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電流導入端子のメーカー3社比較【2026年】

電流導入端子は、真空容器や密閉容器の壁に付けて、
中の気密を保ったまま電気を通す端子です。

ABOUT

電流導入端子とは

電流導入端子とは、真空容器や密閉容器の壁に付けて、
中の気密を保ったまま電気を通す端子です。
フィードスルー・気密端子・ハーメチックシールとも呼びます。
セラミック封止・ガラス封止・水冷式に分かれます。

製品の特長

  • 絶縁体と金属を気密に接合している(セラミックのろう付け・ガラスの封着)
  • フランジに溶接した型がある(ICF・NW/KF・JIS-VF・JIS-VG)
  • 電極の本数を選べる(1本から多ピンまで)

使うメリット

  • 容器の気密を保ったまま電力や信号を入れられる(リーク量1×10-10Pa・m³/s台の品もある)
  • 高い電圧を入れられる(3kV・5kV・8kVなど)
  • 水冷式なら大電流でも電極が熱くなりにくい(3kV・200Aの品もある)

選ぶときに注意すること

  1. 耐電圧と電流は1本あたりの値。本数を増やしても1本に流せる電流は変わらない
  2. ICFのフランジは相手のポートと呼び径を合わせる
  3. ガラスやセラミックは割れるので、電極に横から力をかけない
  4. 通販の価格はログインしないと見えない社がある

※仕様は各メーカーの公式の製品ページとカタログによる。封止の違いはカワソーテクセル・フジ電科・コスモ・テックの公式資料による。

LIST

電流導入端子の比較表

電流導入端子の価格・相場公開価格なし

相場価格
各社 要見積公開価格がありません
電流導入端子6製品の比較
製品・メーカー製品の特徴製品の強み価格

セラミック封止

2製品
カワソーテクセル株式会社電流導入端子 PF-SM6-3kV-10A-I70-2向いている所:ICF70のポートへ2本の電極を通す製品の詳細を見るメーカー公式サイトkawaso-texcel.co.jp—公式資料で確認できず

セラミックと金属をろう付けした端子を、ICF70フランジに2本溶接した標準品です。耐電圧3kV・電流10Aで、真空側の電極を伸ばしたLタイプもあります。フランジの付かない単体の型もそろえています。

要見積
コスモ・テック株式会社高電圧フィードスルー 5kV-22A コンパクトタイプ向いている所:小さいフランジで高電圧を入れる製品の詳細を見るメーカー公式サイトcosmotec-co.jp—公式資料で確認できず

小さいフランジに付けられる、耐電圧5kV・電流22Aのフィードスルーです。多ピン端子より高い電圧を入れられ、電極は1・2・4本から選べます。フランジはNW/KF・ICF・JIS-VF・JIS-VGをそろえ、配置や本数を変える特注も受けます。

要見積

ガラス封止のコネクタ

2製品
株式会社フジ電科D-subハーメチックコネクタ向いている所:D-subの多芯の信号を容器の外へ出す製品の詳細を見るメーカー公式サイトfuji-denka.co.jp—公式資料で確認できず

ガラスと金属を封着した、D-sub形のハーメチックコネクタです。基本の仕様は気密性1×10-9Pa・m³/s以下・絶縁抵抗500MΩ以上で、耐電圧はDC500Vから注文の仕様で作ります。1個から作るので、試作の装置にも付けられます。

要見積
株式会社フジ電科丸型・MSハーメチックコネクタ向いている所:MIL規格の丸型プラグとつなぐ製品の詳細を見るメーカー公式サイトfuji-denka.co.jp—公式資料で確認できず

MIL-DTL-5015に準拠した丸型のハーメチックコネクタで、ガラスと金属を封着しています。気密性1×10-9Pa・m³/s以下・絶縁抵抗500MΩ以上が基本の仕様です。耐電圧や形は注文の仕様で作り、製品1個から受けます。

