静電気対策品や帯電防止材、導電材料の表面抵抗を測る計測器を選ぶ、品質管理・研究開発・設備・購買の担当の方へ

表面抵抗計のメーカー6社比較【2026年】

表面抵抗計は、材料や静電気対策品の
表面の電気の通しにくさを測る計測器です。

ABOUT

表面抵抗計とは

比較表を見る ↓

表面抵抗計とは、材料や製品の表面の抵抗を測る計測器です。
抵抗率計とも呼びます。おもり電極・2重リング・四探針・渦電流の4つの型があり、測る抵抗の高さで使い分けます。

製品の特長

測る抵抗の高さで型が分かれる（四探針は低抵抗、2重リングは高抵抗）
持ち歩ける型がある（おもり電極型は電池で動く）
規格に沿って測れる（IEC 61340やRCJS、JIS）

使うメリット

静電気対策品の劣化を点検できる（床・マット・作業台・椅子）
材料の導電性を数字で比べられる（表面抵抗率と体積抵抗率）
記録が残せる（SDカードやUSBメモリに保存できる型がある）

選ぶときに注意すること

温度や湿度で値が変わる。F-110は湿度60%を超えると確度の範囲を外れる
表面抵抗と表面抵抗率は別の値。単位を見て比べる
測定範囲は型で違う。四探針のMCP-T710は10の7乗Ωまで
おもり電極は重い。落とさないよう扱い、汚れたらアルコールで軽くふき取る

