オゾン発生機 SGRP-03JS住友精密工業株式会社

仕様

向いている所：半導体工程の複数ライン供給に

発生方式

無声放電・板型放電

発生方式

板型放電方式

オゾン発生量

—公式資料で確認できず

オゾンガス濃度

350g/m³(N)

原料ガス

—公式資料で確認できず

消費電力

—公式資料で確認できず

電源・電源容量

AC200V、3相

冷却

水冷、冷却水20℃±2℃

価格

—公式資料で確認できず

ガス流量

15L/min、5L/min×3ライン

ガス圧力

—公式資料で確認できず

外形寸法

幅570×奥行850×高さ1,870mm

質量

360kg

制御

濃度計内蔵、フィードバック制御

特長・資料の相違

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

公式に示された装置例の仕様です。個別設計の条件はメーカーと確かめます。

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