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ガラス石英ガラス

合成石英ガラス ES

東ソー・エスジーエム株式会社

合成原料から作る高純度の石英ガラス素材です。

価格
公開価格なし(見積もり)
主な仕様
材質合成石英ガラス
材質・用途
石英ガラス
向いている所
高純度の光学部材・マスク素材
カタログ
あり(PDF)

比較表での位置

合成石英ガラス ESは、ガラスのメーカー8社比較⁠の材質・用途「石英ガラス」の8製品の1つとして載っています。

  • 8社掲載社数
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  • 8製品同じ材質・⁠⁠⁠⁠⁠⁠用途
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合成石英ガラス ES​の強みと方式

合成原料から作る高純度の石英ガラス素材です。ESの純度は99.99%以上で、紫外・赤外用の窓や半導体製造用マスクの素材を扱っています。

向いている所高純度の光学部材・マスク素材

材質・用途:石英ガラス

紫外・赤外の光学部材や高温工程に使う素材です。合成石英でも、OH基含有量やレーザー耐性、脈理の条件が異なります。

合成石英ガラス ES​の仕様

材質・用途
石英ガラス
材質
合成石英ガラス
供給形状
光学部材・マスク用素材
厚さ
—公式資料で確認できず
寸法
—公式資料で確認できず
透過率・条件
—公式資料で確認できず
使用温度・熱特性
軟化点1,720℃、使用温度は記載なし
屈折率・分散
—公式資料で確認できず
価格
—公式資料で確認できず
熱膨張係数
—公式資料で確認できず
OH基含有量
600〜1,300ppm
用途・特長
純度99.99%以上

素材製造は東ソー・エスジーエム、加工品の製造販売は東ソー・クォーツです。一般管・棒のサイズを各グレードに流用せず、形状と寸法を照会します。

同じ種類の他社製品との違い

製品の特徴ごとの分類

合成石英ガラス ES東ソー・エスジーエム株式会社合成石英ガラス AQAGC株式会社合成石英ガラス AQ2AGC株式会社
材質・用途石英ガラス石英ガラス石英ガラス
材質合成石英ガラス合成石英ガラス合成石英ガラス
供給形状光学部材・マスク用素材基板・光学部材基板・光学部材
厚さ—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
寸法—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
透過率・条件—公式資料で確認できず90.9%(200nm、厚み10mm、表面反射込み)—公式資料で確認できず
使用温度・熱特性軟化点1,720℃、使用温度は記載なし軟化点1,600℃、使用温度は記載なし軟化点1,600℃、使用温度は記載なし
屈折率・分散—公式資料で確認できずnD 1.46(シリーズ参考値)nD 1.46(シリーズ参考値)
価格—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
熱膨張係数—公式資料で確認できず0.6ppm/K(50〜200℃、参考値)0.6ppm/K(50〜200℃、参考値)
OH基含有量600〜1,300ppm—公式資料で確認できず—公式資料で確認できず
用途・特長純度99.99%以上窓材・ガラスウエハ・フォトマスク基板Xeエキシマランプ172nm用

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合成石英ガラス ES​のよくある質問

Q.合成石英ガラス ESはどんな人に向いている?
合成石英ガラス ESは、高純度の光学部材・マスク素材に使う人向けです。合成石英ガラス ESは、合成原料から作る高純度の石英ガラス素材です。ESの純度は99.99%以上で、紫外・赤外用の窓や半導体製造用マスクの素材を扱っています。
Q.合成石英ガラス ESはどんな方式?
合成石英ガラス ESの材質・用途は石英ガラスです。紫外・赤外の光学部材や高温工程に使う素材です。
Q.合成石英ガラス ESの主な仕様は?
合成石英ガラス ESの材質は合成石英ガラス、供給形状は光学部材・マスク用素材です。OH基含有量は600〜1,300ppm、用途・特長は純度99.99%以上です。
Q.合成石英ガラス ESと合成石英ガラス AQはどっちがいい?
高純度の光学部材・マスク素材なら合成石英ガラス ES、深紫外の窓・マスク基板ならAGCの合成石英ガラス AQです。合成石英ガラス ESの材質は合成石英ガラス、供給形状は光学部材・マスク用素材です。AGCの合成石英ガラス AQの材質は合成石英ガラス、供給形状は基板・光学部材です。
Q.合成石英ガラス ESと合成石英ガラス AQ2はどっちがいい?
高純度の光学部材・マスク素材なら合成石英ガラス ES、エキシマランプ用の光学部材ならAGCの合成石英ガラス AQ2です。合成石英ガラス ESの材質は合成石英ガラス、供給形状は光学部材・マスク用素材です。AGCの合成石英ガラス AQ2の材質は合成石英ガラス、供給形状は基板・光学部材です。
Q.合成石英ガラス ESのほかに東ソー・エスジーエムのガラスはある?
あります。東ソー・エスジーエムのガラスには、合成石英ガラス ESのほかに合成石英ガラス ED-C(材質は合成石英ガラス)があります。
Q.合成石英ガラス ESはどこのメーカー?
合成石英ガラス ESは東ソー・エスジーエム株式会社の製品です。登記上の本店は〒746-0006 山口県周南市開成町4555番地。東ソーグループで石英ガラス素材を製造しています。

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