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半導体製造・ランプ・研究装置で使うキセノンガスを選ぶ、製造・研究・購買の担当の方へ

キセノンのメーカー6社比較【2026年】

キセノンは、ランプやレーザーに封入し、
半導体の製造にも使う希ガスです。

ABOUT

キセノンとは

比較表を見る ↓

キセノンとは、半導体の製造、映写用・ストロボ用のランプ、エキシマレーザーや標準ガスに使う希ガスです。
空気の中にわずか0.09ppmしかなく、大きな空気分離プラントで酸素を作るときに一緒に取り出します。
純度の違う単成分と、ほかのガスと混ぜた混合ガスがあります。
キセノンガスとも呼び、元素記号はXeです。

製品の特長

  • 空気よりずっと重い不活性ガス比重は空気の4.56倍
  • 強い青白い光を出す映写用・ストロボ用・ヘッドライトのランプ
  • 純度と不純物で等級を選ぶ99.99%から99.999%まで

使うメリット

  • ランプを長持ちさせる封入すると熱が逃げにくくなる
  • 半導体の露光の光源になるエキシマレーザーガスの成分
  • 燃えず、ほかの物とほとんど反応しない不活性な雰囲気ガスに使える

選ぶときに注意すること

  1. 純度の総値だけでなく、クリプトン・窒素・水分の上限を見る
  2. 容器のLと、詰めたガスの量のLを取り違えない
  3. 空気より重く、低い所にたまる換気と酸素濃度に気をつける
  4. 混合ガスは、装置が指定する組成と割合で頼む
  5. 容器は直射日光を避け、40℃以下に置く

※仕様は各メーカーの公式の製品ページ・資料によります。用途と作り方は東京ガスケミカルとエア・ウォーターの資料、安全の注意はエア・ウォーターのSDSによります。

LIST

キセノンの比較表

コストは、値段を公開している製品どうしで比べています。値段を出していない製品は「要見積」。

CSV

キセノン9製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)

3製品
東京ガスケミカル株式会社高純度キセノン ≧99.999%不純物の上限を細かく決めた国内製造口コミを書く要見積

純度≧99.999%に加え、クリプトン・アルゴン・炭化水素まで不純物の上限を決めています。窒素とクリプトンは2.0ppm未満、アルゴンは1.0ppm未満、露点は-76℃未満です。原料はLindeから仕入れ、横浜製造センターで製造します。

ガスの区分
高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)
ガス組成
Xe
純度
≧99.999%
不純物
O₂<0.5ppm、N₂<2.0ppm、H₂<1.0ppm、Ar<1.0ppm、Kr<2.0ppm、THC<0.2ppm、CO₂<0.5ppm、CO<0.3ppm、露点<-76℃
用途
映写用・ストロボ用の電灯、車のヘッドライトの封入ガスなど
記載なし
容器容量・充填量・容器弁
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
日本酸素株式会社高純度キセノン 99.999vol.%47L・10L・3.4Lから選ぶ高純度品口コミを書く要見積

純度>99.999vol.%の高純度キセノンを、47L・10L・3.4Lの3つの容器から選べます。少しだけ使う研究なら3.4Lの容器で受けられます。不純物の上限はカタログで確かめます。

ガスの区分
高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)
ガス組成
Xe
純度
>99.999vol.%
容器容量
47L、10L、3.4L
記載なし
不純物・充填量・容器弁・⁠⁠⁠用途
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
日本エア・リキード合同会社高純度キセノン N50クリプトンの混じりを3ppm未満に口コミを書く要見積

純度99.999%で、クリプトンの混じりを3ppm未満まで下げた等級です。N45にない一酸化炭素の上限0.1ppmも決めています。水分と酸素は1ppm未満です。

ガスの区分
高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)
ガス組成
Xe
純度
99.999%
不純物
H₂O<1ppm、O₂<1ppm、N₂<3ppm、CnHm<1ppm、CO<0.1ppm、CO₂<0.5ppm、Kr<3ppm
記載なし
容器容量・充填量・容器弁・⁠⁠⁠用途
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

一般グレード(99.99〜99.995%)

4製品
エア・ウォーター株式会社キセノン 産業用ガス国内で精製したキセノン口コミを書く要見積

エア・ウォーターは、キセノンとクリプトンを国内で生産しています。液化酸素の中にたまったキセノンを、精製・精留して取り出します。SDSの成分濃度は99.99%以上です。

