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真空ゲートバルブのメーカー3社比較【2026年】

真空ゲートバルブは、真空チャンバーの出入り口や排気口を仕切り、
真空を保ったまま中と外を分けるバルブです。

ABOUT

真空ゲートバルブとは

業界金属・機械加工使用用途空圧・油圧・ポンプ

真空ゲートバルブとは、真空チャンバーの出入り口や排気口を仕切るゲートバルブです。
圧縮空気で弁板を動かし、Oリングなどで漏れを抑えます。丸い口と、ウエハーやガラス基板を通す角型の口があります。

真空ゲートバルブは、
口径と口の形・本体の材質・使える温度・開け閉めの寿命・操作の方法で比べて選びます。

特に、開け閉めの寿命を100万回と書いているのは、丸型の入江工研と角型のブイテックス、
最高250℃まで耐える超高真空用はVATです。

※構造と使い方は株式会社キッツ・株式会社大和バルブの製品紹介による。仕様・価格は各メーカーの公式ページと価格表の記載。

LIST

真空ゲートバルブの比較表

真空ゲートバルブの価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
真空ゲートバルブ3製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
入江工研株式会社マリーナ（丸型ゲートバルブ）製品の詳細を見るメーカー公式サイトikc.co.jp

圧縮空気で弁板を動かす、丸い口の真空ゲートバルブです。

丸い口の真空ゲートバルブで、口径250・320・400の型式があります。弁箱はAC4C‑T6で、本体は120℃まで使え、開け閉めの寿命は100万回です。弁を動かす圧縮空気は0.45〜0.60MPaです。

半導体などの製造装置の、真空チャンバーの排気口

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VAT Japan Ltd.SERIES 10.8 UHVゲートバルブ製品の詳細を見るメーカー公式サイトvatvalve.com

ステンレスの本体で、ゲートのシール部のこすれをなくした超高真空用のゲートバルブです。

ゲートのシール部のこすれをなくした超高真空用のゲートバルブで、DN63〜320の標準品があります。潤滑剤を使わず、最高250℃まで耐えます。閉じた位置で機械的にロックするVATLOCKを備えています。

研究・産業の超高真空装置

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株式会社ブイテックス角型ゲートバルブ製品の詳細を見るメーカー公式サイトvtex.co.jp

本体と弁体をアルミニウムで作った、角型の口の真空ゲートバルブです。

半導体の200・300mmウエハーから大きなG10.5のガラス基板まで、口の大きさに合わせて作る角型のゲートバルブです。真空になる内部に、金属どうしのこすれる所がありません。開け閉めの寿命は100万回で、本体と弁体は90℃まで使えます。

ウエハーやガラス基板を出し入れする、真空チャンバーのワーク出入口

要見積

出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/kikaiyoso/gate-valve-vacuum/／各社の公式資料（2026年11月13日確認）

FEATURES

真空ゲートバルブの使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    半導体・液晶の製造装置、ロードロック室の出し入れ口、研究用の超高真空装置。

  • 何のために使うか

    真空チャンバーの出入り口や排気口を仕切り、真空を保ったまま中と外を分けるためです。

特徴

  • どんなものか

    真空チャンバーの出入り口や排気口を仕切るゲートバルブで、圧縮空気で弁板を動かし、Oリングなどで漏れを抑えます。丸い口と、ウエハーやガラス基板を通す角型の口があります。

  • 強み

    入江工研のマリーナとブイテックスの角型ゲートバルブは、開け閉めの寿命が100万回です。VATのSERIES 10.8は潤滑剤を使わず、最高250℃まで耐えます。

メリット

  • 使うメリット

    ブイテックスの角型ゲートバルブは、真空になる内部に金属どうしのこすれる所が無く、ごみを出しにくい形です。VATのSERIES 10.8は、閉じた位置で機械的にロックするVATLOCKを備えます。

  • 配管用のゲートバルブに比べたメリット

    配管用のゲートバルブはハンドルで開け閉めしますが、真空ゲートバルブは圧縮空気で弁板を動かし、装置の動きに合わせて自動で開け閉めできます。開け閉めの寿命も100万回（入江工研・ブイテックス）と書かれています。

ゲートバルブを付ける根本の理由は、配管の流れを全開か全閉ではっきり止め、修理や工事の区間を仕切ることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. 使える温度の上限を見る

    入江工研のマリーナは本体120℃、ブイテックスの角型ゲートバルブは本体・弁体90℃、VATのSERIES 10.8は最高250℃⁠です。

    よくある失敗ベーキングの温度を確かめずに、真空ゲートバルブを選ぶ。

  2. 圧縮空気の圧力を合わせる

    入江工研のマリーナは0.45〜0.60MPa、ブイテックスの角型ゲートバルブは0.45〜0.55MPaの圧縮空気で動きます。

    よくある失敗工場の圧縮空気の圧力を確かめずに付け、弁が動かない。

  3. 口の形と大きさを、装置に合わせる

    入江工研のマリーナは口径250・320・400の丸型、ブイテックスは200・300mmウエハーからG10.5のガラス基板まで口に合わせて作る角型、VATはDN63〜320です。

