水冷チラー SCS-105Wシリーズステップサイエンス株式会社

仕様

向いている所：半導体製造装置の精密な水温管理

方式

水冷式チラー

冷却能力

5.0kW

温度範囲

5〜60℃

温度精度

±0.1℃

冷媒

—公式資料で確認できず

電源

—公式資料で確認できず

寸法

幅270×奥行910×高さ1414mm

ポンプ

—公式資料で確認できず

タンク

—公式資料で確認できず

循環液

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

公式の分類は「水冷チラー（常温）10℃～30℃⁠」⁠の中の機種。公式説明は「最適な省エネ運転と高精度制御を実現した半導体プロセス専用チラー」「⁠ノンフロン・低GWP冷媒にも対応⁠」⁠。冷媒の型式は記載なし。

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