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高純度塩素(半導体用)のメーカー2社比較【2026年】

高純度塩素は、
半導体や液晶のエッチングに使う、純度99.999%以上の塩素です。

ABOUT

高純度塩素とは

高純度塩素とは、半導体や液晶のエッチングに使う、純度99.999%以上の塩素です。
エッチングガス・クリーニングガスとして使います。

高純度品は、純度の示し方と容器、供給の期限で分かれ、
純度・不純物・容器・供給の期限で比べて選びます。

特に、質量基準で99.999wt%以上を示し、47L・10L・3.4Lの容器を出すのは日本酸素です。
99.999%以上の高純度液化塩素を2027年12月まで出すのは、ADEKAです。

※定義と液化の説明は日本ソーダ工業会、用途・品質・供給の条件は各メーカーの公式資料による。数値のない欄は公開資料に記載がないもので、保証がいらないという意味ではない。

LIST

高純度塩素の比較表

高純度塩素の価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
高純度塩素(半導体用)2製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
株式会社ADEKA高純度液化塩素 アデカ 99.999%以上製品の詳細を見るメーカー公式サイトadeka.co.jp

純度99.999%以上、沸点-34.1℃の高純度液化塩素で、ADEKAが半導体の前工程用の高純度エッチングガスとして出しています。

エッチング用に純度99.999%以上の液化塩素を案内しています。2027年12月19日出荷分で販売を終える予定のため、継続調達の計画と合わせて確認します。

エッチングガス

要見積
日本酸素株式会社高純度塩素 Cl₂ 99.999wt%以上 10L製品の詳細を見るメーカー公式サイトnsc.jp.nipponsanso.com

純度99.999wt%以上の半導体材料ガスの塩素で、47L・10L・3.4Lの容器があります。

質量基準で純度99.999wt%以上を示す半導体材料ガスです。容器サイズは10Lを選べ、同じ製品で47L・3.4Lも案内しています。

半導体・液晶のエッチング

要見積
FEATURES

高純度塩素の使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    半導体・液晶のエッチング、純度を管理する製造工程。

  • 何のために使うか

    不純物を抑えた塩素で、半導体や液晶をエッチングするためです。

特徴

  • どんなものか

    半導体や液晶のエッチングに使う、純度99.999%以上の高純度の塩素です。

  • 強み

    純度99.999%以上です。日本酸素は、質量基準で99.999wt%以上を示しています。

メリット

  • 使うメリット

    日本酸素は、47L・10L・3.4Lの容器から選べます。

  • 一般工業用に比べたメリット

    一般工業用の液化塩素は99.4〜99.6%以上ですが、高純度品は99.999%以上で、エッチングの工程に使えます。

塩素を使う根本の理由は、強い酸化力で水を殺菌し、紙を漂白し、塩素化合物や半導体をつくる原料にすることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. 純度の基準をそろえる

    純度のwt%とvol%をそろえ、不純物ごとの保証も確かめます。

    よくある失敗99.4vol%と、基準の無い99.4%を同じ規格として並べる。

  2. 供給の期限を確かめる

    ADEKAの高純度液化塩素は、2027年12月19日出荷分で販売を終えます。

    よくある失敗終わる予定を知らずに、新しい工程でADEKAの品を採用する。

  3. kgとLを分ける

    ボンベのkgは充填質量、Lは容器内容積です。

    よくある失敗50kgのボンベと47Lの容器を、同じ量として比べる。

  4. 水分と腐食に気をつける

    塩素は水と反応して塩酸をつくり、鉄など多くの金属を腐食させます(AGC)。受け入れの設備とSDSを先に確かめます。

    よくある失敗配管の水分を抜かずに、塩素を通す。

Q&A

高純度塩素選びで、よくある疑問

購買担当の疑問高純度塩素はいくら?

このページの2製品は、どちらも公式に値段を出していないので、見積もりを取る必要があります。純度・容器の大きさ・本数・不純物の条件を伝えると早く返ってきます。日本酸素なら47L・10L・3.4Lのどれにするか、容器の返却の条件も合わせて聞きます。受け入れの設備の図面や、今の使用量を添えると、話が早く進みます。

設備担当の疑問純度は?

日本酸素は質量基準で99.999wt%以上、ADEKAは99.999%以上です。ADEKAの製品表には、質量基準か体積基準かの記載がありません。同じ99.999%でも基準が違うことがあるので、工程で求める基準を伝えて、メーカーに確かめます。保証書の書き方も合わせて聞きます。SDSと品質規格書は、採用する前に取り寄せて保管しておきます。

工場長の疑問不純物の保証は?

