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半導体洗浄装置とは？ウェーハを洗う装置の種類（枚葉式・バッチ式・スクラバー・スピン乾燥機）と、ウェーハ径・処理能力・乾燥の選び方

半導体ウェーハの表面からパーティクルや汚れを落とす半導体洗浄装置の4つの種類、枚葉式とバッチ式の違い、毎時の処理枚数、スクラバーを使う工程、乾燥のしかた、SiCウエハへの対応を、メーカーの公式資料をもとにまとめました。

2026年11月2日更新

この記事の答え

半導体洗浄装置は、半導体ウェーハの表面からパーティクルや汚れを薬液と純水で落とす装置です。ウェーハ洗浄装置とも呼びます。洗い方で、1枚ずつ洗う枚葉式・まとめて槽に浸けるバッチ式・ブラシでこするスクラバー・回して乾かすスピン乾燥機に分かれます。選ぶときは「ウェーハの径」「毎時の処理枚数」「どの工程で洗うか」の3つを先に決めます。

半導体洗浄装置とは

半導体洗浄装置は、成膜やエッチング、研磨のあいだにウェーハを洗い、パーティクル・金属・有機物を落とす装置です。洗ったあとに乾かすところまで1台で行う型が多く、乾燥だけを受け持つスピン乾燥機もあります。

比較ページには、日本の会社が自社で作る半導体洗浄装置を、各社の代表の型式の単位で載せています。部品を洗う一般の超音波洗浄機、フォトマスクやFOUPだけの洗浄装置、中古装置は載せていません。

4つの種類

枚葉式：ウェーハを1枚ずつチャンバーで洗います。例はSCREENのSU-3400、東京エレクトロンのCELLESTA-i、芝浦メカトロニクスのSC300-FC、ジェイ・イー・ティのHTS-300、プレテックのスピンソニッククリーナーです
バッチ式（ウェットステーション）：ウェーハをまとめて薬液と純水の槽に浸けて洗います。例はSCREENのFC-3100、東京エレクトロンのEXPEDIUS-i、ジェイ・イー・ティのBW3700、PHTのSCC-250です
スクラバー：回るブラシで表と裏をこすって洗います。例は芝浦メカトロニクスのSC300-CC、ダイキンファインテックのBSP、ナノテックのSiC対応枚葉洗浄装置です
スピン乾燥機：洗ったウェーハを回して乾かします。例はダイキンファインテックのスピンドライヤーと、ジャパンクリエイトのSPDシリーズです