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超音波発振器メガソニック

メガソニック発振器 UO1200PMCX

株式会社国際電気セミコンダクターサービス

730kHz・1MHzで3〜1200Wを細かく出せるメガソニック発振器です。

価格
公開価格なし(見積もり)
種類
メガソニック
向いている所
ウェーハ・フォトマスクの最終洗浄

比較表での位置

メガソニック発振器 UO1200PMCXは、超音波発振器のメーカー7社比較の種類「メガソニック」の3製品の1つとして載っています。

  • 7社掲載社数
  • 11製品比較表の製品
  • 3製品同じ種類
  • 1製品公開価格あり
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メガソニック発振器 UO1200PMCX​の強みと方式

3Wから1200Wまで、出力を全域でフィードバック制御するメガソニック発振器です。低い出力でも安定するので、微細な半導体デバイスへのダメージを抑えられます。周波数は730kHzか1MHzの固定で、石英槽を通る超音波の割合が変わりません。

向いている所ウェーハ・フォトマスクの最終洗浄

種類:メガソニック

数百kHzから1MHzほどの高い周波数で鳴らす発振器です。キャビテーションがほとんど出ず、主に加速度で洗うので、ワークを傷めずにサブミクロンの粒を落とせます。半導体ウェーハやフォトマスクの洗浄に使います。

メガソニック発振器 UO1200PMCX​の仕様

種類
メガソニック
発振周波数
730kHz、1MHz
出力
1200W(3〜1200Wで調整)
発振方式
単一周波(固定周波数)
外部制御
遠隔制御あり
対応する振動子
—公式資料で確認できず
電源
単相AC200V〜230V、10A
外形寸法
360×150×480mm
価格
—公式資料で確認できず
質量
14kg以下
特長
消費電力15%低減(当社従来機比)

ミクロソニックは国際電気セミコンダクターサービスの登録商標。FCC適合には別売のノイズフィルター(FB001)を使う。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

メガソニック発振器 UO1200PMCX株式会社国際電気セミコンダクターサービスメガソニック発振器 W-357BM-1200本多電子株式会社メガソニック発振器 クオーバ株式会社カイジョー
種類メガソニックメガソニックメガソニック
発振周波数730kHz、1MHz1MHz26kHz〜950kHz(振動子で選ぶ)、メガソニックは750kHz・950kHz
出力1200W(3〜1200Wで調整)1200W(200W〜1200Wで調整)1200W
発振方式単一周波(固定周波数)単周波発振PLL発振、固定発振、Aモード発振、Bモード発振
外部制御遠隔制御あり外部駆動入力2点、RS485(MODBUS)リモート、8段階出力、RS485、異常出力、アナログ出力
対応する振動子—公式資料で確認できず振動板W-357BM-1200F、槽W-357BM-1200S振動板 7857S型・8857S型・98SL型
電源単相AC200V〜230V、10AAC200V〜240V 単相、2400VAAC200V〜240V 単相、10A
外形寸法360×150×480mm360×360×143mm430×418×148mm
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
質量14kg以下7kg17kg
特長消費電力15%低減(当社従来機比)1W単位で出力を調整できる0.1W単位の出力設定、振動子交換の調整なし

超音波発振器の11製品を比較表で見る

メガソニック発振器 UO1200PMCX​のよくある質問

Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXはどんな人に向いている?
メガソニック発振器 UO1200PMCXは、ウェーハ・フォトマスクの最終洗浄に使う人向けです。メガソニック発振器 UO1200PMCXは、3Wから1200Wまで、出力を全域でフィードバック制御するメガソニック発振器です。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXの強みは?
メガソニック発振器 UO1200PMCXは、低い出力でも安定するので、微細な半導体デバイスへのダメージを抑えられます。周波数は730kHzか1MHzの固定で、石英槽を通る超音波の割合が変わりません。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXはどんな方式?
メガソニック発振器 UO1200PMCXの種類はメガソニックです。数百kHzから1MHzほどの高い周波数で鳴らす発振器です。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXの主な仕様は?
メガソニック発振器 UO1200PMCXの発振周波数は730kHz、1MHz、出力は1200W(3〜1200Wで調整)で⁠す⁠。発振方式は単一周波(固定周波数)、外部制御は遠隔制御ありです。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXとメガソニック発振器 W-357BM-1200はどっちがいい?
ウェーハ・フォトマスクの最終洗浄ならメガソニック発振器 UO1200PMCX、ウェーハ・磁気ヘッドのバッチ洗浄なら本多電子のメガソニック発振器 W-357BM-1200です。メガソニック発振器 UO1200PMCXの発振周波数は730kHz、1MHz、出力は1200W(3〜1200Wで調整)で⁠す⁠。本多電子のメガソニック発振器 W-357BM-1200の発振周波数は1MHz、出力は1200W(200W〜1200Wで調整)で⁠⁠⁠⁠す⁠。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXの質量は?
メガソニック発振器 UO1200PMCXの質量は14kg以下です。本多電子のメガソニック発振器 W-357BM-1200の質量は7kgです。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXの電源は?
メガソニック発振器 UO1200PMCXの電源は単相AC200V〜230V、10Aです。本多電子のメガソニック発振器 W-357BM-1200の電源はAC200V〜240V 単相、2400VAです。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXとメガソニック発振器 クオーバはどっちがいい?
ウェーハ・フォトマスクの最終洗浄ならメガソニック発振器 UO1200PMCX、半導体ウエハ・液晶ガラスの微粒子除去ならカイジョーのメガソニック発振器 クオーバです。メガソニック発振器 UO1200PMCXの発振周波数は730kHz、1MHz、出力は1200W(3〜1200Wで調整)で⁠す⁠。カイジョーのメガソニック発振器 クオーバの発振周波数は26kHz〜950kHz(振動子で選ぶ)、メガソニックは750kHz・950kHz、出力は1200Wです。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXのほかに国際電気セミコンダクターサービスの超音波発振器はある?
あります。国際電気セミコンダクターサービスの超音波発振器には、メガソニック発振器 UO1200PMCXのほかに超音波発振器 UO1200PG(発振周波数は26kHz、36kHz)があります。
Q.メガソニック発振器 UO1200PMCXはどこのメーカー?
メガソニック発振器 UO1200PMCXは株式会社国際電気セミコンダクターサービスの製品です。登記上の本店は〒930-0083 富山県富山市総曲輪4丁目4番3号。半導体製造装置の開発・販売・保守と、超音波応用機器などの電子応用機器の開発・製作・販売を行う会社。

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