純度の数字だけでは、不純物ごとの上限はわかりません。日本酸素の公開ページには、不純物ごとの保証の値がありません。水分や金属など、工程で管理する不純物の名前を伝えて、保証できる値と分析の方法をメーカーに確かめます。決めた値は受け入れの条件に書きます。SDSと品質規格書は、採用する前に取り寄せて保管しておきます。

購買担当の疑問容器の大きさは?

日本酸素は、47L・10L・3.4Lの容器を案内しています。Lは容器内容積で、充填する量とは別です。装置が使う量と、ボンベを替える回数から、容器を選びます。充填する量は、見積もりのときにメーカーに確かめます。予備のボンベの置き場所も決めておきます。受け入れの設備の図面や、今の使用量を添えると、話が早く進みます。

購買担当の疑問ADEKAの高純度塩素は販売終了する?

します。ADEKAは2027年12月で高純度液化高圧ガス類の製造販売を終えると決め、アデカ高純度液化塩素は2027年12月19日出荷分が最終販売日です。容器の返却期限は2028年12月22日です。今使っているなら、切り替えの計画を早めに立てます。迷うときは、使う工程と年間の量を伝えて、メーカーに相談します。

総務の疑問切り替えるときに気をつけることは?

メーカーを替えると、純度の基準や容器の形が変わることがあります。日本酸素は質量基準の99.999wt%以上で、47L・10L・3.4Lの容器です。装置の受け入れの条件と、工程で管理する不純物を伝えて、評価の期間も見込んで、早めに相談します。受け入れの設備の図面や、今の使用量を添えると、話が早く進みます。

設備担当の疑問何に使う?

半導体や液晶のエッチングに使います。日本酸素は、シリコン半導体・液晶のドライエッチングに使う半導体材料ガスとして案内しています。ADEKAも、前工程の高純度エッチングガスとして出しています。使う工程の名前と、装置の条件を伝えて相談します。SDSと品質規格書は、採用する前に取り寄せて保管しておきます。

設備担当の疑問どこで作っている?

日本酸素の半導体材料ガスは、日本酸素JFPで作っています。ADEKAは、前工程材料として高純度エッチングガスを出しています。供給の続き方や、届くまでの日数も、見積もりのときに合わせて確かめます。長く使う工程なら、供給の続く見込みも聞いておきます。迷うときは、使う工程と年間の量を伝えて、メーカーに相談します。

施設管理の疑問取り扱いで気をつけることは?

塩素は水と反応して塩酸をつくり、鉄など多くの金属を腐食させます(AGC)。空気より重く、床に沿って動くことがあります。高純度品でも同じなので、配管の水分を抜き、検知器の高さを考えて、受け入れの設備を整えます。SDSも先に取り寄せておきます。受け入れの設備の図面や、今の使用量を添えると、話が早く進みます。

経営者の疑問高純度塩素のメーカーは?

このページには、日本酸素とADEKAの2社を載せています。これから長く使うなら、容器を3つの大きさから選べる日本酸素、今ADEKAを使っているなら、2027年12月までの切り替えの計画と合わせて相談します。純度の基準と容器を伝えて見積もりを取ります。SDSと品質規格書は、採用する前に取り寄せて保管しておきます。

MAKERS

高純度塩素の主なメーカー2社

株式会社ADEKA

特徴
基礎化学品や高純度過酸化水素を扱う化学メーカー。
強み
  • 半導体の材料も作る
  • 20カ国・地域に57社

東京都

日本酸素株式会社

特徴
産業ガスと、医療用ガス・医療機器・バイオ機器を扱う会社。 液体窒素の凍結保存容器は、グループ会社のクライオワンが国内で作っている。
強み
  • 液体窒素の凍結保存容器の国内唯一のメーカー
  • 酸化エチレンの受託滅菌も受ける

東京都

出典
  1. 日本ソーダ工業会 ソーダ製品の説明
  2. AGC 液体塩素
  3. AGC 液体塩素品質規格 一般工業用 D-011
  4. カネカ 液化塩素SDS
  5. 東亞合成 液体塩素
  6. 南海化学 液化塩素
  7. 日本軽金属 ソーダ・無機塩化物
  8. 日本酸素 半導体材料ガス 塩素
  9. ADEKA 前工程材料 高純度エッチングガス
  10. ADEKA 高純度液化高圧ガス類 販売終了に関するお知らせ
  11. 日本酸素 よくあるご質問 製造拠点
  12. 東亞合成 無機製品と製造拠点
掲載基準

半導体・液晶のエッチングに使う、純度99.999%以上の高純度の塩素で、日本法人が自社または自社グループで作り、公式資料で純度を確かめられた製品です。一般工業用の液化塩素は、液化塩素のページで扱います。濃度の範囲しかない混合ガスは載せていません。

高純度塩素(半導体用)を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

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