲で、1台で複数の流量範囲に使えます。部品ではなく、継ぎ手と金属ボディーの付いた完成品です。	検出する量フローセンサ（流量・風速）検出する量ガスの質量流量測定範囲フルスケール10slm 精度 0.08%FSか0.8%SP 出力 DeviceNet、RS485 外形寸法 105×38.5×90.5mm 電源電圧 14〜26.4V 検出の仕組み CMOSens MEMS 記載なし使用温度範囲・消費電流・電力	公式ページへ詳細・仕様
ミネベアミツミ株式会社流量センサ MMS50X配管の空気の流量を両方向で測る口コミを書く	要見積	MEMSのサーマルフロー式で、-250〜250L/minの流れを両方向で測れます。分解能の高い⊿ΣADコンバータを積み、流量をI2Cのデジタル値で出します。外形は73×24×38mmで、基板実装の部品より大きい形です。	検出する量フローセンサ（流量・風速）検出する量流量測定範囲 -250〜250L/min 精度 ±5%RD（10〜25%FS）、±3%RD（25〜100%FS）出力 I2C 外形寸法 73×24×38mm 電源電圧 3.0〜3.6V 使用温度範囲 -20〜80℃ 検出の仕組みサーマルフロー式のMEMS 記載なし消費電流・電力	公式ページへ詳細・仕様
ルネサスエレクトロニクス株式会社風速センサ FS3000-1015装置内の風速の監視口コミを書く	要見積	MEMSサーモパイルで風速を測る表面実装のモジュールです。外形は8×9×4mmで、0〜15m/secの風速をI2Cで読み出します。炭化ケイ素のコーティングで、摩耗と結露から素子を守っています。	検出する量フローセンサ（流量・風速）検出する量風速測定範囲 0〜15m/sec 出力 I2C 外形寸法 8×9×4mm 電源電圧 3.3V 使用温度範囲 0〜85℃ 検出の仕組み MEMSサーモパイル消費電流・電力 10mA 記載なし精度	公式ページへ詳細・仕様

慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）3製品

多摩川精機株式会社

MEMS IMU TAG320N2000

建設機械・農業機械の姿勢制御

防水ケースに入り、CANで加速度・角速度・姿勢角を出すMEMS IMUです。角速度バイアスは0.1°/s rms（室温）で、シリーズの中で精度を上げた高精度モデルです。基板に載せる部品ではなく、機械に取り付ける形で使います。

コスト要見積

検出する量: 慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）
検出する量: 加速度、角速度、姿勢角
測定範囲: 角速度±200°/s、加速度±6G
精度: 角速度バイアス0.1°/s rms（室温）
出力: CAN標準+⁠⁠⁠拡張
外形寸法: 83×47.9×20mm
電源電圧: 8〜32V
使用温度範囲: -40〜85℃
検出の仕組み: MEMSジャイロセンサを搭載
消費電流・電力: 消費電力1W以下

産業機器の傾斜補正・姿勢の計測

測定レンジを±1.5g・±3g・±6gから選べる、SPI出力の3軸加速度センサです。使用温度範囲は-40〜125℃で、過酷な環境で使う慣性計測装置や傾斜補正機に向きます。評価ボードの品番も村田製作所が公式に案内しています。

コスト要見積

検出する量: 慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）
検出する量: 3軸の加速度
測定範囲: ±1.5g・±3g・±6g
精度: オフセット温度特性±15mg
出力: SPI（デジタル）
外形寸法: 7.6×8.6×3.3mm
電源電圧: 3.0〜3.6V
使用温度範囲: -40〜125℃
検出の仕組み: 静電容量式の3D-MEMS
消費電流・電力: 1mA

ADAS・自動運転の車両IMU

角速度と加速度を1つのパッケージで測る、自動車用途向けの6軸センサです。ジャイロのバイアス不安定性は0.5°/h未満で、GNSSやカメラ、レーダーとのデータ融合に使います。自己診断の機能を多く積み、機能安全を求める用途に向きます。