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
99.99%⁠⁠⁠以上
用途
ランプ製造、不活性雰囲気ガス
記載なし
不純物・容器容量・充填量・容器弁
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様カタログ(PDF)
住友精化株式会社高純度キセノン PURE25Lからの少量を小さな容器で受ける口コミを書く要見積

3.4Lと10Lの小さな容器に、25Lと100Lを詰めて届けます。純度は>99.995%で、クリプトンは35ppm未満、水分と酸素は1ppm未満です。圧力調整器はYBRを合わせます。

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
>99.995%
不純物
O₂<1ppm、N₂<5ppm、CO₂<0.5ppm、Kr<35ppm、H₂O<1ppm
容器容量
3.4L、10L
充填量
25L、100L
容器弁
B・W22・14・OR
記載なし
用途
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
高千穂化学工業株式会社キセノン R研究用のRグレードで受ける口コミを書く要見積

キセノンは研究用のRグレード1つで、純度は99.99%です。容器バルブは22mmの右ねじで、圧力調整器はTUSシリーズを使います。容器の大きさは問い合わせて決めます。

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
99.99%
容器弁
22mm、右ねじ、材質B
記載なし
不純物・容器容量・充填量・⁠⁠⁠用途
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
日本エア・リキード合同会社キセノン N45N50と並べて等級を選ぶ口コミを書く要見積

同じ会社のN50と並べて、純度99.995%の一つ下の等級を選べます。窒素は10ppm未満、クリプトンは35ppm未満、炭化水素は2ppm未満です。容器と量は見積もりで決めます。

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
99.995%
不純物
H₂O<3ppm、O₂<3ppm、N₂<10ppm、CnHm<2ppm、CO₂<0.5ppm、Kr<35ppm
記載なし
容器容量・充填量・容器弁・⁠⁠⁠用途
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

混合ガス

2製品
東京ガスケミカル株式会社エキシマレーザーガス Ne+Ar+Xe半導体の露光装置のレーザーガス口コミを書く要見積

ネオン・アルゴン・キセノンを混ぜたエキシマレーザー用のガスで、半導体のリソグラフィーやエッチングの光源に使います。ネオンとクリプトンの組と合わせて2種類あります。混ぜる割合は装置に合わせて問い合わせます。

ガスの区分
混合ガス
ガス組成
Ne+Ar+Xe
用途
半導体製造のリソグラフィー・エッチング工程の光源
記載なし
純度・不純物・容器容量・充填量・容器弁
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様
日本酸素株式会社キセノン標準ガス 10ppm〜50%濃度を決めてキセノンを混ぜる口コミを書く要見積

キセノンを10ppmから50%までの濃度で混ぜて作る標準ガスです。ヘリウムを主成分にすると1ppm以上から作れます。容器は47L・10L・3.4Lです。

ガスの区分
混合ガス
ガス組成
キセノンを含む混合ガス、10ppm〜50%
容器容量
47L、10L、3.4L
用途
一般標準ガス
記載なし
純度・不純物・充填量・容器弁
公式ページへ詳細・⁠⁠⁠仕様

高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)3製品

東京ガスケミカル株式会社

高純度キセノン ≧99.999%

不純物の上限を細かく決めた国内製造

純度≧99.999%に加え、クリプトン・アルゴン・炭化水素まで不純物の上限を決めています。窒素とクリプトンは2.0ppm未満、アルゴンは1.0ppm未満、露点は-76℃未満です。原料はLindeから仕入れ、横浜製造センターで製造します。

コスト要見積

ガスの区分
高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)
ガス組成
Xe
純度
≧99.999%
不純物
O₂<0.5ppm、N₂<2.0ppm、H₂<1.0ppm、Ar<1.0ppm、Kr<2.0ppm、THC<0.2ppm、CO₂<0.5ppm、CO<0.3ppm、露点<-76℃
用途
映写用・ストロボ用の電灯、車のヘッドライトの封入ガスなど
記載なし
容器容量・充填量・容器弁
公式ページへ
日本酸素株式会社

高純度キセノン 99.999vol.%

47L・10L・3.4Lから選ぶ高純度品

純度>99.999vol.%の高純度キセノンを、47L・10L・3.4Lの3つの容器から選べます。少しだけ使う研究なら3.4Lの容器で受けられます。不純物の上限はカタログで確かめます。

コスト要見積

ガスの区分
高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)
ガス組成
Xe
純度
>99.999vol.%
容器容量
47L、10L、3.4L
記載なし
不純物・充填量・容器弁・⁠⁠⁠用途
公式ページへ
日本エア・リキード合同会社

