口コミを書く

ガスフィルター >

設備・保全・購買の担当の方へ

配管用のガスフィルター(インライン)のメーカー3社比較【2026年】

配管用のガスフィルターは、
VCR継手やねじで、
ガス配管の途中につなぐフィルターです。

ABOUT

配管用のガスフィルターとは

配管用のガスフィルターとは、VCR継手やねじで、ガス配管の途中につなぐフィルターです。
MFC・バルブ・レギュレーターの手前に入れて、機器を守る使い方もします。

配管用は、エレメント交換式・使い捨て・オールメタルで分かれ、
ろ過精度・最高使用圧力・温度・接続・材質で比べて選びます。

特に、0.0015μm・耐熱460℃のオールメタルは日本精線、エレメント交換式と使い捨てをそろえるのはSMCです。
16.2MPaで高圧ガス大臣認定品にもできるのはフジキンです。

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。日本国内の最高使用圧力は日本精線のカタログの注記による。

LIST

配管用のガスフィルターの比較表

配管用のガスフィルターの価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
配管用のガスフィルター(インライン)4製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
SMC株式会社クリーンガスフィルタ SFA100製品の詳細を見るメーカー公式サイトsmcworld.com

エレメントだけを替えられる、カートリッジ式のクリーンガスフィルタです。

ハウジングを残してエレメントだけを替えるカートリッジ式のクリーンガスフィルタです。ろ過精度は0.01μmで、使用圧力は0.99MPaまでです。真空のラインにも使えます。

0.99MPaまでのガスラインや真空のラインで、エレメントを替えながら使う。

要見積
SMC株式会社クリーンガスフィルタ SFC100製品の詳細を見るメーカー公式サイトsmcworld.com

ろ材を多段に重ねた、丸ごと替える使い捨てのクリーンガスフィルタです。

ろ材を何段も重ねた多段ディスク形で、丸ごと替える使い捨てのクリーンガスフィルタです。ろ過精度は0.01μmで、捕集効率は99.99%です。使用圧力は0.99MPaまでで、真空のラインにも使えます。

半導体プロセスのガスラインに入れ、丸ごと替えて使う。

要見積
日本精線株式会社プロセスガス用フィルター N-30TF製品の詳細を見るメーカー公式サイトn-seisen.co.jp

ドライダウン・ガス置換に強い

ろ材を自社のステンレス鋼短繊維から作る、オールメタルのガスフィルターです。ろ過精度は0.0015μmで、耐熱は460℃あります。仕様の最高使用圧力は7.1MPaですが、日本国内で使うときは1MPa未満です。

100SLM以下のプロセスガスの配管で、0.0015μmまでの微粒子を取る。

要見積
株式会社フジキンフィルター FUFL-115A製品の詳細を見るメーカー公式サイトfujikin.co.jp

接ガス部完全禁油、高圧ガス大臣認定品対応可

最高使用圧力が16.2MPaあり、高い圧力のガス配管に入れられるステンレスのフィルターです。接ガス部は完全禁油で、高圧ガス大臣認定品にもできます。ろ過精度は公式ページに書かれていないので、問い合わせて確かめます。

最高使用圧力16.2MPaまでの、高い圧力のガス配管にねじで入れる。

要見積
FEATURES

配管用のガスフィルターの使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    プロセスガスの配管の途中、MFCやバルブの手前で機器を守る所、高い圧力のガス配管。

  • 何のために使うか

    VCR継手やねじで配管の途中につなげ、エレメント交換式と使い捨ての型から選べるためです。

特徴

  • どんなものか

    VCR継手やねじで、ガス配管の途中につなぐ型です。

  • 強み

    機器を微粒子から守れます。MFC・バルブ・レギュレーターの手前に入れる、機器保護用の型もあります。

メリット

  • 使うメリット

    フジキンのFUFL-115Aは、最高使用圧力16.2MPaで高圧ガス大臣認定品にもできます。

  • ガスパネル用に比べたメリット

    ガスパネル用は集積型ガスパネルのブロックに載せますが、配管用は継手やねじで、今ある配管の途中に入れられます。

ガスフィルターを使う根本の理由は、プロセスガスや高圧ガスの中の微粒子を取り、装置や製品に入れずに、MFCやバルブなどの機器を守ることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. 国内の最高使用圧力を見る

    日本国内で使うときの最高使用圧力が、仕様の値より低い型があります。

    よくある失敗仕様表の7.1MPaのまま、国内の高圧ガスの配管に入れる。

  2. ろ材をガスに合わせる

    ろ材はガスの種類に合わせます。腐食性のガスは材質を確かめます。

    よくある失敗腐食性のガスに、材質を確かめずにフィルターを入れる。

  3. 替える時期を決める

    使い捨ての型は丸ごと替えます。替える時期を決めておきます。

    よくある失敗替える時期を決めずに、詰まるまで使い続ける。

  4. 流量で大きさを選ぶ

    流量に合う大きさを、流量特性の線図で選びます。

    よくある失敗流す量を見ずに、配管の太さだけで大きさを決める。

Q&A

配管用のガスフィルター選びで、よくある疑問

購買担当の疑問配管用ガスフィルターの値段は?

このページの4製品は、どれも価格を公開していません。型式・接続・数量を伝えて見積もりを取ります。フジキンは、製品ページから問い合わせができます。使い捨ての型は替えるたびに費用がかかるので、替える時期と1年に要る本数も合わせて伝えて、見積もりを比べます。迷うときは、メーカーに聞きます。

工場長の疑問ろ過精度はどこまで細かい?

