SAW用LNウエハー 4インチ

公式の製品ページに価格は載っていないので、見積もりを取る必要があります。問い合わせ先は住友金属鉱山の機能性材料事業本部 結晶材料事業部 営業グループです。口径（4インチ）⁠・厚さ（350μm）⁠・カット方位（128°回転Y軸）⁠・枚数を伝えると、話が早く進みます。

直径は100.0mm±0.2mm、厚さは350μm±20μmです。同じ住友金属鉱山の6インチは厚さ500μmなので、口径を替えると厚さも変わります。工程の治具が4インチ・350μmに合うかを先に確かめます。

128°回転Y軸です。住友金属鉱山のLNの表では、4インチ・6インチとも同じカット方位です。同じページのLTは36〜50°回転Y軸なので、取り違えないよう材料名とカット方位をそろえて伝えます。カット方位を変えたいときは、設計の値を伝えて作れるかを問い合わせます。

NTVは4μm以下です。PLNTV（0.5μm以下・5mm角のサイト）は100%で、ウエハーのどの区画でも平坦度をそろえています。露光の工程で平坦度の条件があるなら、この値と照らし合わせて選びます。平坦度の値は、4インチ・6インチとも同じです。

反りは50μm以下です。4インチのLNの表の値で、NTV4μm以下と一緒に出しています。反りの条件が厳しい工程なら、問い合わせのときに必要な値を伝えて、出せるかを確かめます。同じページのLTの6インチには、反り75μm以下の品もあります。

表面はポリッシュ、裏面はラップ仕上げ（GC#2000）⁠で⁠す⁠。表面に電極のパターンを作るSAWデバイス用の仕上げです。裏面の仕上げを替えたいときは、問い合わせで条件を伝えて相談します。表面のポリッシュは4インチ・6インチとも同じで、LTの4インチは裏面がGC#1000です。

今のラインの口径に合わせて選びます。4インチは直径100.0mm・厚さ350μm、6インチは直径150.0mm・厚さ500μmで、NTV4μm以下と反り50μm以下は同じです。新しくラインを組むなら、使う装置の口径と厚さの条件を先に決めます。

デバイスの設計で決まります。住友金属鉱山は同じページでLNとLTの両方を出していて、LNは128°回転Y軸、LTは36〜50°回転Y軸です。設計にある材料とカット方位で指定し、両方を比べたいときは同じ口径で見積もりを取ります。

CZ（チョクラルスキー）法で育てた単結晶です。住友金属鉱山は、安定した単結晶育成技術に加えて、加工精度の向上に力を入れていると案内しています。育成と加工の条件の相談は、結晶材料事業部の営業グループにします。

住友金属鉱山の機能性材料事業本部 結晶材料事業部 営業グループに問い合わせます。伝えるのは、材料（LN）⁠・口径（4インチ）⁠・厚さ・カット方位・表裏の仕上げ・枚数です。平坦度や反りに条件があれば、その値も一緒に伝えると、確認のやり取りが減ります。