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XENON / MZ-36907

エキシマレーザーガス Ne+Ar+Xe東京ガスケミカル株式会社

東京ガスケミカルのエキシマレーザーガス（ネオン・アルゴン・キセノン）で⁠⁠⁠⁠す⁠。

2026年10月29日確認

仕様

向いている所：半導体の露光装置のレーザーガス

ガスの区分
混合ガス
ガス組成
Ne+Ar+Xe
純度
—公式資料で確認できず
不純物
—公式資料で確認できず
容器容量
—公式資料で確認できず
充填量
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
容器弁
—公式資料で確認できず
用途
半導体製造のリソグラフィー・エッチング工程の光源

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

もう1種類はNe+Kr。

口コミ

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出典（2026年10月29日確認）

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