※仕様と価格は各メーカーの公式の製品ページと取扱説明書による。表面抵抗率の定義と四探針法の仕組みは日東精工アナリテックの解説による。

LIST

表面抵抗計の比較表

表面抵抗計8製品の比較
製品・メーカー	コスト	製品の強み	仕様	公式ページ
おもり電極型（携帯） 3製品
シシド静電気株式会社デジタル表面抵抗測定器 MEG102床・作業表面・椅子の抵抗測定口コミを書く	要見積	オートレンジで、測定レンジを切り替える手間がありません。電極スペーサが付属し、作業表面や床の測定にそのまま使えます。別売プローブをつなぐと、測る物に合わせて使い分けられます。	方式おもり電極型（携帯）測り方電極（2.27kg）2個を置いて測る測定範囲 1.0×10の3乗〜1.0×10の12乗Ω 印加電圧 10V、100V 確度 ±10％（10の11乗Ω以上は±20％）データメモリに100個まで電源単三アルカリ乾電池4本規格 IEC-61340、RCJS、ANSI/ESD S4.1 寸法 100×210×32mm 質量 400g（電池含む、本体のみ）	公式ページへ詳細・仕様
株式会社ベッセル表面抵抗計 SRC-⁠01床やマットの表面抵抗の点検口コミを書く	要見積	測定ボタンを押すだけで使える、電池式の簡素な型です。本体は約340gで、床やマットの点検に持ち歩けます。合否判定やデータ保存の記載はないので、値を読んで記録する運用に合います。	方式おもり電極型（携帯）測り方プローブ2個（約2.3kg）を置いて測る測定範囲 10の3乗〜10の12乗Ω 印加電圧 10V、100V 確度中間のレンジは±10%、両端は±80% 電源 9V電池（006P型）1個規格 IEC61340-4-1、JIS-C2170 寸法 190×101.5×54.7mm 質量本体約340g（電池含む）記載なしデータ	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
ホーザン株式会社表面抵抗計 F-110EPA管理品の合否判定と記録口コミを書く	292,600円税込	測定結果をSDカードに残し、閾値を自由に決めて合否をランプとブザーで知らせます。社内管理値で判定したい作業表面や床の定期点検で手間が減ります。バーコードリーダーをつなぐと、測定対象と結果を結び付けられます。	方式おもり電極型（携帯）測り方電極2個を置いて抵抗を測る測定範囲 9.00×10の2乗〜2.00×10の12乗Ω 印加電圧 10V、100V（固定か自動切替）確度 ±10％、高抵抗側は±20％データ SDカード（最大128GB）電源充電池内蔵（ニッケル水素電池）規格 RCJS、JIS、IEC、ANSI 寸法本体135×68×236mm 質量本体715g、電極2.3kg（1個）	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
2重リング電極型（高抵抗） 2製品
日東精工アナリテック株式会社高抵抗率計ハイレスタ-UX MCP-HT800高抵抗材料の表面・体積抵抗率口コミを書く	要見積	2重リング電極で、高抵抗の材料の表面抵抗率と体積抵抗率を1台で測ります。印加電圧を1〜1000Vの29通りから選び、電圧を変えたときの抵抗値の特性も測れます。帯電防止材料の開発や品質管理に向きます。	方式 2重リング電極型（高抵抗）測り方定電圧印加、漏洩電流測定測定範囲 10の3乗〜10の14乗Ω 印加電圧 1〜1000V（29通り）確度 1〜10Vの10の3乗〜10の9乗Ωは±2% データ USBメモリに2000件電源 AC85〜264V 規格 JIS K6911 寸法 W330×D270×H113mm 質量約2.4kg	公式ページへ詳細・仕様
日置電機株式会社超絶縁計 SM7110絶縁材料の表面抵抗率の評価口コミを書く	要見積	電圧を0.1Vから1000Vまで0.1V単位で設定でき、絶縁材料まで高い抵抗を測れます。別売の電極をつなぐと、表面抵抗率と体積抵抗率の測定に使えます。電極は測る物に合わせて選びます。	方式 2重リング電極型（高抵抗）測り方電圧を加えて電流を測る（別売電極で表面抵抗率）測定範囲 1×10の3乗〜2×10の19乗Ω（抵抗表示範囲）印加電圧 0.1〜1000V 確度電流レンジ確度と電圧設定確度で決まるデータ USB、RS-232C、GP-IB 電源 AC100〜240V 規格 IEC61340-2-3、JIS C2170 寸法 330W×80H×450Dmm 質量 5.9kg	公式ページへ詳細・仕様カタログ（PDF）
四探針型（低抵抗） 2製品
ナプソン株式会社抵抗率・シート抵抗測定器 RT-70Vシリコンや導電性薄膜の1点測定口コミを書く	要見積	測定テスターに測定ステージを組み合わせて使う、4探針法の1点測定器です。シリコンやITOなどの導電性薄膜の抵抗率とシート抵抗を測ります。プローブの上下を自動にするか手動にするかをステージで選べます。	方式四探針型（低抵抗）測り方 4探針法測定範囲シート抵抗5m〜10MΩ/sq、抵抗率1μ〜300kΩ・cm 寸法 W250×D330×H130mm 質量約7kg 記載なし印加電圧・確度・データ・電源・規格	公式ページへ詳細・仕様
日東精工アナリテック株式会社低抵抗率計ロレスタ-GXⅡ MCP-T710導電材料の表面抵抗率と導電率口コミを書く	要見積	4探針プローブを当てるだけで、電極を作らずに低抵抗の材料を測れます。表面抵抗率と体積抵抗率に加え、導電率も測ります。プローブを材料に合わせて替えられます。	方式四探針型（低抵抗）測り方定電流印加、四探針測定範囲 10の-4乗〜10の7乗Ω 確度 10の-2乗レンジは±（1.0%+5dgt）⁠な⁠⁠⁠⁠どデータ USBメモリに2000件電源 AC85〜264V 規格 JIS K7194 寸法 W320×D285×H110mm 質量約2.4kg 記載なし印加電圧	公式ページへ詳細・仕様
渦電流型（非破壊） 1製品
ナプソン株式会社シート抵抗測定器 EC-80P傷を付けたくない試料の測定口コミを書く	要見積	ハンディプローブを当てるだけで、試料を傷めずに抵抗を測ります。測定レンジに合わせてプローブを替え、最大2本を同時につなげます。試料は平らな面が出ているものに限ります。	方式渦電流型（非破壊）測り方渦電流法（非破壊）測定範囲シート抵抗10m〜3kΩ/sq、抵抗率1m〜200Ω・cm 寸法 W255×D275×H95mm 質量 4kg 記載なし印加電圧・確度・データ・電源・規格	公式ページへ詳細・仕様

おもり電極型（携帯）3製品

シシド静電気株式会社

デジタル表面抵抗測定器 MEG102

床・作業表面・椅子の抵抗測定

オートレンジで、測定レンジを切り替える手間がありません。電極スペーサが付属し、作業表面や床の測定にそのまま使えます。別売プローブをつなぐと、測る物に合わせて使い分けられます。

コスト要見積

方式: おもり電極型（携帯）
測り方: 電極（2.27kg）2個を置いて測る
測定範囲: 1.0×10の3乗〜1.0×10の12乗Ω
印加電圧: 10V、100V
確度: ±10％（10の11乗Ω以上は±20％）
データ: メモリに100個まで
電源: 単三アルカリ乾電池4本
規格: IEC-61340、RCJS、ANSI/ESD S4.1
寸法: 100×210×32mm
質量: 400g（電池含む、本体のみ）

