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O-RING / MZ-2667

サンエラストⅠ®三菱電線工業株式会社

汎用ふっ素ゴムでは持たない薬液に使える、三菱電線工業の耐薬品ふっ素ゴム。

2026年10月12日確認

仕様

向いている所:アミン・アルカリの薬液ラインのシール

材質と使う所
半導体・薬品(FFKMほか)
材質
高機能ふっ素ゴム(FKM)
硬さ
73
使用温度
—公式資料で確認できず
サイズの規格
—公式資料で確認できず
使える流体
熱水蒸気、無機酸、アルカリ溶液
規格・認証
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
色
—公式資料で確認できず
主な用途
ウエットエッチング、洗浄工程、レジスト塗布工程

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

「標準品について⁠」⁠のページで標準品(カタログ品)として「⁠サンエラスト®I 耐薬品性フッ素ゴムシール」⁠を挙げる。カタログPDFは画像で文字が取れない。使用温度は公開ページに無い。 公式の表記:耐薬品高機能ふっ素ゴム サンエラストⅠ®

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出典(⁠2026年10月12日確認)

  1. 三菱電線工業株式会社 公式
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