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半導体・電子部品・絶縁材料の評価で、ピコアンペア以下の電流を測る微小電流計を選ぶ、開発・品質管理・生産技術・購買の担当の方へ

微小電流計のメーカー3社比較【2026年】

微小電流計は、ピコアンペア以下の
小さな電流を測る計測器です。

ABOUT

微小電流計とは

比較表を見る ↓

微小電流計とは、ピコアンペア以下の小さな電流を測る計測器です。
半導体のリーク電流、絶縁材料の抵抗、
放射線の計測で使います。
エレクトロメータ・ピコアンメータ・
超絶縁計とも呼びます。

製品の特長

  • fA(フェムトアンペア)の単位まで測れる(SM7120は分解能0.1 fA、5350は1 fA)
  • 電流のほか抵抗や電荷も測れる(MMAⅡ-17Fは電荷量と静電容量も)
  • 電圧の出し方で型が分かれる(内蔵、外部電源の組み合わせ)

使うメリット

  • ふつうのマルチメータで読めない電流が測れる(半導体のリーク電流など)
  • 高い抵抗の値を電流から求められる(5450は3×10^17Ωまで)
  • 自動機に組み込める(SM7420は4ch・最速6.4 ms)

選ぶときに注意すること

  1. 低いレンジほど確度の幅が広がる。SM7120の20 pAレンジは±(⁠2.0% of rdg. +30 dgt.)
  2. SM7120とSM7420の2 mAレンジは、測定速度FAST時だけ選べる
  3. SM7420は測定用プローブが付属しない。用途に合わせて別に選ぶ
  4. 電圧を出す機種は高い電圧に気をつける。SM7120は最大2000 V
  5. ケーブルの曲げやねじれは測定値に影響する。測る前に固定する

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページによる。振動容量型の仕組みは川口電機製作所の解説による。

LIST

微小電流計の比較表

微小電流計6製品の比較
製品・メーカーコスト製品の強み仕様公式ページ

電圧内蔵型

2製品
株式会社エーディーシーデジタル超高抵抗/微少電流計 5450絶縁材料の抵抗率、片側接地の試料口コミを書く856,900円税込

±1000 Vの電圧を出して、1 fAまでの電流と3×10^17Ωまでの抵抗を測ります。1000 Vのフローティング測定ができるので、片方が接地された試料も測れます。体積抵抗率と表面抵抗率は、アクセサリと組み合わせて測ります。

方式
電圧内蔵型
電流の測定範囲
1 fA〜20 mA
電圧発生
±1000 V、分解能1 mV
測定速度
1000回/⁠⁠⁠秒
インターフェース
GPIB、USB
抵抗の測定範囲
10Ω〜3×10^17Ω
記載なし
最小分解能・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ詳細・仕様
日置電機株式会社超絶縁計 SM7120高電圧をかける絶縁の検査と評価口コミを書く要見積

測定の電圧を最大2000 Vまで出せる超絶縁計です。表示は2×10^19Ωまで、1回の検査は最速6.4 msなので、高電圧の評価も量産の検査も1台で受けられます。外部電源を使うピコアンメータとしても使えます。

方式
電圧内蔵型
電流の測定範囲
2 mAレンジまで
最小分解能
0.1 fA(20 pAレンジ)
電圧発生
最大2000 V
測定速度
最速6.4 ms
インターフェース
USB、RS-232C、GP-IB
抵抗の測定範囲
1×10^3Ω〜2×10^19Ω
チャンネル数
1ch
寸法・質量
330W×80H×450D mm、5.9 kg
公式ページへ詳細・仕様

測定専用型

2製品
株式会社エーディーシーデジタル・エレクトロメータ 5350半導体のリーク電流、PMTの出力電流口コミを書く282,700円税込

電流と高入力インピーダンスの電圧を1台で測るエレクトロメータです。1 fAから20 mAまでを測れるので、半導体のリーク電流から光電子増倍管の出力電流まで同じ機種で追えます。公式の仕様表に電圧発生の欄はありません。