高純度キセノン N50

クリプトンの混じりを3ppm未満に

純度99.999%で、クリプトンの混じりを3ppm未満まで下げた等級です。N45にない一酸化炭素の上限0.1ppmも決めています。水分と酸素は1ppm未満です。

コスト要見積

ガスの区分
高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)
ガス組成
Xe
純度
99.999%
不純物
H₂O<1ppm、O₂<1ppm、N₂<3ppm、CnHm<1ppm、CO<0.1ppm、CO₂<0.5ppm、Kr<3ppm
記載なし
容器容量・充填量・容器弁・⁠⁠⁠用途
公式ページへ

一般グレード(99.99〜99.995%)4製品

エア・ウォーター株式会社

キセノン 産業用ガス

国内で精製したキセノン

エア・ウォーターは、キセノンとクリプトンを国内で生産しています。液化酸素の中にたまったキセノンを、精製・精留して取り出します。SDSの成分濃度は99.99%以上です。

コスト要見積

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
99.99%⁠⁠⁠以上
用途
ランプ製造、不活性雰囲気ガス
記載なし
不純物・容器容量・充填量・容器弁
公式ページへ
住友精化株式会社

高純度キセノン PURE

25Lからの少量を小さな容器で受ける

3.4Lと10Lの小さな容器に、25Lと100Lを詰めて届けます。純度は>99.995%で、クリプトンは35ppm未満、水分と酸素は1ppm未満です。圧力調整器はYBRを合わせます。

コスト要見積

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
>99.995%
不純物
O₂<1ppm、N₂<5ppm、CO₂<0.5ppm、Kr<35ppm、H₂O<1ppm
容器容量
3.4L、10L
充填量
25L、100L
容器弁
B・W22・14・OR
記載なし
用途
公式ページへ
高千穂化学工業株式会社

キセノン R

研究用のRグレードで受ける

キセノンは研究用のRグレード1つで、純度は99.99%です。容器バルブは22mmの右ねじで、圧力調整器はTUSシリーズを使います。容器の大きさは問い合わせて決めます。

コスト要見積

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
99.99%
容器弁
22mm、右ねじ、材質B
記載なし
不純物・容器容量・充填量・⁠⁠⁠用途
公式ページへ
日本エア・リキード合同会社

キセノン N45

N50と並べて等級を選ぶ

同じ会社のN50と並べて、純度99.995%の一つ下の等級を選べます。窒素は10ppm未満、クリプトンは35ppm未満、炭化水素は2ppm未満です。容器と量は見積もりで決めます。

コスト要見積

ガスの区分
一般グレード(99.99〜99.995%)
ガス組成
Xe
純度
99.995%
不純物
H₂O<3ppm、O₂<3ppm、N₂<10ppm、CnHm<2ppm、CO₂<0.5ppm、Kr<35ppm
記載なし
容器容量・充填量・容器弁・⁠⁠⁠用途
公式ページへ

混合ガス2製品

東京ガスケミカル株式会社

エキシマレーザーガス Ne+Ar+Xe

半導体の露光装置のレーザーガス

ネオン・アルゴン・キセノンを混ぜたエキシマレーザー用のガスで、半導体のリソグラフィーやエッチングの光源に使います。ネオンとクリプトンの組と合わせて2種類あります。混ぜる割合は装置に合わせて問い合わせます。

コスト要見積

ガスの区分
混合ガス
ガス組成
Ne+Ar+Xe
用途
半導体製造のリソグラフィー・エッチング工程の光源
記載なし
純度・不純物・容器容量・充填量・容器弁
公式ページへ
日本酸素株式会社

キセノン標準ガス 10ppm〜50%

濃度を決めてキセノンを混ぜる

キセノンを10ppmから50%までの濃度で混ぜて作る標準ガスです。ヘリウムを主成分にすると1ppm以上から作れます。容器は47L・10L・3.4Lです。

コスト要見積

ガスの区分
混合ガス
ガス組成
キセノンを含む混合ガス、10ppm〜50%
容器容量
47L、10L、3.4L
用途
一般標準ガス
記載なし
純度・不純物・充填量・容器弁
公式ページへ
Q&A

キセノン選びで、よくある疑問

購買担当の疑問キセノンガスの価格は、いくら?

