ナノインプリント装置とは？UV式・熱式・ステップ＆リピート・ローラー式の違いと選び方

ナノインプリント装置とは

ナノインプリント装置は、数10nm〜数100nmの凹凸を刻んだ型（モールド）を樹脂に押し当てて固め、形を基板やフィルムに写します。ナノインプリンター、インプリント装置とも呼びます。

比較ページには、自社で作る10社の15製品を載せました。価格はどの製品も公開されていません。

4つの種類

• UV一括式は、UVで樹脂を固めて基板全面を一度に写します。例はタツモのDYAD、芝浦機械のST50-UVです。
• 熱式（熱・UV兼用）は、樹脂を温めて型を押し当てます。例はSCIVAXのRubiQ RD-100、三井電気精機のTM-02です。
• ステップ＆リピート式は、型を送りながら繰り返し写します。例はEVG 770 NT、キヤノンのFPA-1200NZ2Cです。
• ローラー式は、ロールの型でフィルムに写します。例は三井電気精機のTMR-02、明昌機工のNM-0606Rです。

基板サイズの幅

• リソテックジャパンのLTNIP-500は、4〜6インチです
• SCIVAXのRubiQ RD-200は、直径200mmまでです
• EV GroupのEVG 7200は、75〜200mmです
• タツモのDYADとキヤノンのFPA-1200NZ2Cは、300mmまで使えます

温度と位置合わせ

• RubiQ RD-100は最高200℃、三井電気精機のTM-02は室温〜250℃です
• 芝浦機械のST50は、熱転写仕様で最大200℃です
• FPA-1200NZ2Cの重ね合わせ精度は、4nm以下です
• DYADの貼り合わせ精度は、オプションで±1μm以下です

選び方の順番

1. 固め方を決めます。樹脂がUVで固まるならUV式、熱可塑樹脂なら熱を使える機種です。
2. 写し方を決めます。全面を一度に写すか、型を送って繰り返すか、フィルムにロールで写すかです。
3. 基板サイズと、位置合わせの要否を決めます。
4. 研究か量産かを決めます。実験機で材料を試してから量産機へ進むと、無駄が減ります。

気をつけること

• 型の精度がそのまま製品の形に出ます
• 異物は欠陥になるので、クリーンな環境で使います
• 量産機は大きいので、搬入経路と置き場を先に確かめます
• 価格は公開されていないので、用途と基板サイズを伝えて見積もりを取ります