微小電流計とは？エレクトロメータ・ピコアンメータ・超絶縁計の種類と、測定範囲・電圧発生・価格の選び方

微小電流計とは

微小電流計は、半導体のリーク電流、絶縁材料の抵抗、放射線の計測のように、ふつうのマルチメータでは読めない電流を測る計測器です。流れた電流とかけた電圧から、高い抵抗の値も求められます。

比較ページには、日本の会社が自社の型番で作り、公式の製品ページが今案内している型式を載せています。

3つの種類

• 電圧内蔵型は、本体が測定の電圧を出します。例はエーディーシーの5450と日置電機のSM7120です
• 測定専用型は、電流を測ることに絞り、電圧は外部の電源から与えます。例は日置電機のSM7420で、エーディーシーの5350も仕様表に電圧発生の欄がありません
• 振動容量型は、入力を交流に変えて増幅します。例は川口電機製作所のMMAⅡ-17FとMMAⅡ-17Eです

測れる電流の小ささ

• 日置電機のSM7120とSM7420は、20 pAレンジで分解能0.1 fAです
• エーディーシーの5350は、最小分解能1 fAです
• エーディーシーの5450の測定範囲は、1 fA〜20 mAです
• 川口電機製作所のMMAⅡ-17Eは、10 fAを±0.1%の不確かさで測ります
• 低いレンジほど確度の幅が広がります。SM7120の20 pAレンジは±(⁠2.0% of rdg. +30 dgt.)⁠⁠⁠です

電圧の出し方

• エーディーシーの5450は、±1000 Vを分解能1 mVで出します
• 日置電機のSM7120は、最大2000 Vを出します
• 日置電機のSM7420は、外部電源と組み合わせて使います

検査か評価か

• 量産の検査では測定速度を見ます。日置電機のSM7420は4chで最速6.4 msです
• エーディーシーの5450と5350は、最高1000回/秒でサンプリングします
• 材料の評価では抵抗の範囲を見ます。エーディーシーの5450は3×10^17Ωまで、日置電機のSM7120は2×10^19Ωまで表示します
• 放射線の計測には、川口電機製作所のMMAⅡ-17Eがあります。産業技術総合研究所との共同開発品です

価格

値段を公式に出しているのはエーディーシーで、5350は282,700円（税込）、5450は856,900円（税込）⁠で⁠す⁠。日置電機と川口電機製作所の公式ページに値段は載っていません。

気をつけること

• 日置電機のSM7420は測定用プローブが付属しません。用途に合わせて別に選びます
• SM7120とSM7420の2 mAレンジは、測定速度FAST時だけ選べます
• ケーブルの曲げやねじれは測定値に影響します。測る前に固定します