このページの9製品は、どれも公式資料に値段を出していません。純度・不純物の上限・容器の大きさ・本数をそろえて、メーカーに見積もりを頼みます。ガス代のほかに、容器の貸し出しと配送の条件も分けて確かめます。

設備担当の疑問キセノンとは?何に使う?

空気の中にわずかしかない希ガスで、映写用・ストロボ用・車のヘッドライトのランプへの封入や、エキシマレーザーに使います。東京ガスケミカルの資料では、人工衛星の軌道制御用エンジンやダークマターの検出にも使うと書いています。エア・ウォーターは、X線検出器やCTの造影剤、麻酔などの医療の用途も挙げています。

施設管理の疑問半導体の製造で、キセノンはどう使う?

露光装置のエキシマレーザーの封入ガスに使います。東京ガスケミカルはNe+Ar+XeとNe+Krの2種類のエキシマレーザーガスを出していて、半導体のリソグラフィーやエッチングの光源に使います。日本エア・リキードも、キセノンなどの希ガスを半導体とメモリーチップの製造に使うガスとして案内しています。

工場長の疑問キセノンの純度99.995%と99.999%の違いは?

違いは不純物の上限に出ます。日本エア・リキードのキセノン(N45)⁠は⁠純⁠度99.995%でクリプトン35ppm未満・窒素10ppm未満、高純度キセノン(N50)は99.999%でクリプトン3ppm未満・窒素3ppm未満です。工程が許す不純物の上限から等級を決めます。

設備担当の疑問不純物の上限はどこを見る?

クリプトン・窒素・酸素・水分を見ます。東京ガスケミカルの高純度キセノンは、窒素とクリプトンが2.0ppm未満、アルゴンが1.0ppm未満、露点が-76℃未満です。住友精化のPUREグレードは、クリプトン35ppm未満、水分1ppm未満です。

購買担当の疑問キセノンのボンベの容量は?

日本酸素の高純度キセノンは47L・10L・3.4Lの容器から選べます。住友精化は3.4Lと10Lの容器に25Lと100Lを詰めます。容器のLは内容積で、詰めたガスの量とは別です。

購買担当の疑問研究用に少しだけ欲しいときは?

小さな容器のある品を選びます。住友精化のPUREグレードは3.4Lの容器に25Lを詰めます。高千穂化学工業のキセノンは研究用のRグレード(99.99%)で⁠、圧力調整器はTUSシリーズを使います。

総務の疑問キセノンを混ぜた標準ガスは頼める?

日本酸素のキセノン標準ガスは、キセノンを10ppmから50%までの濃度で作れます。ヘリウムを主成分にすると1ppm以上から作れます。容器は47L・10L・3.4Lです。

経営者の疑問キセノンはどうやって作る?国内で作っている?

キセノンは空気の中に0.09ppmしかなく、大きな空気分離プラントの副産物として取り出します。東京ガスケミカルの資料では、日本で使うレアガスのほとんどは輸入です。エア・ウォーターはクリプトンとキセノンを国内で生産していて、東京ガスケミカルはLindeから原料を仕入れて横浜製造センターで製造しています。

総務の疑問クリプトンとの違いは?キセノンランプはこのページに入っている?

どちらも空気から取る希ガスですが、エア・ウォーターの資料ではクリプトンの沸点が-152.3℃、キセノンは-107.1℃です。比重もキセノンは4.56と重く、クリプトンは2.9です。このページはキセノンのガスだけを載せていて、キセノンランプなどの完成品は入れていません。

施設管理の疑問キセノンガスの危険性と、安全の注意は?

燃えないガスですが、空気より重く、屋内では低い所にたまりやすいガスです。エア・ウォーターのSDSでは、高い濃度で吸うと酸欠で死亡することがあると書いています。容器は直射日光を避けて40℃以下に保ち、換気をよくして使います。

TYPES

キセノンのガスの区分の違い

ボタンを押すと、表がそのガスの区分の製品だけになります。

高純度品(⁠99.999%⁠⁠⁠以上⁠)

公式の純度が99.999%以上のキセノンです。クリプトン・窒素・水分などの不純物の上限も細かく決めている品が多く、半導体や研究の工程で等級を指定して使います。

向いている使い方

  • 半導体製造の工程ガス
  • 不純物の上限を決めて使う研究
  • クリプトンの混じりを抑えたい

根拠:日本エア・リキードの高純度キセノン(N50)⁠は⁠、⁠純⁠度99.999%でクリプトンを3ppm未満にしています。(出典8)

このガスの区分の3製品を表で見る

一般グレード(99.99〜99.995%)

公式の純度が99.99〜99.995%のキセノンです。ランプへの封入や不活性な雰囲気づくりに使います。クリプトンの混じりは35ppm未満の品が多く、高純度品と比べてから選びます。

向いている使い方

  • ランプへの封入
  • 不活性な雰囲気をつくる
  • 研究で少量を使う

根拠:エア・ウォーターのSDSでは、推奨用途をランプ製造と不活性雰囲気ガスとしています。(出典9)

このガスの区分の4製品を表で見る

混合ガス

キセノンをほかのガスと混ぜた混合ガスです。半導体の露光に使うエキシマレーザーガスと、濃度を決めて混ぜる標準ガスがあります。混ぜる割合は装置や測定に合わせて決めます。

向いている使い方

  • エキシマレーザーのガス
  • 決めた濃度の標準ガス
  • 装置メーカーの指定に合わせる

根拠:東京ガスケミカルは、エキシマレーザーガスとしてNe+KrとNe+Ar+Xeの2種類を出しています。(出典1)

このガスの区分の2製品を表で見る
MAKERS

キセノンの主なメーカー6社

キセノンの主なメーカーは、次の6社です。社名を押すと、その会社のページ(ほかの製品と所在地)に移ります。

エア・ウォーター株式会社

エア・ウォーターは、キセノンとクリプトンを国内で生産しています。

大阪府

住友精化株式会社

3.4Lと10Lの小さな容器に、25Lと100Lを詰めて届けます。

大阪府

高千穂化学工業株式会社

キセノンは研究用のRグレード1つで、純度は99.99%です。

東京都

東京ガスケミカル株式会社

純度≧99.999%に加え、クリプトン・アルゴン・炭化水素まで不純物の上限を決めています。

東京都

日本酸素株式会社

純度>99.999vol.%の高純度キセノンを、47L・10L・3.4Lの3つの容器から選べます。

東京都

日本エア・リキード合同会社

純度99.999%で、クリプトンの混じりを3ppm未満まで下げた等級です。

東京都

この比較表のデータ:CSV・JSON(出典を明記すれば引用できます)

掲載基準と並び順

掲載基準:半導体製造のエキシマレーザーや工程ガス、映写用・ストロボ用などのランプへの封入、研究装置、標準ガスに使う業務用のキセノンガスで、日本に法人があり、自社または自社グループで製造・精製・混合・充填していることと、純度・不純物・容器・組成のどれかを公式資料で確かめられた品を載せています。単成分のキセノンと、キセノンを成分に含む混合ガスを対象にし、1社2製品までです。クリプトン・ネオンなどほかの希ガスの単成分は載せていません(東京ガスケミカル⁠のNe+Krのようにキセノンを含まない混合ガスも除きます)。クリプトンはクリプトンガスの比較、ヘリウムはヘリウムの比較、アルゴンはアルゴンガスの比較、窒素・水素などほかの工業用ガスは高圧ガスの比較で扱い、このページはキセノンそのものを扱います。キセノンランプ・キセノン光源装置などの完成品は製品の側で扱い、ここには入れていません。純度の区分は公式の純度の表記で分けた比較用の整理で、メーカーのグレード名の上下とは限りません。エア・ウォーターの純度はSDSの成分濃度で、保証値ではありません。東横化学は物性の案内だけで純度・容器の記載がなく載せていません。岩谷産業とイワタニファインガスは公式サイトがメンテナンス中で製品ページを開けず、エア・プロダクツは日本向けのキセノンの純度・容器を公式資料で確かめられず、今回は載せていません。高圧ガス工業・東京高圧山崎は、確かめた公式の製品資料にキセノンがありませんでした。川口液化ケミカル・スミコエアーは、確かめた公式ページでキセノンの純度・容器を確かめられませんでした。ウエキコーポレーション・鈴木商館など他社の希ガスを売る商社・販売店、日本法人を確かめられない海外の会社、輸入販売元・総代理店が扱う海外ブランド品、医療用だけの品、容器・圧力調整器・回収精製装置などの機器、中古・販売終了品は除きます。値段を公式に出している製品はありません。分類は製造工程で使う材料として zairyo です。並びはガスの区分ごとに会社名の五十音順です。

並び順:ガスの区分ごとに分け、その中はメーカー名の五十音順です。おすすめ順ではなく、掲載料で順番は変えません。

キセノンを作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

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