SAW用LNウエハー 6インチ

公式の製品ページに価格は載っていないので、見積もりを取る必要があります。問い合わせ先は住友金属鉱山の機能性材料事業本部 結晶材料事業部 営業グループです。口径（6インチ）⁠・厚さ（500μm）⁠・カット方位（128°回転Y軸）⁠・枚数を伝えると、話が早く進みます。

直径は150.0mm±0.2mm、厚さは500μm±20μmです。同じ住友金属鉱山の4インチは厚さ350μmなので、6インチは厚いウエハーになります。工程の治具と搬送が厚さ500μmに合うかを先に確かめます。

128°回転Y軸です。住友金属鉱山のLNの表では、4インチと同じカット方位です。同じページのLTは36〜50°回転Y軸なので、取り違えないよう材料名とカット方位をそろえて伝えます。カット方位を変えたいときは、設計の値を伝えて作れるかを問い合わせます。

同じです。NTVは4インチ・6インチとも4μm以下、PLNTV（0.5μm以下・5mm角のサイト）も100%です。反りも50μm以下で、口径を大きくしても平坦度の値は変わりません。6インチへ移るときも、平坦度の条件は今の4インチと同じ値で考えられます。

反りは50μm以下です。同じページのLTの6インチは75μm以下と50μm以下の2つがありますが、LNの6インチは50μm以下です。反りの条件が厳しい工程なら、必要な値を伝えて確かめます。NTVは4μm以下で、平坦度と反りの両方を表で確かめられます。

表面はポリッシュ、裏面はラップ仕上げ（GC#2000）⁠で⁠す⁠。表面に電極のパターンを作るSAWデバイス用の仕上げです。裏面の仕上げを替えたいときは、問い合わせで条件を伝えて相談します。表面のポリッシュは4インチ・6インチとも同じで、LTの4インチは裏面がGC#1000です。

厚さが変わることです。住友金属鉱山のLNは、4インチが350μm、6インチが500μmです。カット方位（128°回転Y軸）と平坦度（NTV4μm以下）は同じなので、厚さに合わせて工程の条件と治具を見直します。

デバイスの設計で決まります。住友金属鉱山は同じページでLNとLTの6インチを出していて、LNは厚さ500μm、LTは200μmと350μmです。設計にある材料・カット方位・厚さで指定して見積もりを取ります。

CZ（チョクラルスキー）法で育てた単結晶です。住友金属鉱山は、安定した単結晶育成技術に加えて、加工精度の向上に力を入れていると案内しています。育成と加工の条件の相談は、結晶材料事業部の営業グループにします。

住友金属鉱山の機能性材料事業本部 結晶材料事業部 営業グループに問い合わせます。伝えるのは、材料（LN）⁠・口径（6インチ）⁠・厚さ・カット方位・表裏の仕上げ・枚数です。平坦度や反りに条件があれば、その値も一緒に伝えると、確認のやり取りが減ります。