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O-RING / MZ-2668

サンエラスト®K三菱電線工業株式会社

三菱電線工業のふっ素ゴムで最も熱に強い、真空向けのシール材料。

2026年10月12日確認

仕様

向いている所:高温の真空装置で長く使うシール

材質と使う所
半導体・薬品(FFKMほか)
材質
ふっ素ゴム(FKM)
硬さ
A77
使用温度
耐熱220℃
サイズの規格
—公式資料で確認できず
使える流体
高温での真空シール
規格・認証
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
色
—公式資料で確認できず
主な用途
半導体製造装置などの高温プロセスのシール

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

半導体領域のページ(⁠ソリューション)⁠で材料として案内。Oリングでの試験(He漏れ量・固着力はJIS B 2401 V15 Oリング使用⁠)⁠。「標準品について⁠」⁠のページはサンエラストⅠを標準品に挙げるが、カタログPDFは画像で文字が取れない。工業用Oリング規格品のカタログPDF(10_oring_industrial_bur.pdf⁠)⁠も画像で、NBR・4種DのOリングの値は取れなかった。カルレッツは米国デュポン社関連会社の商標の他社製品なのでこの社では載せない。価格は見つからなかった(⁠モノタロウで三菱電線のOリングは扱いが見つからない⁠)⁠。 公式の表記:耐熱性ふっ素ゴム サンエラスト®K

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出典(⁠2026年10月12日確認)

  1. 三菱電線工業株式会社 公式
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