表面抵抗計とは？静電気対策品や導電材料を測る表面抵抗計の種類（おもり電極・2重リング・四探針・渦電流）と、測定範囲・印加電圧・価格の選び方

表面抵抗計とは

表面抵抗計は、床やマットなどの静電気対策品の点検と、帯電防止材や導電材料の評価に使う計測器です。

比較ページには、自社ブランドの表面抵抗計と抵抗率計を、各社の代表の型の単位で載せています。電路の絶縁を測るメガーと、帯電の電位を測る静電気測定器は載せていません。

4つの種類

• おもり電極型：2kg台の電極を置いて測ります。例はホーザンのF-110、シシド静電気のMEG102、ベッセルのSRC-01です
• 2重リング電極型：高抵抗の材料の表面抵抗率と体積抵抗率を測ります。例は日東精工アナリテックのMCP-HT800です。日置電機のSM7110も、別売の電極をつなぐと測れます
• 四探針型：4本の針を当てて低抵抗の材料を測ります。例は日東精工アナリテックのMCP-T710、ナプソンのRT-70Vです
• 渦電流型：試料を傷めずにシート抵抗を測ります。例はナプソンのEC-80Pです

表面抵抗と表面抵抗率の違い

• 表面抵抗は、2つの電極の間で測った抵抗です。単位はΩです
• 表面抵抗率は、単位面積当たりの抵抗です。単位はΩ/□⁠⁠⁠です
• 別の値なので、単位を見て比べます

測定範囲と印加電圧

• おもり電極型のF-110は、測定範囲が9.00×10の2乗〜2.00×10の12乗Ωで、10Vと100Vを切り替えます
• 2重リング型のMCP-HT800は、10の3乗〜10の14乗Ωを測り、電圧を1〜1000Vの29通りから選べます
• 四探針型のMCP-T710は、10の-4乗〜10の7乗Ωを測ります
• 渦電流型のEC-80Pは、シート抵抗10m〜3kΩ/sqを測ります
• 10の6乗Ω以上の材料は、2重リングで測ると安定します

データの残し方

• F-110は、SDカードに保存します。閾値を決めて合否判定もできます
• MEG102は、本体のメモリに100個まで残せます
• MCP-HT800とMCP-T710は、2000件の結果をUSBメモリに出せます

測るときの注意

• 温度や湿度で値が変わります。F-110は湿度60%を超えると確度の範囲を外れます
• SRC-01の使用環境は、15〜40℃、60%RH以下です
• おもり電極は重いので、落とさないように扱います。汚れたらアルコールなどで軽くふき取ります