方式
測定専用型
電流の測定範囲
1 fA〜20 mA
最小分解能
1 fA
測定速度
最高1,000回/⁠⁠⁠秒
インターフェース
GPIB、USB、LAN(オプション)
記載なし
電圧発生・抵抗の測定範囲・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ詳細・仕様
日置電機株式会社超絶縁計 SM7420自動機に組み込むMLCCの漏れ電流検査口コミを書く要見積

4chの微少電流を測る専用機で、電圧は外部電源から与えます。最速6.4 msで測り、コンタクトチェックをチャネルごとに設定できるので、MLCCの量産検査ラインに組み込めます。測定用プローブは付属せず、用途に合わせて別に選びます。

方式
測定専用型
電流の測定範囲
2 mAレンジまで
最小分解能
0.1 fA(20 pAレンジ)
電圧発生
外部電源と組み合わせる
測定速度
最速6.4 ms
インターフェース
USB、RS-232C、GP-IB
抵抗の測定範囲
50Ω〜2×10^19Ω
チャンネル数
4ch
寸法・質量
330W×80H×450D mm、6.5 kg
公式ページへ詳細・仕様

振動容量型

2製品
株式会社川口電機製作所ユニバーサルエレクトロメータ MMAⅡ-17E放射線計測の高精度な微小電流測定口コミを書く要見積

産業技術総合研究所と共同開発した放射線計測用の微小電流計です。10 fAを±0.1%の不確かさで測り、放射線の国家標準を決める測定器に採用されています。電荷量の測定にも使えます。

方式
振動容量型
電流の測定範囲
10 fA(不確かさ±0.1%)
記載なし
最小分解能・電圧発生・測定速度・インターフェース・抵抗の測定範囲・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ詳細・仕様
株式会社川口電機製作所ユニバーサルエレクトロメータ MMAⅡ-17F材料の電気的試験(電流・抵抗・電荷)口コミを書く要見積

微小電流のほか、超高抵抗・電荷量・静電容量・直流電位を1台で測る振動容量型のエレクトロメータです。各種材料の電気的試験に使います。公式の製品ページに電圧発生や通信の仕様は載っていません。

方式
振動容量型
電流の測定範囲
10-15〜10-6 A
抵抗の測定範囲
10 8〜10 17 Ω
記載なし
最小分解能・電圧発生・測定速度・インターフェース・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ詳細・仕様

電圧内蔵型2製品

株式会社エーディーシー

デジタル超高抵抗/微少電流計 5450

絶縁材料の抵抗率、片側接地の試料

±1000 Vの電圧を出して、1 fAまでの電流と3×10^17Ωまでの抵抗を測ります。1000 Vのフローティング測定ができるので、片方が接地された試料も測れます。体積抵抗率と表面抵抗率は、アクセサリと組み合わせて測ります。

コスト856,900円税込

方式
電圧内蔵型
電流の測定範囲
1 fA〜20 mA
電圧発生
±1000 V、分解能1 mV
測定速度
1000回/⁠⁠⁠秒
インターフェース
GPIB、USB
抵抗の測定範囲
10Ω〜3×10^17Ω
記載なし
最小分解能・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ
日置電機株式会社

超絶縁計 SM7120

高電圧をかける絶縁の検査と評価

測定の電圧を最大2000 Vまで出せる超絶縁計です。表示は2×10^19Ωまで、1回の検査は最速6.4 msなので、高電圧の評価も量産の検査も1台で受けられます。外部電源を使うピコアンメータとしても使えます。

コスト要見積

方式
電圧内蔵型
電流の測定範囲
2 mAレンジまで
最小分解能
0.1 fA(20 pAレンジ)
電圧発生
最大2000 V
測定速度
最速6.4 ms
インターフェース
USB、RS-232C、GP-IB
抵抗の測定範囲
1×10^3Ω〜2×10^19Ω
チャンネル数
1ch
寸法・質量
330W×80H×450D mm、5.9 kg
公式ページへ

測定専用型2製品

株式会社エーディーシー

デジタル・エレクトロメータ 5350

半導体のリーク電流、PMTの出力電流

電流と高入力インピーダンスの電圧を1台で測るエレクトロメータです。1 fAから20 mAまでを測れるので、半導体のリーク電流から光電子増倍管の出力電流まで同じ機種で追えます。公式の仕様表に電圧発生の欄はありません。