日本精線のN-30TFは0.0015μmです。SMCのSFA100とSFC100は0.01μmで、捕集効率は99.99%です。フジキンのFUFL-115Aは、ろ過精度が公式ページに書かれていないので、問い合わせて確かめます。どこまで細かい微粒子を取るかは、プロセスの決まりに合わせて決めます。

工場長の疑問最高使用圧力は?

フジキンのFUFL-115Aは16.2MPaです。SMCのSFA100・SFC100は0.99MPaまでで、真空のラインにも使えます。日本精線のN-30TFは仕様では7.1MPaですが、日本国内で使うときは1MPa未満です。高い圧力の配管なら、国内で使える圧力で比べて選びます。迷えば聞きます。

総務の疑問高圧ガス大臣認定品にできる?

フジキンのFUFL-115Aは、高圧ガス大臣認定品にもできます。最高使用圧力は16.2MPaで、接ガス部は完全禁油です。材質はステンレス鋼(SUS316)⁠で⁠す⁠。高圧ガスの配管に入れるなら、認定品にするかを先に決めて、型式と一緒に伝えて頼みます。迷うときは、流すガスを伝えて聞きます。

設備担当の疑問エレメント交換式と使い捨ての違いは?

SMCのSFA100は、ハウジングを残してエレメントだけを替えるカートリッジ式です。SFC100は、ろ材を多段に重ねた形で、丸ごと替える使い捨てです。替える手間を減らしたい半導体プロセスなら使い捨て、ハウジングを残して替えたいならカートリッジ式を選びます。迷うときは、メーカーに聞きます。

工場長の疑問接続はVCR?⁠ねじ?

日本精線のN-30TFは1/4インチのVCR継手で、同じ形で3/8インチと1/2インチの型もあります。フジキンのFUFL-115AはRc1/8のねじ込み式で、Rc1/2まであります。SMCの接続は公式ページに書かれていないので、カタログで確かめます。迷えば聞きます。

工場長の疑問耐熱温度は?

日本精線のN-30TFは耐熱460℃です。フジキンのFUFL-115Aは-10〜100℃で使います。SMCの温度は、公式ページに書かれていません。配管をベーキングするなら、その温度でフィルターが使えるかを、型式を伝えてメーカーに確かめてから選びます。迷うときは、メーカーに聞きます。

工場長の疑問流量はどれくらい?

日本精線のプロセスガス用は、100SLM以下の流量に向きます。大流量のバルクガス用は、3000Nm3/hrまで流せます。流す量に合わせて、カタログの流量特性の線図で大きさを選びます。SMCとフジキンも、型式ごとの線図をカタログで確かめます。迷うときは、流すガスと流量を伝えて、メーカーに聞きます。

総務の疑問ガスの入れ替えが早いフィルターは?

日本精線のNASclean は、超微細空孔のダブルレイヤーメタルメンブレン構造で、ドライダウン特性とガス置換特性に優れています。ガスの種類を切り替えることが多い配管なら、置換の早さも比べます。ろ材はステンレス鋼短繊維(SUS316L)を焼結したものです。迷うときは、メーカーに聞きます。

経営者の疑問配管用ガスフィルターのメーカーは?

このページには、日本精線・SMC・フジキンの3社を載せています。0.0015μmのオールメタルなら日本精線、エレメント交換式か使い捨てを選びたいならSMC、16.2MPaまでの高い圧力の配管ならフジキンから選びます。迷うときは、流すガス・流量・圧力・配管の継手を伝えて、メーカーに聞きます。

MAKERS

配管用のガスフィルターの主なメーカー3社

SMC株式会社

特徴
1959年設立。 自動制御機器製品の製造加工・販売と、焼結濾過体・各種濾過装置の製造・販売を行う。
強み
  • 約80の国と地域に約500の営業拠点
  • 国内6地区の工場で作る

東京都

日本精線株式会社

特徴
1951年設立で、大阪市に本社があり、ステンレス鋼線と金属繊維・金属フィルターを作っています。
強み
  • 年間売上高415億円
  • ISO9001を1998年に登録

大阪府

株式会社フジキン

特徴
1930年創業・1954年設立のバルブ・継手・流量制御機器メーカー。 本社は東京都千代田区と大阪市北区、本店は大阪市西区。
強み
  • 連結売上2,212億円
  • グループ6,742名

東京都

出典
  1. 日本精線 半導体ガスフィルター
  2. 日本精線 プロセスガスライン用小流量フィルター(PDF)
  3. 日本精線 サーフェイスマウント用フィルター(PDF)
  4. SMC クリーンガスフィルタ SF
  5. フジキン フィルター FUFLシリーズ
  6. フジキン フィルター FUFL-115A
掲載基準

半導体・電子部品の製造や研究の現場で、プロセスガス・特殊ガス・高圧ガスの配管の途中に継手やねじでつなぐガスフィルターで、自社で作るか自社の製品として日本法人が売っていることが公式サイトで確かめられ、型式と仕様が公式資料の文字で確かめられるものを載せました。ガスパネル用は、親の比較で扱います。

配管用のガスフィルター(インライン)を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

比較記事にしてほしい
製品や会社の掲載はこちら👉