CHILLER / MZ-8506

高精度チラーユニット RCU-20XC株式会社レクザム

Name: 高精度チラーユニット RCU-20XC
Brand: 株式会社レクザム

レクザムの空冷式・単相200Vの高精度チラーで、2kW・5〜35℃・±0.1℃。

2026年10月11日確認

仕様

向いている所：露光機や液晶装置の熱源の精密温調

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

使用周辺温度5〜40℃、消費電力1200W、INV制御。適用規格RoHs、CE。用途例はウエハ製造装置・液晶製造装置・基板露光機の熱源機器、医療装置。

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出典（⁠2026年10月11日確認）