床やマットの表面抵抗の点検

測定ボタンを押すだけで使える、電池式の簡素な型です。本体は約340gで、床やマットの点検に持ち歩けます。合否判定やデータ保存の記載はないので、値を読んで記録する運用に合います。

コスト要見積

方式: おもり電極型（携帯）
測り方: プローブ2個（約2.3kg）を置いて測る
測定範囲: 10の3乗〜10の12乗Ω
印加電圧: 10V、100V
確度: 中間のレンジは±10%、両端は±80%
電源: 9V電池（006P型）1個
規格: IEC61340-4-1、JIS-C2170
寸法: 190×101.5×54.7mm
質量: 本体約340g（電池含む）
記載なし: データ

EPA管理品の合否判定と記録

測定結果をSDカードに残し、閾値を自由に決めて合否をランプとブザーで知らせます。社内管理値で判定したい作業表面や床の定期点検で手間が減ります。バーコードリーダーをつなぐと、測定対象と結果を結び付けられます。

コスト292,600円税込

方式: おもり電極型（携帯）
測り方: 電極2個を置いて抵抗を測る
測定範囲: 9.00×10の2乗〜2.00×10の12乗Ω
印加電圧: 10V、100V（固定か自動切替）
確度: ±10％、高抵抗側は±20％
データ: SDカード（最大128GB）
電源: 充電池内蔵（ニッケル水素電池）
規格: RCJS、JIS、IEC、ANSI
寸法: 本体135×68×236mm
質量: 本体715g、電極2.3kg（1個）

公式ページへ

詳細・仕様カタログ（PDF）口コミを書く

2重リング電極型（高抵抗）2製品

日東精工アナリテック株式会社

高抵抗率計ハイレスタ-UX MCP-HT800

高抵抗材料の表面・体積抵抗率

2重リング電極で、高抵抗の材料の表面抵抗率と体積抵抗率を1台で測ります。印加電圧を1〜1000Vの29通りから選び、電圧を変えたときの抵抗値の特性も測れます。帯電防止材料の開発や品質管理に向きます。

コスト要見積

方式: 2重リング電極型（高抵抗）
測り方: 定電圧印加、漏洩電流測定
測定範囲: 10の3乗〜10の14乗Ω
印加電圧: 1〜1000V（29通り）
確度: 1〜10Vの10の3乗〜10の9乗Ωは±2%
データ: USBメモリに2000件
電源: AC85〜264V
規格: JIS K6911
寸法: W330×D270×H113mm
質量: 約2.4kg

絶縁材料の表面抵抗率の評価

電圧を0.1Vから1000Vまで0.1V単位で設定でき、絶縁材料まで高い抵抗を測れます。別売の電極をつなぐと、表面抵抗率と体積抵抗率の測定に使えます。電極は測る物に合わせて選びます。

コスト要見積

方式: 2重リング電極型（高抵抗）
測り方: 電圧を加えて電流を測る（別売電極で表面抵抗率）
測定範囲: 1×10の3乗〜2×10の19乗Ω（抵抗表示範囲）
印加電圧: 0.1〜1000V
確度: 電流レンジ確度と電圧設定確度で決まる
データ: USB、RS-232C、GP-IB
電源: AC100〜240V
規格: IEC61340-2-3、JIS C2170
寸法: 330W×80H×450Dmm
質量: 5.9kg

四探針型（低抵抗）2製品

シリコンや導電性薄膜の1点測定

測定テスターに測定ステージを組み合わせて使う、4探針法の1点測定器です。シリコンやITOなどの導電性薄膜の抵抗率とシート抵抗を測ります。プローブの上下を自動にするか手動にするかをステージで選べます。

コスト要見積

方式: 四探針型（低抵抗）
測り方: 4探針法
測定範囲: シート抵抗5m〜10MΩ/sq、抵抗率1μ〜300kΩ・cm
寸法: W250×D330×H130mm
質量: 約7kg
記載なし: 印加電圧・確度・データ・電源・規格

