自動ステージとは？種類と選び方（ステッピング・Z軸・回転・リニアモータ）

自動ステージとは

自動ステージは、光学部品・センサ・カメラ・ワークを載せて、モータで動かして位置や角度を決める台です。手で動かす精密ステージと違い、プログラムで同じ動きを繰り返せるので、検査や測定の自動化に使います。

比較ページには、メーカーが自社で作る1軸の自動ステージを、各社の代表の型式の単位で載せています。水平2軸はXYステージ、3軸はXYZステージ、ピエゾで動かす型はピエゾステージの比較で扱います。

4つの種類

• ステッピング（水平の1軸）：パルスの数で送ります。例は神津精機の XA10A-R102、駿河精機の KXL06075、PI の L-509.20SD00 ⁠⁠です。
• Z軸：上下に動かします。例は中央精機の ALZ-510-H1P、コムスの PK70C-20Z ⁠⁠です。
• 回転：角度を変えます。例は中央精機の ARS-136-HP、神津精機の RA10A-W01、駿河精機の KRE04360 ⁠⁠⁠です。
• サーボ・リニアモータ：位置を読みながら動かします。例はコムスの SAFA-50XTI、ソーラボの MT1/M-Z9、IKO の LT100CEG、テクノハンズの XL50-001 ⁠⁠です。

分解能と繰返し精度

分解能は1回の指令で動く小ささで、繰返し精度は同じ位置へ戻るときのばらつきです。別の数字なので、両方を確かめます。

• 神津精機の XA10A-R102 は、分解能が0.5μm、繰返し位置決め精度が±0.3μm以下です。
• 駿河精機の KXL06075 は、分解能が2μm、繰返し位置決め精度が±0.5μm以内です。
• 中央精機の ALZ-510-H1P は、分解能が0.002mm、繰り返し精度が±0.0007mmです。
• 回転の型では、中央精機の ARS-136-HP は、繰り返し精度が±0.003°⁠⁠⁠です。

駆動の選び方

細かく送るならステッピング、速さや長い移動量が要るならサーボかリニアモータで選びます。

• コムスの PK70C-20Z は、ステッピングモータで最大速度が10mm/sです。
• コムスの SAFA-50XTI は、ACサーボモータで最大速度が500mm/sです。
• IKO の LT100CEG は、リニアモータで有効ストロークが最大1,000mmです。
• テクノハンズの XL50-001 は、リニアモータで高さが26mmです。

耐荷重と値段

載せる物の重さに治具の分も足して、耐荷重を確かめます。値段を公式に出している型は次のとおりです。

• 駿河精機の KRE04360 は、99,000円で耐荷重が29.4Nです。
• 神津精機の XA10A-R102 は、187,000円で耐荷重が196Nです。
• 中央精機の ALZ-510-H1P は、500,000円で耐荷重が98Nです。
• コムスの SAFA-50XTI は、670,000円（税抜）で耐荷重が50kgです。

コントローラ・ドライバ・ケーブルは別に用意する型が多いので、見積もりのときにまとめて確かめます。