GATE-VALVE / MZ-15810

角型ゲートバルブ株式会社ブイテックス

Name: 角型ゲートバルブ
Brand: 株式会社ブイテックス

ブイテックスの角型ゲートバルブ（200・300mmウエハー〜G10.5ガラス基板⁠）⁠。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：半導体・液晶・有機ELの真空装置

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

ドアバルブ・同圧バルブ・逆圧バルブの3種類があり、駆動はロールカム・ツインロールカム・True-L Motion・T-Motion・R2Rから選ぶ。小ロットからカスタマイズで作る。2026年6月1日に株式会社キッツの完全子会社になった。

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出典（2026年10月14日確認）