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日東精工アナリテック株式会社

低抵抗率計ロレスタ-GXⅡ MCP-T710

導電材料の表面抵抗率と導電率

4探針プローブを当てるだけで、電極を作らずに低抵抗の材料を測れます。表面抵抗率と体積抵抗率に加え、導電率も測ります。プローブを材料に合わせて替えられます。

コスト要見積

方式: 四探針型（低抵抗）
測り方: 定電流印加、四探針
測定範囲: 10の-4乗〜10の7乗Ω
確度: 10の-2乗レンジは±（1.0%+5dgt）⁠な⁠⁠⁠⁠ど
データ: USBメモリに2000件
電源: AC85〜264V
規格: JIS K7194
寸法: W320×D285×H110mm
質量: 約2.4kg
記載なし: 印加電圧

渦電流型（非破壊）1製品

傷を付けたくない試料の測定

ハンディプローブを当てるだけで、試料を傷めずに抵抗を測ります。測定レンジに合わせてプローブを替え、最大2本を同時につなげます。試料は平らな面が出ているものに限ります。

コスト要見積

方式: 渦電流型（非破壊）
測り方: 渦電流法（非破壊）
測定範囲: シート抵抗10m〜3kΩ/sq、抵抗率1m〜200Ω・cm
寸法: W255×D275×H95mm
質量: 4kg
記載なし: 印加電圧・確度・データ・電源・規格

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出典：メーカー図鑑 https://makerzukan.jp/c/keisoku/surface-resistance-meter/／各社の公式資料（2026年11月6日確認）

Q&A

表面抵抗計選びで、よくある疑問

購買担当の疑問表面抵抗計の価格は、いくら？

公式に値段を出しているのは、ホーザンのF-110の292,600円（税込）⁠で⁠す⁠。ほかの製品は公式に値段を出していないので、見積で確かめます。

設備担当の疑問表面抵抗計の種類と違いは？

おもり電極型、2重リング型、四探針型、渦電流型の4つです。静電気対策品の点検はおもり電極型、高抵抗の材料は2重リング型、導電材料は四探針型か渦電流型で測ります。

設備担当の疑問表面抵抗と表面抵抗率の違いは？

表面抵抗は2つの電極の間で測った抵抗で、単位はΩです。表面抵抗率は単位面積当たりの抵抗で、単位はΩ/□です。別の値なので、単位を見て比べます。

設備担当の疑問表面抵抗計と絶縁抵抗計（メガー）の違いは？

メガーは電路や機器の絶縁を確かめる計器です。表面抵抗計は材料や静電気対策品の表面を、電極を決めて測ります。日置電機のSM7110は超絶縁計で、別売の電極をつなぐと表面抵抗率を測れます。

工場長の疑問床やマットの点検には、どの型を使う？

おもり電極型を使います。ホーザンのF-110、シシド静電気のMEG102、ベッセルのSRC-01は、10Vと100Vで測ります。合否判定まで任せるならF-110です。

設備担当の疑問測定結果を記録できる型は？

F-110はSDカードに保存します。MEG102は本体のメモリに100個までです。MCP-HT800とMCP-T710は2000件の結果をUSBメモリに出せます。

設備担当の疑問高抵抗の材料はどう測る？

10の6乗Ω以上の材料は、2重リング電極で測ると安定します。MCP-HT800は10の3乗〜10の14乗Ωを測り、印加電圧を1〜1000Vの29通りから選べます。

設備担当の疑問導電性の材料や薄膜はどう測る？

四探針型で測ります。MCP-T710は10の-4乗〜10の7乗Ω、ナプソンのRT-70Vはシート抵抗5m〜10MΩ/sqです。傷を付けたくないなら、渦電流法のEC-80Pを使います。

施設管理の疑問測るときの湿度は？

温度や湿度で値が変わるので、測る条件をそろえます。F-110は湿度60%を超えると確度の範囲から外れます。SRC-01の使用環境は15〜40℃、60%RH以下です。

施設管理の疑問校正や手入れはどうする？

F-110の電極が汚れたら、アルコールなどで軽くふき取ります。ホーザンのF-110には校正証明書付きの型があります。SRC-01は有償で検査成績書と校正証明書を作れます。

TYPES

表面抵抗計の方式の違い

おもり電極型（携帯）

2kg台のおもり電極を測る面に置き、10Vか100Vを加えて抵抗を読む型です。床・マット・作業台・椅子の点検に持ち歩けます。ホーザンのF-110、シシド静電気のMEG102、ベッセルのSRC-01がこの型です。

