O-RING / MZ-2666

アルティックアーマー UA4640株式会社バルカー

Name: アルティックアーマー UA4640
Brand: 株式会社バルカー

半導体装置のプラズマ環境向けに作った、バルカーARMORシリーズのOリング。

2026年10月12日確認

仕様

向いている所：エッチング・CVD装置のゲートの真空シール

材質と使う所: 半導体・薬品（FFKMほか）
材質: 高機能ふっ素ゴム（FKM系、ARMORシリーズ）
硬さ: A70
使用温度: -5〜200℃
サイズの規格: JIS B 2401、AS568
使える流体: 液体、気体、真空（粉体・ダストは不可）
規格・認証: —公式資料で確認できず
価格: —公式資料で確認できず
色: 濃琥珀透明
主な用途: 半導体・液晶のドライエッチング・アッシング装置、CVD装置

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

依頼ではARMORをFFKMとしていたが、バルカーのFAQは「FKMであればULTIC ARMOR、FFKMであればT20」「ARMORシリーズは…パーフロロエラストマーでは過剰スペックとなる用途に適応可能」とし、ゴム材料一覧でもARMORはフロロエラストマーの欄にある。FFKMはFLUORITZ（⁠フロリッツ）シリーズだが、Oリングの製品ページが見つからなかった。方式はFFKMではないので special に入れるかは組み立て役の判断に任せる。価格は見つからなかった。公式の表記：アルティックアーマー Oリング UA4640

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出典（⁠2026年10月12日確認）

株式会社バルカー公式