コスト要見積

検出する量: 慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）
検出する量: 角速度、加速度
測定範囲: 角速度±300°/s、加速度±8g
精度: ジャイロバイアス不安定性0.5°/h未満
出力: SafeSPI v2.0
外形寸法: 11.8×13.4×2.9mm、SOIC 24pin
電源電圧: 3.0〜3.6V、I/O電源1.7〜3.6V
使用温度範囲: -40〜110℃
検出の仕組み: 静電容量式の3D-MEMS
記載なし: 消費電流・電力

圧力センサ（圧力・気圧）3製品

防水機器の気圧・水深の検出

防水構造のピエゾ抵抗式で、大気圧と水深を測れるMEMS気圧センサーです。出力範囲は300〜2000hPaで、気圧と温度の値をI²Cで読み出します。電源電圧と精度は公式の一覧に載っていないので、PDFカタログで確かめます。

コスト要見積

検出する量: 圧力センサ（圧力・気圧）
検出する量: 大気圧、水深（絶対圧）
測定範囲: 300〜2000hPa
出力: I²C（気圧17bit、温度16bit）
外形寸法: 3.1×3.1×2.6mm
検出の仕組み: ピエゾ抵抗式のMEMS
記載なし: 精度・電源電圧・使用温度範囲・消費電流・電力

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インフィニオンテクノロジーズジャパン株式会社

気圧センサ DPS368

IoT機器の低消費電力の気圧測定

静電容量式の素子を使い、水・ほこり・湿気に強い気圧センサです。相対精度は±0.06hPaで、平均の消費電流は1.7µAです。インフィニオンの日本法人は東京都渋谷区に本社を置いています。

コスト要見積

検出する量: 圧力センサ（圧力・気圧）
検出する量: 気圧
測定範囲: 300〜1200hPa
精度: 相対±0.06hPa、絶対±1hPa
出力: I2C、SPI
外形寸法: 2.0×2.5×1.1mm
電源電圧: 1.7〜3.6V
使用温度範囲: -40〜85℃
検出の仕組み: 静電容量式
消費電流・電力: 平均1.7µA

呼気や内圧の微小な圧力の測定

感度を高めるMEMS構造で、±3.92kPaの微小な圧力をデジタルで読むセンサーです。精度は±1%FSで、パッケージは7.0×7.0×7.2mmの表面実装です。Arduino用の評価キットも用意されています。

コスト要見積

検出する量: 圧力センサ（圧力・気圧）
検出する量: ゲージ圧（空気）
測定範囲: ±40cmH2O（±3.92kPa）
精度: ±1%FS
出力: SPI、I2C
外形寸法: 7.0×7.0×7.2mm
電源電圧: 3.0〜3.6V
使用温度範囲: -40〜85℃
検出の仕組み: ピエゾ抵抗式のMEMS
消費電流・電力: 0.8mA

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フローセンサ（流量・風速）3製品

センシリオン株式会社

マスフローメータ SFM5500-10slm

複数のガスを1台で測る分析装置

複数のガスに校正済みのマスフローメーターです。CMOSens MEMSフローセンサーの広い測定範囲で、1台で複数の流量範囲に使えます。部品ではなく、継ぎ手と金属ボディーの付いた完成品です。

コスト要見積

検出する量: フローセンサ（流量・風速）
検出する量: ガスの質量流量
測定範囲: フルスケール10slm
精度: 0.08%FSか0.8%SP
出力: DeviceNet、RS485
外形寸法: 105×38.5×90.5mm
電源電圧: 14〜26.4V
検出の仕組み: CMOSens MEMS
記載なし: 使用温度範囲・消費電流・電力

配管の空気の流量を両方向で測る

MEMSのサーマルフロー式で、-250〜250L/minの流れを両方向で測れます。分解能の高い⊿ΣADコンバータを積み、流量をI2Cのデジタル値で出します。外形は73×24×38mmで、基板実装の部品より大きい形です。

コスト要見積

検出する量: フローセンサ（流量・風速）
検出する量: 流量
測定範囲: -250〜250L/min
精度: ±5%RD（10〜25%FS）、±3%RD（25〜100%FS）
出力: I2C
外形寸法: 73×24×38mm
電源電圧: 3.0〜3.6V
使用温度範囲: -20〜80℃
検出の仕組み: サーマルフロー式のMEMS
記載なし: 消費電流・電力