向いている使い方

床やマットの定期点検
静電気対策品の受け入れ検査
社内管理値での合否判定

根拠：●床やマット、机、イスの表面抵抗測定が簡単におこなえる表面抵抗計。（出典6）

この方式の3製品を表で見る

2重リング電極型（高抵抗）

内側の電極を外側のリングで囲み、高抵抗の材料の表面抵抗率を測る型です。電圧を変えながら測れます。日東精工アナリテックのMCP-HT800と、日置電機のSM7110に電極をつないだ構成がこの型です。

向いている使い方

帯電防止材料の開発
プラスチックやフィルムの品質管理
体積抵抗率も一緒に測る

根拠：当社のプローブは2重リング電極を採用しています。（出典2）

この方式の2製品を表で見る

四探針型（低抵抗）

4本の針を直線に並べて当て、外側に電流を流して内側の電位差を測る型です。電極を作らずに、導電性の材料や薄膜を測れます。プローブは材料に合わせて替えます。

向いている使い方

導電性のフィルムや塗膜の評価
ITOなどの薄膜の評価
シリコンの抵抗率の測定

根拠：四探針法プローブ（四探針電極）を試料に押し当てるだけで測定が可能となり（出典1）

この方式の2製品を表で見る

渦電流型（非破壊）

プローブを試料に当て、渦電流法で抵抗を測る型です。試料を傷めません。EC-80Pのシート抵抗の上限は3kΩ/sqで、低抵抗の材料に使います。

向いている使い方

傷を付けたくない試料
シリコンや金属の薄膜
製品のままで確かめたい

根拠：ハンディプローブを簡易接触させるだけで、抵抗測定が可能（出典12）

この方式の1製品を表で見る

MAKERS

表面抵抗計の主なメーカー6社

シシド静電気株式会社

オートレンジで、測定レンジを切り替える手間がありません。

東京都

デジタル表面抵抗測定器 MEG102

日東精工アナリテック株式会社

2重リング電極で、高抵抗の材料の表面抵抗率と体積抵抗率を1台で測ります。

神奈川県

日置電機株式会社

電圧を0.1Vから1000Vまで0.1V単位で設定でき、絶縁材料まで高い抵抗を測れます。

長野県

超絶縁計 SM7110

株式会社ベッセル

測定ボタンを押すだけで使える、電池式の簡素な型です。

大阪府

表面抵抗計 SRC-⁠01

ホーザン株式会社

測定結果をSDカードに残し、閾値を自由に決めて合否をランプとブザーで知らせます。

大阪府

表面抵抗計 F-110

出典

掲載基準

静電気対策品の管理や、帯電防止材・導電材料の評価に使う業務用の表面抵抗計と抵抗率計を載せています。自社ブランドで公式の製品ページが今案内している型を、1社2製品までです。電路の絶縁を測るメガーは絶縁抵抗計の比較に、帯電の電位を測る静電気測定器と接地抵抗計は載せていません。ウェーハを自動で搬送する測定システムは範囲の外です。Advanced Energy のTrek 152-1は、日本語の公式ページで日本法人を確かめられなかったので除きました。エヌピイエスと共和理研は、公式の製品ページを確かめられなかったので載せていません。

表面抵抗計を作っているメーカーの方へ：掲載・訂正のご依頼（掲載は無料です）

表面抵抗計のメーカー6社比較【2026年】

表面抵抗計とは

製品の特長

使うメリット

選ぶときに注意すること

表面抵抗計の比較表

おもり電極型（携帯）

2重リング電極型（高抵抗）

四探針型（低抵抗）

渦電流型（非破壊）

表面抵抗計選びで、よくある疑問

購買担当の疑問表面抵抗計の価格は、いくら？

設備担当の疑問表面抵抗計の種類と違いは？

設備担当の疑問表面抵抗と表面抵抗率の違いは？

設備担当の疑問表面抵抗計と絶縁抵抗計（メガー）の違いは？

工場長の疑問床やマットの点検には、どの型を使う？

設備担当の疑問測定結果を記録できる型は？

設備担当の疑問高抵抗の材料はどう測る？

設備担当の疑問導電性の材料や薄膜はどう測る？

施設管理の疑問測るときの湿度は？

施設管理の疑問校正や手入れはどうする？

表面抵抗計の方式の違い

おもり電極型（携帯）

2重リング電極型（高抵抗）

四探針型（低抵抗）

渦電流型（非破壊）

表面抵抗計の主なメーカー6社

シシド静電気株式会社

ナプソン株式会社

日東精工アナリテック株式会社

日置電機株式会社

株式会社ベッセル

ホーザン株式会社

引用