コスト282,700円税込

方式
測定専用型
電流の測定範囲
1 fA〜20 mA
最小分解能
1 fA
測定速度
最高1,000回/⁠⁠⁠秒
インターフェース
GPIB、USB、LAN(オプション)
記載なし
電圧発生・抵抗の測定範囲・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ
日置電機株式会社

超絶縁計 SM7420

自動機に組み込むMLCCの漏れ電流検査

4chの微少電流を測る専用機で、電圧は外部電源から与えます。最速6.4 msで測り、コンタクトチェックをチャネルごとに設定できるので、MLCCの量産検査ラインに組み込めます。測定用プローブは付属せず、用途に合わせて別に選びます。

コスト要見積

方式
測定専用型
電流の測定範囲
2 mAレンジまで
最小分解能
0.1 fA(20 pAレンジ)
電圧発生
外部電源と組み合わせる
測定速度
最速6.4 ms
インターフェース
USB、RS-232C、GP-IB
抵抗の測定範囲
50Ω〜2×10^19Ω
チャンネル数
4ch
寸法・質量
330W×80H×450D mm、6.5 kg
公式ページへ

振動容量型2製品

株式会社川口電機製作所

ユニバーサルエレクトロメータ MMAⅡ-17E

放射線計測の高精度な微小電流測定

産業技術総合研究所と共同開発した放射線計測用の微小電流計です。10 fAを±0.1%の不確かさで測り、放射線の国家標準を決める測定器に採用されています。電荷量の測定にも使えます。

コスト要見積

方式
振動容量型
電流の測定範囲
10 fA(不確かさ±0.1%)
記載なし
最小分解能・電圧発生・測定速度・インターフェース・抵抗の測定範囲・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ
株式会社川口電機製作所

ユニバーサルエレクトロメータ MMAⅡ-17F

材料の電気的試験(電流・抵抗・電荷)

微小電流のほか、超高抵抗・電荷量・静電容量・直流電位を1台で測る振動容量型のエレクトロメータです。各種材料の電気的試験に使います。公式の製品ページに電圧発生や通信の仕様は載っていません。

コスト要見積

方式
振動容量型
電流の測定範囲
10-15〜10-6 A
抵抗の測定範囲
10 8〜10 17 Ω
記載なし
最小分解能・電圧発生・測定速度・インターフェース・チャンネル数・寸法・質量
公式ページへ
Q&A

微小電流計選びで、よくある疑問

購買担当の疑問微小電流計の価格は、いくら?

値段を公式に出しているのはエーディーシーです。5350が282,700円(税込)、5450が856,900円(税込)⁠で⁠す⁠。日置電機と川口電機製作所の公式ページに値段は載っていません。

設備担当の疑問微小電流計の種類と違いは?

3つに分かれます。電圧を内蔵で出す型(5450・SM7120)、電流を測ることに絞った型(5350・SM7420)、振動容量で増幅する型(MMAⅡ-17F・MMAⅡ-17E)⁠で⁠⁠⁠⁠す⁠。

設備担当の疑問エレクトロメータとピコアンメータの違いは?

エーディーシーの5350はエレクトロメータで、電流に加えて高入力インピーダンスの電圧も測ります。日置電機のSM7420は公式が「コンタクトチェックを搭載したピコアンメータ」と書く、微少電流の測定専用機です。

設備担当の疑問超絶縁計と絶縁抵抗計(メガー)の違いは?

超絶縁計は部品や材料の絶縁を、微小電流を読んで調べます。日置電機のSM7120は2×10^19Ωまで表示します。電路や機器の絶縁を現場で確かめるメガーは、絶縁抵抗計の比較に載せています。

設備担当の疑問どこまで小さい電流を測れる?

日置電機のSM7120とSM7420は、20 pAレンジで分解能0.1 fAです。エーディーシーの5350は最小分解能1 fAです。川口電機製作所のMMAⅡ-17Eは、10 fAを±0.1%の不確かさで測ります。

工場長の疑問量産の検査ラインに組み込むなら?

日置電機のSM7420は4chで最速6.4 msです。MLCC漏れ電流検査のラインに組み込むことを想定しています。エーディーシーの5450はハンドラのインターフェースを持ちます。

設備担当の疑問電圧は別に用意する?

