GUIDE / OZONE-GENERATOR

オゾン発生装置とは？業務用オゾナイザの方式・発生量・濃度と選び方

工場・水処理・材料試験で使うオゾン発生装置の仕組みと、無声放電・沿面放電・紫外線の違いを解説。発生量とガス濃度、原料ガス、冷却水、消費電力と電源容量、価格の確認範囲をメーカーの公式資料で整理しました。

2026年10月28日更新

この記事の答え

オゾン発生装置は、酸素や空気からオゾンガスをつくり、処理装置や試験装置へ送る機械です。先に必要なガス濃度・流量・原料ガスを決め、その条件での発生量を比べます。水に溶かす部分、排ガスの分解、冷却設備まで含めて発注範囲を決めます。

オゾン発生装置とは

オゾンは、水処理の脱色・脱臭や、製造工程の酸化反応に使う気体です。発生装置は原料ガスをオゾンに変える供給側の機械で、オゾナイザとも呼びます。住友精密工業は水処理・製造工程向けと、半導体製造向けの発生機を案内しています。

メーカー比較では、業務用のガス供給ユニットを型式ごとに比べています。家庭用脱臭器、室内へガスを拡散する完成脱臭器、洗浄水を直接吐出するオゾン水の完成設備は分けています。

水に溶かして使う場合、発生器だけでは処理設備は完成しません。住友精密工業の製品紹介では、エジェクタ・ポンプ・反応槽・気液分離槽・排オゾン分解器を組み合わせる構成を示しています。

無声放電・板型放電は、電極の間に原料ガスを通してオゾンに変えます。三菱電機のOS-5Pは水冷円筒型、住友精密工業は板型の放電方式です。高濃度ガスを使う水処理や製造工程に供給します
沿面放電は、セラミックスの表面に放電を起こします。ロキテクノのNZR-03MFPやワコーシステムコントロールのOR-20ZAは空冷式で、冷却水設備を使いません
紫外線式は、ランプの光を酸素に当ててオゾンをつくります。フナテックのPRシリーズは184.9nmの真空紫外線を使います。紫外線を水や製品へ直接照射する殺菌装置とは役割が異なります

発生量のg/hは、一定時間につくるオゾンの量です。ガス濃度のg/m³やppmは、ガスの中に含まれるオゾンの濃さです。原料や流量が変われば、発生量と濃度の組み合わせも変わります。

エコデザインのFOG-AC5Gは、酸素流量5L/min時に最大5g/hです。最大濃度70g/m³は酸素流量0.5L/min時で、同時の運転条件ではありません
三菱電機のOS-5Pは、PSA酸素原料で5.5g/h・250g/m³(N)と、10g/h・150g/m³(N)の条件を示しています。必要な濃度を保ったまま送れる量を選びます
住友精密工業の装置例SGRP-03JSは、350g/m³(N)・15L/minを示しています。流量は5L/minずつの複数ラインへ分ける構成です

ガスの濃度と、水に溶けたあとのオゾン水濃度も区別します。FOG-AC5Gの仕様書と住友精密工業の半導体向け仕様に、原料と流量の条件があります。

OZSDの公式ページでは、OZSD-0500の一般大気原料の発生量を、流量2L/min時に0.5g/hと記載しています。系列全体の仕様を、別の型式へそのまま転記しないよう注意します。

ゴム・樹脂・電子部品の劣化試験では、発生量の大きさだけでなく、試験条件に合わせた濃度制御を確かめます。

エコデザインのED-OG-L7TCは、流量1L/min時に空気原料で0.2〜50ppm、ボンベ酸素で1〜200ppmを調整します。供給ガスの温度を一定に保つヒーターを内蔵しています
ダイレックのOZS-KC-05は、酸素原料で1.0g/h以上の発生量を示し、ゴムや電子部品などの劣化試験向けに案内されています

消費電力Wと電源容量VA・kVAは、同じ項目として並べません。FOG-AC5Gの消費電力は150W、OS-5Pの電源容量は0.25kVAです
OR-20ZAは、製品ページの消費電力が320W、標準仕様書のAC100V型が350Wです。比較表には仕様書の値を載せていますが、注文前に適用する版と条件をメーカーへ確認します
購入価格は、今回確認した公式資料に記載がありません。本体だけでなく、酸素供給・冷却・濃度監視・排オゾン分解・配管まで含めて見積もりを取ります