装置内の風速の監視

MEMSサーモパイルで風速を測る表面実装のモジュールです。外形は8×9×4mmで、0〜15m/secの風速をI2Cで読み出します。炭化ケイ素のコーティングで、摩耗と結露から素子を守っています。

コスト要見積

検出する量: フローセンサ（流量・風速）
検出する量: 風速
測定範囲: 0〜15m/sec
出力: I2C
外形寸法: 8×9×4mm
電源電圧: 3.3V
使用温度範囲: 0〜85℃
検出の仕組み: MEMSサーモパイル
消費電流・電力: 10mA
記載なし: 精度

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出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/mems-sensor/／各社の公式資料（2026年11月6日確認）

Q&A

MEMSセンサー選びで、よくある疑問

購買担当の疑問MEMSセンサーの価格は、いくら？

表の9製品は、どれも公式ページに値段を出していません。村田製作所は国内代理店の案内をページに載せ、ミネベアミツミはお見積りの窓口を案内しています。数量を決めて各社か代理店に聞きます。

設備担当の疑問MEMSセンサーの種類と違いは？

検出する量で、慣性センサ、圧力センサ、フローセンサの3つに分かれます。慣性はSCA3300-D01やSCH1633-D01、圧力はMMR920C04AやDPS368、流量はMMS50XやFS3000-1015です。

設備担当の疑問加速度センサとジャイロセンサの違いは？

加速度センサは傾きや振動を測り、ジャイロセンサは回る速さを測ります。村田製作所のSCA3300-D01は加速度だけで±6gまで、SCH1633-D01は角速度±300°/sと加速度±8gを1つで測ります。

設備担当の疑問IMUとは？MEMSセンサーとの違いは？

IMUは、加速度と角速度をまとめて測る慣性計測の装置です。多摩川精機のTAG320N2000はMEMSジャイロセンサを積み、防水ケースに入ってCANで値を出します。SCH1633-D01のように基板に載せる6軸の素子もあります。

総務の疑問MEMS圧力センサのピエゾ抵抗式と静電容量式の違いは？

ピエゾ抵抗式は膜のひずみを抵抗の変化で読みます。ミネベアミツミのMMR920C04Aとアルプスアルパインの防水気圧センサはこの型です。インフィニオンのDPS368は静電容量式で、平均の消費電流は1.7µAです。

設備担当の疑問気圧センサと微小な圧力を測るセンサの違いは？

測定範囲が違います。DPS368は300〜1200hPa、HSPPAD143Cは300〜2000hPaで、大気圧の変化を測ります。MMR920C04Aは±3.92kPaのゲージ圧で、微小な圧力の差を測ります。

施設管理の疑問防水で使えるMEMSセンサーはある？

あります。アルプスアルパインのHSPPAD143Cは防水構造で水深も測れます。インフィニオンのDPS368はIPx8で、多摩川精機のTAG320N2000はIP67です。

設備担当の疑問フローセンサと風速センサの違いは？

フローセンサは配管を流れる量を測り、風速センサは流れの速さを測ります。MMS50Xは-250〜250L/min、SFM5500-10slmはフルスケール10slm、FS3000-1015は0〜15m/secです。

設備担当の疑問SPI・I2C・CANの出力はどう選ぶ？

基板の中でマイコンとつなぐならSPIかI2Cです。SCA3300-D01はSPI、MMS50XはI2C、DPS368は両方を使えます。機械の中で配線を引き回すなら、CANで出すTAG320N2000です。

工場長の疑問MEMSセンサーの使用温度範囲は？

型番で差があります。SCA3300-D01は-40〜125℃、SCH1633-D01は-40〜110℃、MMS50Xは-20〜80℃、FS3000-1015は0〜85℃です。アルプスアルパインのHSPPAD143Cは、公式の一覧に書いていません。