    よくある失敗基板の出し入れ口に、丸い口の型を選ぶ。

  4. シールの材質を、使い方で選ぶ

    入江工研とブイテックスはFKMのOリング、VATのSERIES 10.8はOリングか加硫シール（DN200まで）⁠で⁠す⁠。

    よくある失敗温度や使うガスを伝えずに、シールの材質を決める。

Q&A

真空ゲートバルブ選びで、よくある疑問

購買担当の疑問真空ゲートバルブはいくら？

このページの3製品は、どれも値段を公式に出していません。口径と口の形・使える温度・操作の方法・数を伝えて見積もりを取ります。ブイテックスの角型ゲートバルブは口の大きさに合わせて作るので、装置の図面も一緒に渡します。

設備担当の疑問真空ゲートバルブは、どう選ぶ？

研究用の超高真空なら、VATのSERIES 10.8がDN63〜320で、最高250℃まで耐えます。製造装置の排気口には入江工研の丸型のマリーナ（口径250・320・400）、ウエハーやガラス基板の出し入れ口にはブイテックスの角型ゲートバルブがあります。

工場長の疑問開け閉めの寿命は？

入江工研のマリーナとブイテックスの角型ゲートバルブは、開け閉めの寿命を100万回としています。VATのSERIES 10.8は、公式ページの文字で寿命を確かめられませんでした。開け閉めの多い装置なら、寿命と交換の部品の値段も見積もりで比べます。

総務の疑問ベーキングする装置に使える？

VATのSERIES 10.8は潤滑剤を使わず、最高250℃まで耐えるので、超高真空の装置に向きます。入江工研のマリーナは本体120℃、ブイテックスの角型ゲートバルブは本体・弁体90℃までなので、ベーキングの温度から選びます。

施設管理の疑問ごみを出しにくい真空ゲートバルブは？

ブイテックスの角型ゲートバルブは、真空になる内部に金属どうしのこすれる所がありません。VATのSERIES 10.8も、ゲートのシール部のこすれをなくしています。ウエハーや基板にごみを付けたくない装置なら、こすれの無い構造を選びます。

経営者の疑問角型と丸型の違いは？

角型はウエハーやガラス基板を出し入れする口に、丸型は排気口などに使います。ブイテックスの角型ゲートバルブは200・300mmウエハーからG10.5のガラス基板まで口に合わせて作り、入江工研のマリーナは口径250・320・400の丸型です。

購買担当の疑問手で開け閉めできる型はある？

VATのSERIES 10.8は、圧空（3ポジション・複動）のほか、手動（クランクハンドル）もあります。入江工研とブイテックスの型は圧縮空気で動きます。研究用で開け閉めが少ないなら、手動の型も比べます。

設備担当の疑問閉じたまま、弁が勝手に開かない？

VATのSERIES 10.8は、閉じた位置で機械的にロックするVATLOCKを備えています。圧縮空気が止まったときの弁の動きは型で違うので、停電や空気が止まったときの動きもメーカーに確かめます。

総務の疑問本体の材質は？

入江工研のマリーナは弁箱AC4C‑T6・弁板アルミニウム、ブイテックスの角型ゲートバルブは本体・弁体ともアルミニウム、VATのSERIES 10.8はステンレス鋼です。使うガスと温度を伝えて、合う材質を選びます。

工場長の疑問フランジの規格は？

VATのSERIES 10.8は、ISO‑F・CF‑F・ASA‑LP・JISのフランジから選べます。入江工研とブイテックスは、公式ページの文字でフランジの規格を確かめられなかったので、装置のフランジの図面を渡して確かめます。

MAKERS

真空ゲートバルブの主なメーカー3社

入江工研株式会社

特徴
1966年設立、東京都千代田区に本社を置き、金属ベローズ・真空バルブ・真空機器を作る。
強み
  • 精密ベローズの加工・溶接
  • 韓国・中国に拠点

東京都

VAT Japan Ltd.

特徴
スイスに本社を置く真空バルブのVATグループの日本拠点で、東京都大田区で販売とサービスを受け持つ。

東京都

株式会社ブイテックス

特徴
東京都品川区に本社を置き、真空バルブとラプチャーディスクを作る。 2026年6月1日に株式会社キッツの完全子会社になった。
強み
  • 半導体向けの真空バルブ
  • 従業員314名

東京都

出典
  1. 株式会社キッツ ゲートバルブ
  2. 株式会社キッツ 鋳鉄バルブ
  3. 株式会社キッツ 青銅・黄銅バルブ
  4. 株式会社大和バルブ 仕切弁（ゲートバルブ）
  5. 株式会社栗本鐵工所 ソフトシール仕切弁
  6. 株式会社大和バルブ 玉形弁（ストップ、グローブバルブ）
  7. スペロセイキ株式会社 ナイフゲートバルブ
  8. 株式会社大和バルブ ボールバルブ
  9. 株式会社大和バルブ 標準価格表2026
  10. 株式会社ブイテックス 角型ゲートバルブ
  11. 株式会社クボタ パイプシステム価格表2026
  12. VAT UHVゲートバルブ SERIES 10.8
掲載基準

真空チャンバーの出入り口や排気口を仕切る真空ゲートバルブ。メーカーが自社か自社グループで作り、公式サイトで今案内している製品で、日本法人のある会社に限ります。1社1製品（代表の型式かシリーズ）を載せています。中古品、交換部品だけの品、代理店が売る他社製品は除いています。金属のゲートバルブ、水道用ソフトシール仕切弁、ナイフゲートバルブは、それぞれの種類のページに分けています。

真空ゲートバルブを作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

CITE

引用

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