半導体工場向けOHT（FOUP搬送）のメーカー2社比較【2026年】

このページの2製品は、どちらも値段を公式に出していないため、見積もりを取る必要があります。値段は、レールの長さ、ビークルの台数、保管設備の数、制御のシステムで大きく変わります。工場の広さ、つなぐ装置の数、1時間に運ぶFOUPの数を伝えると、見積もりが早く返ってきます。工場の図面があると、話が早く進みます。

Overhead Hoist Transportの略で、天井の軌道を走り、ホイストで上下して荷を受け渡す自動搬送装置です。村田機械は、300mm半導体工場以降の主力搬送システムと説明しています。ベルト駆動のホイストで、保管設備や製造装置のロードポートへFOUPを届けます。大きな工場ならダイフクのクリーンウェイも見ます。

ダイフクのクリーンウェイの機種CLW-08v2は300m/分です。これは2014年にエコプロダクツの認定を受けた機種の値で、今の主力機種の値は公式に書かれていません。村田機械のSRC-350Xも、走行速度を公式ページに書いていません。工場のレイアウトを伝えて、1時間に運べる数で比べてください。

ダイフクのクリーンウェイは、給電とコントローラー、サーバーを二重にし、片方が止まっても動かし続けます。ダイフクは、24時間365日のウエハ工程間搬送を止めないためのシステムとしています。止まったときの切り替えの時間と、保守の段取りを、入れる前に確かめてください。予備の台数も聞いておきます。

村田機械のSRC-350Xは、軌道沿いのサイドバッファを使えば、ストッカーなしで回せます。ダイフクのクリーンウェイは、保管設備や製造装置へFOUPを受け渡すシステムです。工場の装置の並びと、置いておくFOUPの数を伝えて、バッファと保管設備の数を相談してください。工場の図面があると、話が早く進みます。

ダイフクのクリーンウェイは、レール総延長200km、ビークル1万台を超える規模の工場にも使われています。ダイフクは1984年にクリーンウェイを開発しました。工場の棟の間まで運ぶなら、軌道の長さと棟の間のつなぎ方を伝えて、今の工場の広さで足りるかを相談してください。工場の図面も用意しておきます。

使えます。村田機械はパネルレベルパッケージ搬送台車SRC600を案内し、300mmFOUP用と同じ軌道を走れます。ダイフクは600mm角基板のPLP用FOUPの搬送技術を確立したと公表しています。今のOHTの軌道を生かしてPLPを運びたいなら、両社に相談してください。基板の大きさも伝えます。

ダイフクのクリーンウェイは非接触給電（HID）で、摩耗の粉塵を抑えます。村田機械のSRC-350Xは、給電のしかたを公式ページに書いていません。クリーンルームのクラスを伝えて、給電のしかたと発塵の値を確かめてから、どちらかを選んでください。給電のしかたで、レールに付ける設備も変わるので、工場の図面を見せて相談します。

村田機械は、MCSが工場内の搬送を各搬送装置へ指示します。ダイフクのクリーンウェイは、コントローラーとサーバーを各2台で並列処理し、レールの合流も無線でやりとりします。工場の上位のシステムとのつなぎ方を、入れる前に確かめてください。上位のシステムの名前と、通信の方法を伝えておくと、話が早く進みます。止まったときの切り替えも聞きます。

このページには、ダイフクと村田機械の2社を載せています。大きな工場で止めない搬送を組むならダイフクのクリーンウェイ、ストッカーなしの運用やPLPも見るなら村田機械のOHTから見ます。ケースや部品を工程の間で運ぶなら、工場向け天井搬送システムのページを見てください。どちらの社も値段は出していないので、見積もりで比べます。