FAM12BSスピードファム株式会社

仕様

向いている所：卓上で片面ラップとポリッシュ

方式

ラップ盤・ポリッシング

磨くもの

シリコンウェーハ、金属、サファイアなど（片面研磨装置シリーズとして）

加工できる大きさ

定盤径12インチ

研磨具

高硬度定盤と遊離砥粒

回転・速さ

—公式資料で確認できず

自動化・制御

—公式資料で確認できず

電源・モーター

—公式資料で確認できず

価格

—公式資料で確認できず

大きさ・重さ

卓上型（寸法は記載なし）

付帯

—公式資料で確認できず

— は公式の資料で確かめられなかった項目です。

ページの記載は「ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュ⁠に対応します」「小さな加工対象の量産から実験用途まで⁠」⁠。同じ片面シリーズに定盤径32インチのFAM32BTAW・GPAW、48インチのFAM48BAW・SPAWがある。

同じラップ盤・ポリッシングの研磨機