購買担当の疑問部品と完成品のMEMSセンサーの違いは？

基板に載せる部品と、継ぎ手やケースの付いた完成品があります。DPS368は2.0×2.5×1.1mmの部品で、SFM5500-10slmは105×38.5×90.5mmのマスフローメーターです。組み込む場所の広さで決めます。

TYPES

MEMSセンサーの検出する量の違い

慣性センサ（加速度・ジャイロ・IMU）

動きと傾きを測る型です。加速度だけを測る素子、角速度と加速度を1つで測る素子、ケースに入って機械に取り付けるIMUがあります。村田製作所の素子は静電容量式の3D-MEMSです。

向いている使い方

装置の傾きや振動を測る
車両の姿勢を測る
建設機械や農業機械の姿勢制御

根拠：加速度センサは、堅牢なシリコン容量型3D MEMSテクノロジーを基本にしています。（出典1）

この検出する量の3製品を表で見る

圧力センサ（圧力・気圧）

薄い膜のたわみで圧力を測る型です。ひずみを抵抗の変化で読むピエゾ抵抗式と、容量の変化で読む静電容量式があります。ゲージ圧を測る型と、絶対圧で気圧を測る型で測定範囲が変わります。

向いている使い方

呼気などの微小な圧力
防水機器の水深と気圧
電池で動くIoT機器の気圧

根拠：MEMSチップの薄膜（ダイヤフラム）上に、ピエゾ抵抗が配置されブリッジ回路が形成されています。（出典5）

この検出する量の3製品を表で見る

フローセンサ（流量・風速）

気体の流れを熱で測る型です。基板に載せる風速モジュールから、継ぎ手の付いたマスフローメーターまで、形の幅が広くなります。測る相手のガスと配管の形で選びます。

向いている使い方

配管を流れる空気の量
装置の中の風速の監視
分析装置のガス流量

根拠：流量センサーはMEMS技術を用いたセンサーです。サーマルフロー式により高精度計測が可能です。（出典6）

この検出する量の3製品を表で見る

MAKERS

MEMSセンサーの主なメーカー7社

アルプスアルパイン株式会社

防水構造のピエゾ抵抗式で、大気圧と水深を測れるMEMS気圧センサーです。

東京都

防水気圧センサ HSPPAD143C

インフィニオンテクノロジーズジャパン株式会社

静電容量式の素子を使い、水・ほこり・湿気に強い気圧センサです。

東京都

気圧センサ DPS368

センシリオン株式会社

複数のガスに校正済みのマスフローメーターです。

神奈川県

マスフローメータ SFM5500-10slm

多摩川精機株式会社

防水ケースに入り、CANで加速度・角速度・姿勢角を出すMEMS IMUです。

長野県

MEMS IMU TAG320N2000

ミネベアミツミ株式会社

感度を高めるMEMS構造で、±3.92kPaの微小な圧力をデジタルで読むセンサーです。

長野県

株式会社村田製作所

測定レンジを±1.5g・±3g・±6gから選べる、SPI出力の3軸加速度センサです。

京都府

ルネサスエレクトロニクス株式会社

MEMSサーモパイルで風速を測る表面実装のモジュールです。

東京都

風速センサ FS3000-1015

出典

掲載基準

車・産業機器・医療機器に組み込む、加速度・角速度・圧力・流量のMEMSセンサーを、公式の製品ページでMEMSと確かめられた現行の型番に限ります。MEMSマイク、6軸の力覚センサ、傾斜計の完成品、赤外線センサは別のページで扱います。海外品の販売店と、最終販売・生産中止の型番は載せません。除いた会社：ローム（確かめたKX132-1211・KX134-1211が最終販売）、住友精密工業（慣性センサ応用製品事業から撤退）、セイコーエプソン・北陸電気工業・フジクラ・ニデックコンポーネンツ（取れた公式ページにMEMSの記載を確かめられなかった）、TDK・STマイクロエレクトロニクス・アナログ・デバイセズ・オムロン（公式サイトが取得を拒み仕様を確かめられなかった）。

MEMSセンサーを作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

MEMSセンサーのメーカー7社比較【2026年】

MEMSセンサーとは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること