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キセノンとは？半導体・ランプ・研究で使うキセノンガスの純度・不純物・混合ガスの違いと選び方

半導体のエキシマレーザー、映写用・ストロボ用のランプ、研究装置に使うキセノンガスについて、高純度品と一般グレードの違い、不純物の上限、ボンベの容量と充填量、混合ガス、安全の注意を、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年10月29日更新

この記事の答え

キセノンは、ランプやレーザーに封入し、半導体の製造にも使う希ガスです。純度99.999%以上の高純度品、99.99〜99.995%の一般グレード、ほかのガスと混ぜた混合ガスに分かれます。選ぶときは「何に使うか」「不純物の上限をどこまで決めるか」「どの大きさの容器で受けるか」の3つを先に決めます。

キセノンとは

キセノンは、空気の中にわずか0.09ppmしかない希ガスです。大きな空気分離プラントで酸素や窒素を作るときの副産物として取り出し、日本で使うレアガスのほとんどは輸入に頼っています（東京ガスケミカルの資料）。エア・ウォーターはクリプトンとキセノンを国内で生産していて、液化酸素の中にたまったキセノンを精製・精留して取り出します。

比較ページには、日本に法人があり、自社または自社グループで製造・精製・混合・充填するキセノンを、純度や組成の単位で載せています。他社の希ガスを売る商社・販売店、クリプトン・ネオンの単成分、キセノンランプなどの完成品は載せていません。

何に使うか

強い青白い光を出すので、映写用・ストロボ用のランプや車のヘッドライトに封入します（東京ガスケミカルの資料）
半導体のリソグラフィーやエッチングでは、ネオン・アルゴンと混ぜたエキシマレーザーガスを光源に使います
人工衛星の軌道制御用エンジンや、ダークマターの検出にも使います
エア・ウォーターは、液晶・PDP、X線検出器、CTの造影剤、麻酔などの用途も挙げています

3つの区分

高純度品（99.999%以上）は⁠、日本酸素の高純度キセノン、日本エア・リキードの高純度キセノン（N50）、東京ガスケミカルの高純度キセノンです
一般グレード（99.99〜99.995%）は、住友精化のPUREグレード、高千穂化学工業のRグレード、日本エア・リキードのN45、エア・ウォーターのキセノンです
混合ガスは、日本酸素のキセノン標準ガスと、東京ガスケミカルのエキシマレーザーガス（Ne+Ar+Xe）⁠で⁠⁠⁠⁠す
区分は公式の純度の数字で分けたもので、メーカーのグレード名の上下とは限りません