CHILLER / MZ-8511

ワイドレンジチラー RCU-20WL株式会社レクザム

Name: ワイドレンジチラー RCU-20WL
Brand: 株式会社レクザム

レクザムの水冷式ワイドレンジチラーで、-50〜+150℃・2kW・30L/min。

2026年10月11日確認

仕様

向いている所：-50℃から150℃まで1台で使う装置

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

加熱能力2KW。システムは二元冷凍サイクル。SEMI S2準拠。用途例はウエハ製造装置・液晶製造装置・PV装置（レーザー加工機等⁠）⁠の熱源機器、医療装置。

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出典（⁠2026年10月11日確認）