GATE-VALVE / MZ-15808

マリーナ（丸型ゲートバルブ）入江工研株式会社

Name: マリーナ（丸型ゲートバルブ）
Brand: 入江工研株式会社

入江工研の丸型ゲートバルブマリーナ（口径250・320・400）。

2026年10月14日確認

仕様

向いている所：半導体装置の排気口の開け閉め

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

排気バルブとして使う丸型。500A（開発品）⁠に⁠も対応できる。本体の漏れ量は1×10-10Pa・m3/s（公式の標準仕様）。

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出典（2026年10月14日確認）