半導体用四塩化チタン TiCl4

値段を公式に出していないため、見積もりを取る必要があります。成膜装置向けの材料で、純度と容器、量で値段が変わります。使う装置と工程（電極・バリアメタル・TiNコーティング）、月に使う量、届け先を伝えると早く返ってきます。

純度は公式の製品ページに記載がありません。トリケミカル研究所は、合成・精製の技術で超高純度なSi半導体材料を出す会社です。成膜に効く金属不純物の上限を伝え、分析値と規格書を取り寄せて確かめてください。

Si半導体の電極用・バリアメタル用のTi化合物として出しています。コーティング用材料のページでは、TiNコーティング用にも挙げています。成膜の条件を伝えて、四塩化チタンとTDMAT・TDEATのどれが合うかを相談してください。

トリケミカル研究所は、バリアメタル用のTi化合物としてTiCl4・TDMAT・TDEATを並べています。どれを使うかは、成膜の温度や膜に残してよい元素で決まります。工程の条件を伝えて、デモ成膜などのサービスで確かめてから選んでください。

容器と量は、公式の製品ページに記載がありません。成膜装置につなぐ容器の形や、使う量で決まります。装置の型と接続の条件を伝えて、容器を問い合わせてください。

激しく反応し、多量の熱と塩化水素を出します。東邦チタニウムは、四塩化チタンは水との反応性が強く、多量の発熱を伴って加水分解するとしています。水系で使うなら原液を自分で薄めず、希釈済みの四塩化チタン水溶液を選んでください。

湿気を断ち、容器を密閉して施錠できる換気の良い所にしまいます。モデルSDSは、四塩化チタンが吸湿性のため、涼しく乾燥した所で保管するよう求めています。水分と反応してできた塩酸で容器や配管が傷むので、移し替える容器は乾かしてから使ってください。

皮膚と目を強く傷め、蒸気の吸入は命にかかわります。厚生労働省のモデルSDSでは、四塩化チタンは皮膚腐食性と眼の重篤な損傷が区分1、蒸気の吸入の急性毒性も区分1です。保護手袋・ゴーグル・局所排気をそろえ、施錠できる所にしまってください。

使う所が違います。東邦チタニウムや大阪チタニウムテクノロジーズの工業品は、金属チタンや酸化チタンの原料、重合触媒にドラムやコンテナで使います。トリケミカル研究所の品は、Si半導体の電極・バリアメタルやTiNコーティングの成膜用です。成膜に使うなら、半導体材料として扱う会社に相談してください。

航空便では送れません。モデルSDSでは、四塩化チタンは航空法で輸送禁止です。陸送か船便の日数を見込んで発注し、試験や生産の日が決まっているなら、届く日を先に確かめてから注文してください。