三フッ化ホウ素のメーカー4社比較【2026年】

ガスは公式に値段が出ていないため、見積もりを取る必要があります。公式に値段が出ているのは富士フイルム和光純薬の三ふっ化ほう素ジエチルエーテル錯体で、25gが2,300円（税抜）⁠で⁠す⁠。ガスなら純度のグレード・容器の大きさ・月に使う量を伝えると早く返ってきます。

量を流す反応や半導体の工程ならガス、ボンベを置けない現場や少量の合成なら錯体です。ガスはボンベやカードルで受け、錯体はジエチルエーテルなどと組ませた液で、ドラムやびんで届きます。ステラケミファは両方を作っています。

11BF3は、ホウ素11を濃縮した三フッ化ホウ素で、半導体のイオン注入に使います。日本酸素のSDS 11BF3は純度99.9%超で、容器は3X・4X・7Xです。触媒に使うなら濃縮していない三フッ化ホウ素で足ります。

半導体の工程に使うなら、日本酸素の三フッ化ホウ素（BF3）のAグレード（99.99%超）を選びます。この表で公式に出ている純度の最高値です。同じ製品にBグレード（99.8%超）もあります。ステラケミファの99.7%以上はSDSの含有量で、製品の規格値ではないとSDSに書かれています。

少量から試すなら日本酸素、量を使うならステラケミファです。日本酸素の容器は47L・10L・3.4L・1L・0.35Lの5つです。ステラケミファは30kgのスチール製ボンベと300kgのカードルで届けます。

配管に合わせる弁の規格は、会社に確かめてから容器を決める必要があります。公式に載っているのは高千穂化学工業の11BF3 Rの22mmとPF1/4です。日本酸素とステラケミファは製品ページに弁の規格を載せていません。

三フッ化ホウ素は毒物で、高圧ガス保安法の毒性ガスでもあるため、受け入れの前に届出と保管の決まりを確かめる必要があります。ステラケミファのSDSでは、吸入の急性毒性が区分2、皮膚腐食性が区分1です。施錠して、直射日光を避け換気の良い場所にしまっておきます。

三フッ化ホウ素は水と反応するので、湿気を入れないように扱います。SDSには、水と反応し冷水に溶けると書かれています。錯体の試薬も、富士フイルム和光純薬の品は冷蔵で届きます。

主な使い道は、重合や医薬中間体合成の触媒と、半導体のイオン注入です。ステラケミファは、イオン注入の工程で使うジボランの原料にもなると書いています。エーテル錯体はボランの原料やテルペンなどの重合触媒に使われています。

火災のときは水を噴霧して容器を冷やし、三フッ化ホウ素そのものに水がかからないようにします。ステラケミファのSDSは、火炎に包まれたボンベは安全弁からガスが出るおそれがあると書いています。詳しくは使う製品のSDSで確かめます。