要見積

水冷式

2製品
カワソーテクセル株式会社水冷式導入端子 3kV-200A向いている所:成膜ヒーターの近くで大電流を通す製品の詳細を見るメーカー公式サイトkawaso-texcel.co.jp—公式資料で確認できず

中心の電極に水を通して冷やす導入端子です。耐電圧3kV・許容電流200Aで、有機ELやLEDの成膜ヒーターの熱で電極が熱くなるのを抑えます。電極の長さは注文に合わせて変えられ、冷却継手は市販品から選びます。

要見積
コスモ・テック株式会社水冷端子 5kV・8kV向いている所:電極を冷やしながら電力を入れる製品の詳細を見るメーカー公式サイトcosmotec-co.jp—公式資料で確認できず

電極が中空になっていて、冷やしながら電力を入れられるフィードスルーです。耐電圧は5kVと8kV、電極は1〜4本で、中が空洞なので高周波の用途にも使われます。NW/KF・ICF・JIS-VF・JIS-VGのフランジに付けた型が規格品です。

要見積
Q&A

電流導入端子選びで、よくある疑問

購買担当の疑問電流導入端子の価格は、いくら?

今回の3社は、どこも値段を公式に出していません。コスモ・テックは真空部品の通販サイトで売っていますが、価格と在庫は会員登録してログインすると見られます。カワソーテクセルとフジ電科は、公式サイトに値段を載せていません。

設備担当の疑問電流導入端子の種類は?

封止のしかたで、セラミックと金属をろう付けするセラミック封止と、ガラスと金属を封着するガラス封止に分かれます。電極を水で冷やす水冷式もあります。表ではPF-SM6-3kV-10A-I70-2がセラミック封止、フジ電科のD-subハーメチックコネクタがガラス封止です。

設備担当の疑問フィードスルーと電流導入端子と気密端子の違いは?

どれも、容器の壁を越えて電気を通す同じ部品の呼び方です。カワソーテクセルは電流導入端子を気密端子・密封端子・フィードスルーとも呼んでいます。水やガスを通すものは水冷・ガス導入機と呼び分けます。

設備担当の疑問セラミック封止とガラス封止の違いは?

セラミック封止はアルミナセラミックと金属をろう付けし、3kVや5kVの高い電圧を入れる端子に使います。ガラス封止はガラスと金属を封着し、D-subやMSのコネクタの形にして多芯の信号を出すのに向きます。

工場長の疑問耐電圧と電流はどれくらいまである?

カワソーテクセルの標準電流導入端子は、1kVから30kVまでの型番があります。コスモ・テックの高電圧フィードスルーは5kV・22Aです。水冷式では、カワソーテクセルの品が3kV・200Aです。

設備担当の疑問電流導入端子のリーク量は?

カワソーテクセルの水冷式導入端子は、気密特性1×10-10Pa・m³/sです。フジ電科のハーメチックシールの基本仕様は、気密性1×10-9Pa・m³/s以下です。

施設管理の疑問何℃まで使える?

コスモ・テックの高電圧フィードスルーと水冷端子は、最高温度450℃です。ほかの社は、今回の品番では使える温度を公式に書いていません。

設備担当の疑問水冷式の電流導入端子はどんなときに使う?

熱源の近くで大きな電流を流すときです。カワソーテクセルの水冷式導入端子は、有機ELやLEDの成膜ヒーターの熱で電極が熱くなるのを抑えます。コスモ・テックの水冷端子は中が空洞なので、高周波の用途にも使われます。

設備担当の疑問ICFやNW/KFのフランジ付きはある?

あります。カワソーテクセルはICFフランジを溶接した端子を標準品にしていて、PF-SM6-3kV-10A-I70-2はICF70に2本付いています。コスモ・テックはNW/KF・ICF・JIS-VF・JIS-VGのフランジ付きをそろえています。

購買担当の疑問1個だけ、または特注で作れる?