5450は±1000 V、SM7120は最大2000 Vを本体から出せます。SM7420は外部電源と組み合わせて使います。5350の仕様表には電圧発生の欄がありません。

設備担当の疑問絶縁材料の体積抵抗率を測るには?

電圧を出せる機種に電極を組み合わせます。エーディーシーの5450は、±1,000 Vの電圧発生でJIS K6911の測定に使えます。公式ページには電極のアクセサリも載っています。

施設管理の疑問ノイズを減らすには?

機器と配線の両方で考えます。日置電機のSM7120はフローティング回路とトライアキシャルの組み合わせでノイズを抑えます。振動容量型は入力を交流に変えて増幅するので、ノイズを小さくできます。

購買担当の疑問放射線の計測に使う微小電流計は?

川口電機製作所のMMAⅡ-17Eは放射線計測のための微小電流計で、産業技術総合研究所との共同開発品です。放射線の国家標準を決める測定器に採用されています。

TYPES

微小電流計の方式の違い

電圧内蔵型

本体が測定の電圧を出し、流れた電流から抵抗まで求める型です。外部の電源を用意せずに絶縁材料や部品の評価を始められます。

向いている使い方

  • 絶縁材料の抵抗率を測る
  • 部品の絶縁を高い電圧で検査する
  • 電源と計器を1台にまとめる

根拠:内蔵する電圧発生器は、±1000 Vで最大10 Wのソース/シンクが可能な電源を新たに開発しました。(出典2)

この方式の2製品を表で見る

測定専用型

電流を測ることに絞り、電圧は外部の電源から与える型です。自動機に組み込むときや、決まった電源が既にある評価で使います。日置電機のSM7420は4chを1台で測ります。

向いている使い方

  • 自動機や検査ラインに組み込む
  • すでにある電源と組み合わせる
  • 半導体のリーク電流を測る

根拠:SM7120の耐ノイズ性能、測定能力をそのままに、微少電流測定専用4CHモデルが新登場です(出典4)

この方式の2製品を表で見る

振動容量型

周期的に静電容量が変わるコンデンサで入力を交流に変えて増幅する型です。ノイズに強く、放射線計測や材料の電気的試験の精密な測定に使います。

向いている使い方

  • 放射線の計測
  • 材料の電気的試験
  • 10 fA前後の精密な測定

根拠:交流信号に変換することで、ノイズを小さくした増幅が可能となります。(出典6)

この方式の2製品を表で見る
MAKERS

微小電流計の主なメーカー3社

株式会社エーディーシー

±1000 Vの電圧を出して、1 fAまでの電流と3×10^17Ωまでの抵抗を測ります。

埼玉県

株式会社川口電機製作所

産業技術総合研究所と共同開発した放射線計測用の微小電流計です。

東京都

日置電機株式会社

測定の電圧を最大2000 Vまで出せる超絶縁計です。

長野県

出典
  1. エーディーシー デジタル・エレクトロメータ 5350
  2. エーディーシー デジタル超高抵抗/微少電流計 5450
  3. 日置電機 超絶縁計 SM7120
  4. 日置電機 超絶縁計 SM7420
  5. 川口電機製作所 高精度振動容量型エレクトロメーター
  6. 川口電機製作所 sakuraProof
  7. 川口電機製作所 会社概要
掲載基準

半導体・電子部品・絶縁材料の評価や放射線の計測で、ピコアンペア以下の電流を測る業務用の微小電流計(エレクトロメータ・ピコアンメータ・超絶縁計)を載せています。日本の会社が自社の型番で作り、公式の製品ページが今案内している型式を、1社2製品までです。電路の絶縁を測るメガーは絶縁抵抗計の比較に、ふつうのマルチメータと電流ロガーはそれぞれの比較に分けました。電流増幅器、電圧だけを測るポータブル電位計(東方技研のEM06)、プローバ、測定ボードは載せていません。ケースレー(テクトロニクス)とキーサイトは、公式サイトが取得を拒み仕様を確かめられなかったため除きました。海外ブランドの輸入販売は載せていません。エーディーシーの5350は、公式の仕様表に電圧発生の欄がないため測定専用型に入れています。

微小電流計を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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