三フッ化ホウ素とは？ガス・11BF3・エーテル錯体の違い、純度・ボンベ・価格の選び方

三フッ化ホウ素とは

三フッ化ホウ素は、沸点が-100℃、融点が-127℃の物質で、ボンベに詰めた高圧ガスとして届きます。CAS番号は7637-07-2です。多くの化学物質に溶け、主に反応の触媒として、ガスのままか錯体にして使います。ステラケミファは、1963年に国内で最初に工業化したと書いています。

比較ページには、日本法人が自社の製品として案内している品を載せています。商社が売る他社の製品、三塩化ホウ素など他のホウ素ガスは載せていません。

3つの種類

• ガスは、ボンベやカードルで受けて反応や半導体の工程に流します。例はステラケミファの高純度の三フッ化ホウ素と、日本酸素の三フッ化ホウ素（BF3）⁠で⁠す
• 11BF3は、ホウ素11を濃縮したガスで、イオン注入に使います。例は日本酸素のSDS 11BF3と、高千穂化学工業の11BF3 Rです
• エーテル錯体は、ジエチルエーテルなどと組ませた液で、ボンベを置かずに量りとれます。例はステラケミファの三フッ化ホウ素エチルエーテルと、富士フイルム和光純薬の022-08362です

純度と容器

• 日本酸素の三フッ化ホウ素（BF3）の純度は、Aが99.99%超、Bが99.8%超で、容器は47L・10L・3.4L・1L・0.35Lです
• ステラケミファのガスは、30kgのスチール製ボンベと300kgのカードルで届きます。SDSの含有量は99.7%以上で、これは規格値ではありません
• 日本酸素のSDS 11BF3は純度が99.9%超で、容器は3X・4X・7Xです
• 高千穂化学工業の11BF3 Rは純度が99.9%で、容器弁は22mmとPF1/4です
• ステラケミファのエチルエーテル錯体は、20kgと200kgのケミドラムで届きます
• 富士フイルム和光純薬の錯体は、BF3の含量が46.0〜49.0%で、25g・100g・500gがあります

値段

• 公式に値段が出ているのは、富士フイルム和光純薬の錯体で、25gが2,300円（税抜）、100gが4,000円（税抜）、500gが11,500円（税抜）⁠で⁠す
• ガスは公式に値段が出ていないので、純度のグレード・容器・使う量を伝えて見積もりを取ります

扱うときの注意

• 毒物で、高圧ガス保安法の毒性ガスでもあるので、受け入れとしまい方の決まりを先に確かめます
• SDSでは、吸入の急性毒性が区分2、皮膚腐食性が区分1です
• 水と反応するので、湿気を入れないようにします
• 施錠して、直射日光を避け換気の良い場所にしまっておきます
• 火災のときは水を噴霧して容器を冷やし、三フッ化ホウ素そのものに水がかからないようにします