フジ電科は製品1個から受け、注文の仕様で作ります。コスモ・テックは端子の配置や本数、フランジの規格を変える特注を受けます。カワソーテクセルも標準品のほかにカスタムオーダー品を作ります。

TYPES

電流導入端子の方式の違い

セラミック封止

アルミナセラミックの絶縁体と金属をろう付けして気密を保つ端子です。高い電圧や大きな電流を入れられ、ICFやNW/KFのフランジに溶接した型がそろっています。超高真空の装置やベーキングをかける装置に使います。

向いている使い方

  • 超高真空の装置
  • 高電圧・大電流を入れる
  • スパッタ・蒸着の電源

根拠:当社では標準電流導入端子にICFフランジを溶接した製品を標準品としてラインナップしております。(出典1)

この方式の2製品を表で見る

ガラス封止のコネクタ

ガラスと金属を封着して、D-subやMSのコネクタの形にしたハーメチックシールです。多芯の信号や電力を、プラグを差すだけで容器の外へ出せます。測定器やセンサーの配線を真空容器や密閉容器から出すときに使います。

向いている使い方

  • 多芯の信号を出す
  • 密閉容器のセンサー配線
  • 市販のプラグとつなぐ

根拠:ハーメチックシールは、真空容器密閉容器など外部と遮断された構造体に電力供給や信号の入力を行うために用いられます。(出典5)

この方式の2製品を表で見る

水冷式

中空の電極に水を通し、電極を冷やしながら電力を入れる端子です。熱源の近くで大電流を流しても、電極が熱くなるのを抑えます。成膜装置のヒーターや高周波の電源に使います。

向いている使い方

  • 成膜ヒーターの電源
  • 大電流を長く流す
  • 高周波の電源

根拠:中心導体を水冷式にすることで、ヒーターからの熱影響を緩和でき、発熱を抑えることが可能な導入端子(フィードスルー)です。(出典2)

この方式の2製品を表で見る
MAKERS

電流導入端子の主なメーカー3社

カワソーテクセル株式会社

特徴
陶磁器製造を原点とするセラミックスと金属の気密接合のメーカーで、大阪市西区に本社を置き、広島県呉市などに工場があります。 水冷ヒートシンクをろう付で作っています。
強み
  • 融解チタン法のメタライズ
  • 電線ヒューズを鉛フリーに

大阪府

コスモ・テック株式会社

特徴
1992年設立。 東京都中央区に本社を置き、真空コンポーネントを設計・製造し販売する会社です。
強み
  • 17時までの注文を当日出荷
  • BeCu製でベーキング300℃

東京都

株式会社フジ電科

特徴
1961年設立。 神奈川県川崎市に本社を置き、福島県と群馬県の工場で、ガラスと金属を封着したハーメチックシールを作る会社です。

神奈川県

出典
  1. カワソーテクセル 電流導入端子シリーズ
  2. カワソーテクセル 水冷式導入端子
  3. コスモ・テック 高電圧フィードスルー 5kV-22A
  4. コスモ・テック 水冷端子
  5. フジ電科 ハーメチックシールの概要
  6. フジ電科 製品紹介
掲載基準

真空装置・成膜装置・密閉容器の壁に付けて電気を通す電流導入端子(フィードスルー・ハーメチックシール・気密端子)で、日本の会社が自社で作るか自社の製品として売り、公式サイトやカタログで今の仕様を確かめられるものを載せています。品番が多い部材なので、1社1〜2の品番に絞りました。真空フランジは vacuum-flange、真空容器は vacuum-chamber、盤や機器の配線用の端子は connector-terminal の比較に分け、回転・直進の導入機、水やガスだけを通す導入機、熱電対・同軸・光ファイバー用の導入端子、電子部品用のパッケージやステムは除いています。海外メーカーの品を輸入して売るテクサムとPAVE社製のコネクタ、日本語の公式ページで日本法人を確かめられなかったINFICONは載せていません。フジ電科の仕様は、公式サイトにあるハーメチックシール製品の基本仕様です。値段は、コスモ・テックの通販が会員のログインでしか出さず、ほかの社も公開していないため載せていません。

電流導入端子を作っているメーカーの方へ:掲載・訂正のご依頼(掲載は無料です)

CITE

引用

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