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メガソニックの発振器(半導体・精密洗浄用)のメーカー3社比較【2026年】

メガソニックの発振器は、
数百kHzから1MHzほどの高い周波数で振動子を鳴らし、
ワークを傷めずに細かい粒を落とす発振器です。

ABOUT

メガソニックの発振器とは

メガソニックの発振器とは、数百kHzから1MHzほどの高い周波数で振動子を鳴らし、
ワークを傷めずに細かい粒を落とす発振器です。
キャビテーションがほとんど出ません。

メガソニックの発振器は、周波数と出力の刻みと、出力の下限・外部制御・組む振動子の違いで比べて選びます。

特に、1MHzで出力を1W単位で調整できるW-357BM-1200は本多電子、振動板を替えて950kHzまで鳴らし0.1W単位で決められるクオーバはカイジョー、730kHzか1MHzで3Wから全域をフィードバック制御するUO1200PMCXは国際電気セミコンダクターサービスです。

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページによる(価格はエスエヌディの公式ページの税抜価格)。周波数ごとの使い分けは本多電子、メガソニックの仕組みと許可の案内はカイジョーの公式ページによる。

LIST

メガソニックの発振器の比較表

メガソニックの発振器の価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
メガソニックの発振器(半導体・精密洗浄用)3製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み使用用途・場所価格
株式会社カイジョーメガソニック発振器 クオーバ製品の詳細を見るメーカー公式サイトkaijo.co.jp

振動板を替えて26kHzから950kHzまで鳴らす、クオーバ メガソニック洗浄の発振器です。

振動子を替えれば、1台で26kHzから950kHzまで鳴らせる発振器です。出力は0.1W単位で決められ、ダメージを嫌う精密洗浄で出力を細かく詰められます。振動子を替えても、発振器は原則として調整なしで使えます。

ダメージを嫌う精密洗浄で、出力を細かく詰める

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株式会社国際電気セミコンダクターサービスメガソニック発振器 UO1200PMCX製品の詳細を見るメーカー公式サイトservice.kokusai-electric.com

ミクロソニックの名で売る高周波の電源で、別売のノイズフィルターFB001でFCCに適合します。

3Wから1200Wまで、出力を全域でフィードバック制御するメガソニック発振器です。低い出力でも安定するので、微細な半導体デバイスへのダメージを抑えられます。周波数は730kHzか1MHzの固定で、石英槽を通る超音波の割合が変わりません。

微細な半導体デバイスを、ダメージを抑えて洗う

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本多電子株式会社メガソニック発振器 W-357BM-1200製品の詳細を見るメーカー公式サイトhonda-el.co.jp

1MHzで鳴らすメガソニックの型で、振動板タイプと槽タイプの振動子から選ぶ発振器です。

1MHzの発振器で、出力を1W単位で調整できます。サブミクロンのパーティクルを落とすバッチ洗浄に使い、振動子は振動板タイプと槽タイプから選べます。RS485のMODBUSで、洗浄装置から設定と状態を見られます。

サブミクロンのパーティクルを落とすバッチ洗浄に使う

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FEATURES

メガソニックの発振器の使用用途・特徴・メリット

使用用途

  • どこに使うか

    半導体ウェーハやフォトマスク、液晶ガラスなどの精密洗浄に。

  • 何のために使うか

    キャビテーションがほとんど出ず主に加速度で洗うので、ワークを傷めずにサブミクロンの粒を落とせるからです。

特徴

  • どんなものか

    数百kHzから1MHzほどの高い周波数で鳴らす発振器です。

  • 強み

    カイジョーのクオーバは、出力を0.1W単位で決められます。

メリット

  • 使うメリット

    国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは、3Wから安定して出せます。

  • 単周波に比べたメリット

    キャビテーションがほとんど出ず、ワークを傷めにくくなります。

超音波発振器を選ぶ根本の理由は、汚れとワークに合う周波数と出力で振動子を鳴らし、今ある槽や洗浄装置で超音波洗浄をすることです。使うメリットをくわしく

選ぶときに注意すること

  1. 50kHz以上は許可の申請を見込む

    周波数50kHz以上の機種は型式指定が受けられず、高周波利用設備の許可状の交付を受けます。

    よくある失敗許可の申請を見込まずに、メガソニックの導入日を決める。

  2. 発振器と振動子は同じメーカーで組む

    発振器と振動子は、同じメーカーの組み合わせで選びます。

    よくある失敗発振器だけを替えて、今の振動子に他社の発振器をつなぐ。

  3. 振動子が使える液の温度を確かめる

    振動子は、使える液の温度が決まっています。

    よくある失敗熱い液に、温度を確かめずに振動子を沈める。

  4. 周波数と電源電圧は注文で決める

    周波数や電源電圧を、注文のときに決める型があります。

    よくある失敗周波数を決めずに注文して、あとから変えようとする。

Q&A

メガソニックの発振器選びで、よくある疑問

購買担当の疑問メガソニックの発振器はいくら?

本多電子のW-357BM-1200、カイジョーのクオーバ、国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは、どれも価格を公式に出していません。周波数・出力・組む振動板や槽で値段が変わるので、見積もりを取ります。頼むときは、洗うワーク、槽の内寸、使う液と温度を伝えてください。

設備担当の疑問3製品の違いは?

