蛍光X線分析装置のメーカー9社比較【2026年】

値段を公式に出しているのは2製品です。日立ハイテクのEA1400が9,500,000円から、アワーズテックのOURSTEX170が定価550万円です。ほかのメーカーは見積もりで、真空ユニットやオートサンプラーなどの構成で値段が変わります。

WDXは分光結晶でX線を波長ごとに分けて測り、元素どうしの重なりを減らせます。EDXは半導体検出器でまとめて測り、小さく速く測れます。表ではリガクのSupermini200とブルカーのS6 JAGUARがWDX、島津製作所のEDX-7200などがEDXです。

多くの機種はNaかMgからUまでです。島津製作所のEDX-7200はNa〜U、リガクのSupermini200はO〜Uです。日立ハイテクのEA1400は大気でAl〜U、真空仕様でNa〜Uと、軽い元素は真空で測ります。

卓上型は試料室に入れて測り、液体や粉体も扱えます。ハンドヘルド型は手に持って当てて測り、Niton XL5 Plusはバッテリー込みで1.3kg、X-MET8000 Expertは1.5kgです。合金の判定を現場で行うならハンドヘルド型、成分の数字を詰めるなら卓上型です。

固体・液体・粉体を測れます。島津製作所のEDX-7200は最大300×275×約100mmの試料室に5kgまでの試料を入れられ、日本電子のJSX-1000Sの試料室は直径300mm×高さ80mmです。試料を壊さずに測れるので、測ったあとの部品もそのまま使えます。

X線を使う装置なので、労働基準監督署への届出が必要な機種があります。アワーズテックはOURSTEX170の導入の前に届出が必要と案内しています。手続きの時間も見込んで導入の日を決めます。

島津製作所のEDX-7200は温度10〜30°Cの部屋に置き、電源はAC100V・15Aのアース付きコンセントを使います。堀場製作所のMESA-50はバッテリーを内蔵し、待機時で最大約6時間動きます。

表の機種はSDD検出器で、液体窒素は使いません。島津製作所のEDX-7200は電子冷却のSDDで、X線管も空冷です。リガクのSupermini200は200WのX線管を空冷で使う波長分散型です。

使えます。日立ハイテクのEA1400はRoHS対応をうたい、日本電子のJSX-1000SもRoHS対応製品として案内しています。数字を出すときは、樹脂や金属の標準試料で検量線をそろえます。

エビデントのVanta Maxは1.2mの落下試験に合格し、防水防塵はIP54です。日立ハイテクのX-MET8000 ExpertとサーモフィッシャーのNiton XL5 PlusもIP54です。測定窓の汚れや傷は、交換できる窓や保護フィルムで守ります。

蛍光X線分析装置は、何の元素がどれだけ入っているかを測ります。めっきの厚さを測る蛍光X線式の膜厚計や、中の形を透かして見るX線検査装置とは使い道が違います。