周波数の決め方と出力の刻みが違います。本多電子のW-357BM-1200は1MHzで、出力を1W単位で調整します。カイジョーのクオーバは振動板を替えて26kHzから950kHzまで鳴らし、出力を0.1W単位で決めます。国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは730kHzか1MHzの固定で、3Wから1200Wまでフィードバック制御します。

工場長の疑問周波数は?

本多電子のW-357BM-1200は1MHz、国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは730kHzか1MHzです。カイジョーのクオーバは、振動子を選んで26kHzから950kHzまで鳴らし、メガソニックは750kHzと950kHzです。周波数を固定すると、石英槽を通る超音波の割合が変わりません。

工場長の疑問出力の調整は?

3製品とも最大1200Wです。本多電子のW-357BM-1200は200Wから1200Wまで1W単位、カイジョーのクオーバは0.1W単位で決められます。国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは3Wから1200Wまで全域をフィードバック制御するので、低い出力でも安定します。微細なデバイスなら、出力の下限から見てください。

工場長の疑問外部制御は?

本多電子のW-357BM-1200は、外部駆動入力2点とRS485(MODBUS)を持ちます。カイジョーのクオーバは、リモート、8段階出力、RS485、異常出力、アナログ出力を持ちます。国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは遠隔制御ができます。洗浄装置から設定と状態を見たいなら、通信の方式を確かめてください。

工場長の疑問組む振動子は?

本多電子のW-357BM-1200は、振動板タイプのW-357BM-1200Fか、槽タイプのW-357BM-1200Sから選びます。カイジョーのクオーバは、振動板の7857S型・8857S型・98SL型と組みます。国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXの振動子は、公式のページに書かれていませんでした。

工場長の疑問許可の申請は必要?

必要です。カイジョーは、周波数50kHz以上の機種は型式指定が受けられず、許可状の交付を受ける必要があると案内しています。本多電子のW-357BMシリーズも、高周波利用設備許可申請の届出が必要です。メガソニックは50kHzをずっと超えるので、導入の日程に申請の期間を見込んでください。

工場長の疑問電源と寸法は?

本多電子のW-357BM-1200はAC200V〜240V単相2400VAで、360×360×143mm、7kgです。カイジョーのクオーバはAC200V〜240V単相10Aで、430×418×148mm、17kgです。国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは単相AC200V〜230V10Aで、360×150×480mm、14kg以下です。

工場長の疑問消費電力は?

国際電気セミコンダクターサービスのUO1200PMCXは、当社の従来機に比べて消費電力を15%減らしたと書いています。FCCに適合させるには、別売のノイズフィルターFB001を使います。本多電子とカイジョーの消費電力は、電源の容量で比べてください。本多電子は2400VA、カイジョーは10Aです。

設備担当の疑問単周波とどう選び分ける?

ワークを傷めたくないかで選びます。半導体ウェーハやフォトマスクのように、サブミクロンの粒をダメージなしで落とすならメガソニックです。切削油や切粉を強く落とすなら、28kHzや40kHzの単周波です。単周波は、超音波工業・本多電子・国際電気セミコンダクターサービス・日本アレックス・エスエヌディの5製品を、別のページで比べています。

MAKERS

メガソニックの発振器の主なメーカー3社

株式会社カイジョー

特徴
東京都羽村市に本社、長野県松本市に生産本部の松本事業所を置く。 創立は1948年で、親会社は澁谷工業。
強み
  • 1957年に超音波洗浄機
  • 受託開発・受託生産も

東京都

株式会社国際電気セミコンダクターサービス

特徴
半導体製造装置の開発・販売・保守と、超音波応用機器などの電子応用機器の開発・製作・販売を行う会社。
強み
  • 売上高は124億8千万円
  • 国内の装置の保守を担う

富山県

本多電子株式会社

特徴
愛知県豊橋市に本社・工場を置き、1956年に創業した。 マリン・産業用・メディカル・セラミックスの各製品を作る。
強み
  • ものづくり日本大賞で大臣賞
  • 医療のISO13485も取得

愛知県

出典
  1. カイジョー クオーバ メガソニック洗浄
  2. カイジョー クオーバ マルチ
  3. カイジョー フェニックスⅢ
  4. カイジョー クオーバ ミニ
  5. 国際電気セミコンダクターサービス UO1200PMCX
  6. 国際電気セミコンダクターサービス UO1200PGシリーズ
  7. 国際電気セミコンダクターサービス 投込振動子
  8. 国際電気セミコンダクターサービス UO600PBシリーズ
  9. 超音波工業 スイープタイプ
  10. エスエヌディ MU-600A1
  11. 日本アレックス マルチソフト
  12. 日本アレックス ネオソニック
  13. 本多電子 W-357BMシリーズ
  14. 本多電子 WGシリーズ
  15. 日本エマソン ブランソン Branson GCX 超音波発振器
掲載基準

超音波発振器のうち、数百kHzから1MHzほどで鳴らすメガソニックの型に絞りました。日本の会社が自社で作るか自社グループの製品として売るものです。単周波と多周波は別に分けています。半導体の洗浄装置そのものは、別のページで扱います。

メガソニックの発振器(半導体・精密洗浄用)を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

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